光束夹角测量装置制造方法及图纸

技术编号:9006497 阅读:138 留言:0更新日期:2013-08-08 01:50
本发明专利技术提供了一种测量两条光束之间夹角的光束夹角测量装置,其特征在于,包括:本体;复数个入光感应部,位于本体侧壁的一侧,用于与相交点重合并且接收两条光束的穿射;入光采集部,用于采集两条光束在入光感应部上形成的两个入光点;复数个感光档位部,位于与复数个入光感应部对向另一侧,复数个感光档位部与复数个入光感应部匹配设置;感光采集部,用于采集两条光束在感光档位部上形成的两个感光点;存储部;控制部,用于判断入光点的数量并且当两个入光点重合时控制感光采集部采集感光点否则发送报警命令;计算部;报警部;显示部;以及调节架,使两条光束来入射任意一个入光感应部,其中,两个光束所形成的平面与侧壁相垂直。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种光束夹角测量装置,特别涉及一种能够测量在同一相交点相交的两条光束之间的夹角的光束夹角测量装置。
技术介绍
光束之间的夹角测量具有广泛的应用领域,例如在全息曝光过程中对光栅线数的控制。光栅的制作方式最传统的就是全息曝光显影,而制作中最关键的光栅参数之一就是光栅周期,而光栅周期直接由相干涉的两束光的之间夹角决定。传统方式中两束光之间的夹角通过转台来获得,将干涉光中的其中一条光束垂直入射到转台中心的一个接受面上,固定转台,读出此时转台处于的位置所显示的一个角度值,再用同样的方法读出另一条光束所对应的另一角度值,最后通过两个角度值相减计算得到两条光束之间的夹角。传统方式具有误差较大的缺点,原因主要在于曝光干板所对应的转台中心的位置难以固定,调节麻烦。另外,由于每次曝光的夹具不同,曝光干板所对应的转台中心的位置也不同,需要重新调节转台中心,也就使实验过程的误差更大、繁琐程度更大。中国专利技术专利案(CN101718547A)中公开了夹角检测装置和方法中并没有针对两条光束之间的夹角测量。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种结构简单、操作方便以及通用性强的可测量两条光束之间夹角的光束夹角测量装置。本专利技术提供的一种用于测量在相交点相交的两条光束之间的夹角的光束夹角测量装置,具有这样的 特征:包括:圆柱体形的本体,具有底面和侧壁;复数个入光感应部,位于侧壁的一侧,用于与相交点重合并且接收两条光束的穿射,复数个入光感应部和底面之间的距离互异;入光采集部,用于采集两条光束在入光感应部上形成的两个入光点;复数个感光档位部,位于与复数个入光感应部对向的侧壁的另一侧,用于接收两条光束的入射,每个感光档位部沿着侧壁具有一定高度,复数个感光档位部与复数个入光感应部匹配设置;感光采集部,用于采集两条光束在感光档位部上形成的两个感光点;存储部,用于存储报警命令、本体的直径以及感光点对应的弧长值;控制部,用于判断入光点的数量并且当两个入光点重合时控制感光采集部采集感光点否则发送报警命令;计算部,用于根据直径以及两个感光点之间的弧长差来计算得出夹角;报警部,用于根据报警命令进行报警;显示部,用于显示夹角;以及调节架,用于固定盛放本体以调节两条光束来入射复数个入光感应部中的任意一个,其中,两个光束所形成的平面与侧壁相垂直。在本专利技术的光束夹角测量装置中,还可以具有这样的特征:其中,本体对应于入光感应部的位置设有复数个圆孔,复数个入光感应部被分别设置在复数个圆孔中。在本专利技术的光束夹角测量装置中,还可以具有这样的特征:其中,入光感应部含有可接收两条光束穿射的并且透光的光敏材料。在本专利技术的光束夹角测量装置中,还可以具有这样的特征:其中,复数个感光档位部为两个,分别为敏感波段为150纳米至550纳米的磷化镓和敏感波段为600纳米至640纳米的硅光电材料。在本专利技术的光束夹角测量装置中,还可以具有这样的特征:其中,感光采集部中设有遍布复数个感光档位部的复数个开关电路,控制部根据采集到感光点所对应的开光电路的开启闭合信号来确定感光点的位置从而得到对应的弧长差。在本专利技术的光束夹角测量装置中,还可以具有这样的特征:其中,两条光束为处于同一波段范围的可见激光。本专利技术的效果在于:本专利技术提供的一种光束夹角测量装置操作方便、结构简单,通过移动本体将入光感应部移放到两条光束相交点的位置,如果移动到与相交点重合的位置则不报警,否则没有放置到正确的位置采集到两个入光点则报警提示继续移动,即使针对不可见光也具有较强的通用性。感光采集部分别采集到的两个感光点的弧长后可得出弧长差,而本体具有的固定的直径值存储在存储部中,只要满足上述相交点处于入光感应部和垂直入射本体侧壁的两个条件任意夹角方向的两条光束都可得出其光束夹角值,并且由显示部直接显示,读数方便、灵活性高。附图说明图1是本专利技术的实施例中光束夹角测量装置的结构示意图;图2是本专利技术的实施例中光束夹角测量装置的结构框图;图3是本专利技术的实施例中光束夹角测量装置的入射示意图; 图4是本专利技术的实施例中光束夹角测量装置的原理示意图。