【技术实现步骤摘要】
单晶铜键合线清洗装置所属
:本技术涉及一种清洗装置，尤其是一种单晶铜键合线清洗装置。技术背景:单晶铜键合线在进入退火机之前，为了保证其质量，必须进行彻底清洗掉其表面的附着物。目前，公知的单晶铜键合线清洗方法是利用清洗液对单晶铜键合线直喷冲洗，这种方法冲洗得干净、彻底，但由于单晶铜键合线非常细，常出现形变和断丝现象。
技术实现思路
:本技术的目的是提供一种能够把单晶铜键合线清洗得干净、彻底，防止出现形变和断丝现象的单晶铜键合线清洗装置。为实现上述目的，本技术采用的技术方案为:一种单晶铜键合线清洗装置，包括集液箱、固定架、清洗罐，其特征是:集液箱为长方体有上盖，两个侧面上设有进线孔和出线孔，在出线孔一端的上方设有循环管入口，底部设有排液口，排液口与循环管相连通，集液箱装有清洗液。根据所述的单晶铜键合线清洗装置，其特征在于:所述集液箱中央放置一个固定架，固定架上固定一个清洗罐。根据所述的单 晶铜键合线清洗装置，其特征在于:所述清洗罐的两端截面中央设有进线孔和出线孔，在进线孔一端的底面中部设有排水口，在出线孔的一端正上部设有进水口，并与循环管相连通。根据所述的单晶铜键合线清洗装置，其特征在于:所述循环管中安装一个过滤器和一个微循环泵。本技术的有益效果是，能够把单晶铜键合线清洗得干净、彻底，防止出现形变和断丝现象，安装简单，易操作。附图说明:以下结合附图和实施例对本技术进一步说明。附图是本技术的整体构造图。图中I集液箱、2固定架、3清洗罐、4循环管、5微循环泵、6过滤器、7单晶铜键合线。具体实施方式:在图中，集液箱(I)为长方体有上盖，两个侧面上设有进线孔和...
【技术保护点】
一种单晶铜键合线清洗装置，包括集液箱、固定架、清洗罐，其特征是：集液箱为长方体有上盖，两个侧面上设有进线孔和出线孔，在出线孔一端的上方设有循环管入口，底部设有排液口，排液口与循环管相连通，集液箱装有清洗液。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：田鹏，赵峰，周峰，
申请(专利权)人：滕州晨晖电子集团有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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