具有多区域控制的静电卡盘制造技术

一种用于夹紧弯曲工件的静电卡盘，具有包括介电层的夹紧面。介电层具有由不同介电材料形成的域和一个或多个区域。将一个或多个电极连接至电源，并且控制器控制通过电源提供给一个或多个电极的夹紧电压。感生与静电卡盘的介电层的每一个域和一个或多个区域相关的静电吸引力，其中，静电吸引力基于每一个域和一个或多个区域的介电材料而变化。一个或多个区域中的静电吸引力大于域中的静电吸引力，其中，将工件的弯曲区域吸附至夹紧面并且横跨弯曲工件的表面将弯曲工件夹到夹紧面。本发明专利技术还提供了具有多区域控制的静电卡盘。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术一般地涉及半导体
，更具体地来说涉及静电卡盘。
技术介绍
在制造半导体器件中，经常使用静电卡盘(ESC)以在其处理过程中支撑诸如硅晶圆的工件。在一些系统构架中，机器人被配置成将工件传送到静电卡盘并传送来自静电卡盘的工件，以在各个处理装置之间传送工件。通常，通过将电压施加给位于介电层下方的一个或多个电极由工件和ESC的介电层之间产生的静电吸引力将工件吸附到静电卡盘的表面。然而，当工件由于其先前处理而弯曲时，传统的静电卡盘通常很难将工件适当地吸附至静电卡盘的表面以及将工件夹持在静电卡盘的表面上。
技术实现思路
下面进行了简单概括以提供对本专利技术的一个或多个方面的基本理解。该概要不是对本专利技术的完整描述，并且既不是为了确定本专利技术的主要或关键元件，也不是为了界定其范围。相反，本概要的主要目的是以简单的形式提供本专利技术的一些理念作为后面更加详细描述的序言。在一个实施例中，本专利技术涉及具有多个区域的静电卡盘，其中，与工件相关的吸引力基于多个区域内的介电材料而变化。下面的描述和附图详细阐述了本专利技术的特定示例性方面和实施例。本专利技术的特定示例性方面和实施例仅指出利用本专利技术的原理的各种方式中的几种。 为了解决现有技术中所存在的缺陷，根据本专利技术的一方面，提供了一种静电卡盘，包括:夹紧面，包括介电层，其中，所述介电层包括域和在所述域中限定的一个或多个区域，其中，所述域包括第一介电材料，而所述一个或多个区域包括第二介电材料，其中，所述第一介电材料和所述第二介电材料中的每一种都具有与其相关的不同介电常数；以及一个或多个电极，与所述介电层相关，其中，提供给所述一个或多个电极的电压被配置成感生静电吸引力，所述静电吸引力与所述域和所述一个或多个区域中的每一个相关，并且所述静电吸引力基于所述域和所述一个或多个区域中的每一个的介电材料而变化。在该静电卡盘中，所述一个或多个区域中的静电吸引力大于所述域中的静电吸引力。在该静电卡盘中，所述一个或多个区域包括:中心区域，与所述夹紧面的中心相关；和外围区域，与所述夹紧面的外围相关。在该静电卡盘中，所述中心区域包括通常被所述域围绕的所述第二介电材料的环。在该静电卡盘中，所述外围区域包括通常被所述域围绕的所述第二介电材料的环。在该静电卡盘中，所述中心区域包括所述第二介电材料的中心圆盘。在该静电卡盘中，所述中心区域和所述外围区域中的一个或多个包括所述第二介电材料的多个岛状物。在该静电卡盘中，所述一个或多个区域包括与所述夹紧面的中心相关的中心区域，其中，所述中心区域中的静电吸引力大于所述域中的静电吸引力。在该静电卡盘中，所述一个或多个区域包括与所述夹紧面的外围相关的外围区域，其中，所述外围区域中的静电吸引力大于所述域中的静电吸引力。在该静电卡盘中，所述一个或多个电极被设置在所述介电层下方。在该静电卡盘中，所述一个或多个电极被设置在所述介电层内。根据本专利技术的另一方面，提供了一种用于夹紧弯曲工件的静电夹紧系统，所述静电夹紧系统包括:静电卡盘，包括:夹紧面，包括介电层，其中，所述介电层包括域和在所述域中限定的一个或多个区域，其中，所述域包括第一介电材料，而所述一个或多个区域包括第二介电材料，其中，所述第一介电材料和所述第二介电材料中的每一个都具有与其相关的不同介电常数；以及一个或多个电极，与所述介电层相关；电源，可操作地连接至所述一个或多个电极；以及控制器，所述控制器被配置成控制通过电源提供给所述一个或多个电极的夹紧电压，其中，感生与所述静电卡盘的所述介电层的所述域和所述一个或多个区域中的每一个相关的静电吸引力，其中，所述静电吸引力基于所述域和所述一个或多个区域中的每一个的介电材料而变化，其中，所述一个或多个区域中的静电吸引力大于所述域中的静电吸引力，其中，所述弯曲工件的弯曲区域被吸附至所述静电卡盘的夹紧面并且横跨所述弯曲工件的表面，所述弯曲工件被夹到所述夹紧面。