一种同轴宏微复合直线运动平台装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种同轴宏微复合直线运动平台装置及其精度补偿方法。包括有宏运动装置、微运动装置、控制装置和位置检测装置。其中宏运动装置由伺服驱动器、直线驱动模块、直线导轨、底座和宏动工作平台构成；微运动装置是由压电陶瓷驱动器或音圈电机、柔性铰链放大机构组成；柔性铰链放大机构由柔性铰链、微动工作平台、框架构成；压电陶瓷驱动器或音圈电机驱动柔性铰链放大结构，带动微动工作平台产生位移；位置检测装置实时检测宏微运动工作平台的位移信息，并将其送给所述控制装置；控制装置根据宏微运动的位移传感器检测信息，驱动微动工作平台实时补偿宏运动装置的运动，进而实现所述同轴宏微复合直线运动平台装置的高静态精度及高动态精度。（*该技术在2023年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种同轴宏微复合直线运动平台装置，属于同轴宏微复合直线运动平台装置的创新技术。
技术介绍
随着社会发展及人们生活条件的改善，人们对产品的要求越来越高，这要求制造业必须不断提高产品的加工精度。但高精密进给运动平台的量程普遍较短，而大量程的普通宏运动进给平台精度又无法满足实际需要。如果采用专用的大量程高精密运动平台，产品的制造成本将大幅增加。针对上述现状，一种能将大量程一般精度的宏运动和高精度小量程的微运动相复合的可以实现大量程高精密进给的运动平台越来越受到人们的青睐。国内技术专利CN102540765A中公开了一种高精度平行光曝光机的PCB板定位装置及其定位方法。该定位装置包含了由伺服电机、丝杠、宏动平台构成的宏动定位装置和由压电陶瓷驱动器和压电陶瓷支撑平台组成的微动定位装置。其具体工作方法为:A.伺服电机驱动丝杠，带动宏动平台进行大行程的进给位置检测装置检测宏动平台和预定位置的位移误差:C.控制器根据B步骤中的位移误差信息得到使PCB板到达指定位置时驱动压电陶瓷微动平台所需的位移量，进而根据位移量对压电陶瓷驱动电源进行控制。上述定位装置及方法实现了对PCB板的精确定位，但本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种同轴宏微复合直线运动平台装置，其特征在于包括有宏运动装置、微运动装置、控制装置和位置检测装置，其中宏运动装置包括有伺服驱动器（1）、直线驱动模块、直线导轨（2）、底座（4）和宏动工作平台（5），伺服驱动器（1）通过直线驱动模块与直线导轨（2）连接，直线导轨（2）装设在底座（4）上，宏动工作平台（5）安装在直线导轨（2）上，微运动装置包括有高精度微动驱动器及柔性铰链放大机构，柔性铰链放大机构包括有柔性铰链（8）、微动工作平台（9）、框架（10），其中柔性铰链（8）安装在框架（10）上，微动工作平台（9）与柔性铰链（8）连接，高精度微动驱动器驱动柔性铰链（8）运动，微动工作平台（9）上安放工作...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：杨志军，白有盾，陈新，高健，陈新度，刘冠峰，李克天，李泽湘，杨海东，
申请(专利权)人：广东工业大学，
类型：实用新型
国别省市：