【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及阵列波导光栅解调微系统异构集成研究，属于光电子集成领域。
技术介绍
国外对光纤布拉格光栅传感技术的研究较早，在发达国家已基本上实现了光纤布拉格光栅传感器的商业化、工程化。目前国外应用光纤布拉格光栅传感器最多的领域是桥梁的安全监测，同时光纤布拉格光栅传感技术的应用也逐步延伸到了电力、石油、石化等各个工业领域。国内在70年代末开始光纤布拉格光栅传感器的研究，目前已有上百家单位在这一领域开展研究工作。光纤布拉格光栅传感器在我国部分行业已得到应用，可以用来测量应变、温度、压力以及一切可以转换为应变或温度的物理量。目前光纤布拉格光栅解调系统体积较大、价格昂贵等限制了光纤布拉格光栅传感技术的推广应用。阵列波导光栅解调方法是一种极具潜力的新型光纤布拉格光栅解调方法，具有精度高、解调速度快等特点。本专利技术对阵列波导光栅解调系统的光源、光波导耦合器、阵列波导光栅、光电探测器进行异构集成。异构集成后的阵列波导光栅解调集成微系统具有结构紧凑、器件一体化、集成度较高、成本较低，提高光路的稳定性和可靠性等优点。本专利技术必将对光纤布拉格光栅传感解调领域的发展起到重要推动作...
【技术保护点】
一种阵列波导光栅解调集成微系统，其特征在于包括依次相连的C波段片上LED光源，2×2光波导耦合器，光纤布拉格光栅阵列，1×8阵列波导光栅，光电探测器阵列，上述各组成部分异构集成在一片衬底材料上，其中2×2光波导耦合器和1×8阵列波导光栅制作在SOI晶片上，C波段LED光源、光电探测器阵列制作在InP衬底上。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：李鸿强，董夏叶，白曜亭，李洋，刘宇，周文骞，
申请(专利权)人：天津工业大学，
类型：发明
国别省市：
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。