在该静电夹紧系统中，由所述电源提供的单个夹紧电压向所述一个或多个区域中的弯曲工件提供的静电吸引力比向所述域中的弯曲工件提供的静电吸引力大。在该静电夹紧系统中，所述一个或多个区域包括与所述夹紧面的中心相关的中心区域和与所述夹紧面的外围相关的外围区域。在该静电夹紧系统中，所述中心区域包括通常被所述域围绕的所述第二介电材料的环和圆盘中的一种。在该静电夹紧系统中，，所述外围区域包括通常被所述域围绕的所述第二介电材料的环。在该静电 夹紧系统中，所述中心区域和所述外围区域中的一个或多个包括所述第二介电材料的多个岛状物。附图说明图1示出了根据本专利技术的一个示例性方面的静电卡盘的横截面图。图2示出了根据本专利技术的另一个示例性方面的静电卡盘的平面图。图3示出了根据本专利技术的又一个示例性方面的另一个示例性静电卡盘的平面图。图4A和图4B示出了根据本专利技术的又一个方面的在静电卡盘上方的示例性弯曲工件的相应的横截面图。图5示出了根据本专利技术的另一个示例性方面的静电夹紧系统(electrostaticclamping system)的不图。具体实施例方式本文接合附图进行描述，在整个说明书和全部附图中，相同的标号通常用于指定相同的元件。并且其中，各个结构不必按比例绘制。在以下描述中，为了说明的目的，阐述了大量的具体细节以帮助理解。然而，显然，对本领域的技术人员来说，可以通过较低程度的这些具体细节来实施本文所描述的一个或多个方面。在其它情况下，以结构图的形式示出了公知的结构和装置以帮助理解。现在参考附图，图1示出了本专利技术的一个方面，其中，提供了用于夹紧工件102的静电卡盘100。根据一个实例，工件102横跨其表面104弯曲，其中，弯曲是先前加工工件的结果。例如，在工件的顶面106上形成的材料薄层(没有示出)通常使工件102以凹进或凸出的方式弯曲。例如，图1的静电卡盘100包括夹紧面(clamping surface) 108，被配置成与工件102的表面104接触。虽然在图1中并不明显，但是工件102的表面104和夹紧面108之间的距离110由于上述弯曲所导致的横跨工件而变化。如此后进一步讨论的并且将在以后的附图中更显著地示出的，不管距离110的初始变化怎样，该静电卡盘100通常被配置成将工件102夹到夹紧面108上。根据一个实例，静电卡盘100包括介电层112，其中，介电层进一步包括域114和限定在其中的一个或多个区域116。例如，域114由第一介电材料118组成，并且一个或多个区域116由第二介电材料120组成，其中，第一介电材料和第二介电材料中的每一种都具有与其相关的不同的介电常数。一个或多个电极122与介电层112进一步相关，诸如设置在介电层内或介电层下方，其中，提供给一个或多个电极的电压被配置成产生与每一个域114和一个或多个区域116相关的静电吸引力。 因此，工件102和静电卡盘100的夹紧面108之间的静电吸引力基于每一个对应域114的介电材料118以及一个或多个区域116的介电材料120的成分而变化。根据一个实例，一个或多个区域116中的静电吸引力大于域114中的静电吸引力。图2示出了示例性静电卡盘100的平面图，其中，一个或多个区域116包括与夹紧面的中心126相关的一个或多个中心区域124和与夹紧面的外围130相关的外围区域128。例如，中心区域124包括一本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种静电卡盘，包括：夹紧面，包括介电层，其中，所述介电层包括域和在所述域中限定的一个或多个区域，其中，所述域包括第一介电材料，而所述一个或多个区域包括第二介电材料，其中，所述第一介电材料和所述第二介电材料中的每一种都具有与其相关的不同介电常数；以及一个或多个电极，与所述介电层相关，其中，提供给所述一个或多个电极的电压被配置成感生静电吸引力，所述静电吸引力与所述域和所述一个或多个区域中的每一个相关，并且所述静电吸引力基于所述域和所述一个或多个区域中的每一个的介电材料而变化。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：陈嘉和，连明惠，吴淑芬，李志聪，周友华，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：