具体实施案例下面结合附图和实施例对本专利技术进一步说明。图1是本专利技术的实施例中光束夹角测量装置的结构示意图。如图1所示,本实施例中光束夹角测量装置100包括圆柱体形的本体1、第一入光感应部2和第二入光感应部3、第一感光档位部4和第二感光档位部5、显示部6、报警部7以及可调节高度的调节架8。具有底面Ia和侧壁Ib的本体I被盛放安装在调节架8上,两条光束200在相交点300重合并且射入本体I,第一入光感应部2和第二入光感应部3都位于圆柱体形侧壁Ib的一侧,用于与相交点300重合并且接收两条光束200的穿射,本体I的高为30cm、本体圆柱体形的直径为10cm。第一入光感应部2和第二入光感应部3和本体底面Ia之间的距离分别20cm和10cm。第一感光档位部4和第二感光档位部5位于与第一入光感应部2和第二入光感应部3对向的侧壁Ib的另一侧,即、如图1中所示,第一入光感应部2和第二入光感应部3位于侧壁Ib的右侧,第一感光档位部4和第二感光档位部5位于侧壁Ib的左侧。第一入光感应部2和第一感光档位部4之间、第二入光感应部3和第二感光档位部5之间都为对向匹配设置。第一感光档位部4和第二感光档位部5用于接收两条光束200的入射,第一感光档位部4沿着侧壁Ib在距离本体底面lal8cm的位置具有IOcm的高度,第二感光档位部5沿着侧壁Ib在距离本体底面la8cm的位置具有IOcm的高度。调节架8用于固定盛放本体1,通过调节调节架8的高度来所使两条光束200来入射第一入光感应部2和第二入光感应部3中的任意一个。第一感光档位部4采用敏感波段为150纳米至550纳米的磷化镓,第二感光档位部5采用敏感波段为600纳米至640纳米的硅光电材料。针对不同波段的两条光束200,光感敏感材料不同,应选择不同的相对应的入光感应部和感光档位部。图1中所示,两条光束200采用处于同一波段范围的可见激光,经由第一入光感应部2入射第一感光档位部4,并且确保入射的两个光束200所形成的平面与本体I的侧壁Ib相垂直,目的是为了经由第一入光感应部2的两条光束200能全部入射在第一感光档位部4的范围当中。显示部6和报警部7被设置安装在本体I的上底面Ic上,方便观测并且减少对整个圆柱体形内的光束传播的阻碍。图2是本专利技术的实施例中光束夹角测量装置的结构框图。如图2所示,本实施例中光束夹角测量装置100还包括控制部9,与第一入光感应部2和第二入光感应部3连接的入光采集部10、与第一感光档位部4和第二感光档位部5连接感光采集部11、存储部12、计算部13、报警部7以及显示部6。入光采集部10连接第一入光感应部2和第二入光感应部3,如图1和图2所示,用于米集两条光束200在第一入光感应部2上所形成的图1中未显不的未第一入光点和第二入光点。感光采集部11连接第一感光档位部4和第二感光档位部5,如图1和图2所示,用于米集两条光束200在第一感光档位部4上所形成的图1中未显不的第一感光点和第二感光点。感光米集部11中设有遍布第一感光档位部4和第二感光档位部5的图1中未显不的数个开关电路,控制部9根据采集到第一感光点和第二感光点所对应的开光电路的开启闭合信号来本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于测量在相交点相交的两条光束之间的夹角的光束夹角测量装置,其特征在于,包括:圆柱体形的本体,具有底面和侧壁;复数个入光感应部,位于所述侧壁的一侧,用于与所述相交点重合并且接收所述两条光束的穿射,所述复数个入光感应部和所述底面之间的距离互异;入光采集部,用于采集所述两条光束在所述入光感应部上形成的两个入光点;复数个感光档位部,位于与所述复数个入光感应部对向的所述侧壁的另一侧,用于接收所述两条光束的入射,每个所述感光档位部沿着所述侧壁具有一定高度,所述复数个感光档位部与所述复数个入光感应部匹配设置;感光采集部,用于采集所述两条光束在所述感光档位部上形成的两个感光点;存储部,用于存储报警命令、所述本体的直径以及所述感光点对应的弧长值;控制部,用于判断所述入光点的数量并且当所述两个入光点重合时控制所述感光采集部采集所述感光点否则发送所述报警命令;计算部,用于根据所述直径以及所述两个感光点之间的弧长差来计算得出所述夹角;报警部,用于根据所述报警命令进行报警;显示部,用于显示所述夹角;以及调节架,用于固定盛放所述本体以调节所述两条光束来入射所述复数个入光感应部中的任意一个,其中,所述两个光束所形成的平面与所述侧壁相垂直。...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:王振云王琦唐庆勇张大伟黄元申洪瑞金倪争技覃靖明
申请(专利权)人:上海理工大学
类型:发明
国别省市:

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