本发明专利技术涉及聚烯烃复合中空纤维膜及其制造方法，该聚烯烃复合中空纤维膜具有均质膜层和多孔质膜层，所述均质膜层由比率Mw/Mn为4.0以下、且按照JISK7210的代码D测定的熔体流动速率为1.0g/10分钟以下的聚烯烃所形成，所述多孔质膜层由比率Mw/Mn为8.0～12.0的聚烯烃所形成。另外，本发明专利技术还涉及具备该聚烯烃复合中空纤维膜的中空纤维膜组件。根据本发明专利技术，可以提供一种聚烯烃复合中空纤维膜及其制造方法以及中空纤维膜组件，该聚烯烃复合中空纤维膜的耐溶剂性和气体透过性优良，用于药液中的溶解气体的脱气时，能高度抑制药液的泄漏，并能高效地降低溶解气体量。
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及聚烯烃复合中空纤维膜及其制造方法、以及具备该聚烯烃复合中空纤维膜的中空纤维膜组件。本专利技术基于2010年9月29日在日本提出的专利申请特愿2010-218042号主张优先权，在这里引用其内容。
技术介绍
例如，在液晶显示器、等离子显示器的等制造中，用抗蚀剂液等药液进行处理。药液通过在氮气下被压送至排出喷嘴，并以从该排出喷嘴中排出的方式进行药液供给。但在该药液处理中，当药液中的溶解气体量多时，从排出喷嘴排出药液时，由于施加到药液的压力从由氮气加压的状态恢复至大气压，所以溶解气体变成过饱和状态，产生气泡。当抗蚀剂液等药液中混入气泡时，会产生药液的处理斑、在光刻工序中存在产生图案不良等的问题。作为防止药液的处理斑的方法，有通过旋转涂布进行边脱泡边进行药液供给的方法。但近年来，伴随着液晶显示器和等离子显示器的大画面化，通过旋转涂布进行药液供给的方法变得难以适用。另一方面，为了除去药液等中溶解的气体，采用将中空纤维膜作为脱气膜使用的脱气方法。也就是说，在药液压送工序中，通过进行利用中空纤维膜的膜式脱气，减少药液中的溶解气体量，抑制气泡的产生。作为该膜式脱气中使用的中空纤维膜，已知的有复合中空纤维膜，该复合中空纤维膜包 括具有气体透过性的非多孔质的均质膜层和支撑该均质膜层的多孔质膜层。例如，可举出下述的复合中空纤维膜。(I)具有3层结构的复合中空纤维膜，其3层结构为由聚烯烃组成的2个多孔质膜层之间夹着由硅-聚碳酸酯共聚物、硅-氨基甲酸酯共聚物等组成的气体透过性的均质膜层所构成(例如，专利文献I)。(2)具有2个多孔质膜层之间夹着由直链状聚乙烯组成的均质膜层的3层结构的复合中空纤维膜(专利文献2)。(3)具有由聚-4-甲基戊烯-1组成的多孔质膜层和均质膜层的复合中空纤维膜(专利文献3)。现有技术文献专利文献专利文献1:日本专利特开平5-185067号公报专利文献2:日本专利特开平11-47565号公报专利文献3:日本专利特开平6-335623号公报
技术实现思路
但是，(I)的复合中空纤维膜，由于缺乏硅-聚碳酸酯共聚物和硅-氨基甲酸酯共聚物的耐溶剂性，因此根据不同的使用药液(溶剂)，会产生膜溶胀、膜强度下降而药液泄漏的情况。(2)的复合中空纤维膜，由于均质膜层的氧透过系数低，所以要得到实用上有效的溶解气体透过流量，有必要将均质膜层变为0.3 μ m以下的极薄膜。但由于均质膜难以薄膜化，所以存在膜的机械强度下降而产生针孔的情况。另外，当多孔质膜层的空穴率低时，能有助于气体透过的均质膜层的面积变小，导致气体透过流量下降。因此，为了提高多孔质膜层的气体透过性，有必要在制造时以高的拉伸倍率进行拉伸。但在那种情况下，均质膜层中会产生开裂，有不能得到充分的气体分离特性的情况。(3)的复合中空纤维膜，由于多孔质膜层的伸度低，因此，不能以提高该多孔质膜层的空穴率的目的在制造时以高的拉伸倍率实施拉伸，难以得到充分的气体透过性。本专利技术的目的在于提供一种聚烯烃复合中空纤维膜和该聚烯烃复合中空纤维膜的制造方法以及具备该聚烯烃复合中空纤维膜的中空纤维膜组件，该聚烯烃复合中空纤维膜的耐溶剂性和气体透过性优良，用于药液中的溶解气体的脱气时，能高度抑制药液的泄漏，并能高效地降低溶解气体量。为解决上述课题，本专利技术采用了以下的构成。 一种聚烯烃复合中空纤维膜，是具有气体透过的非多孔质的均质膜层和支撑该均质膜层的多孔质膜层的复合中空纤维膜，其特征在于，所述均质膜层含有聚烯烃，该聚烯烃的质均分子量Mw与数均分子量Mn的比率Mw/Mn为4.0以下、且该聚烯烃的按照JISK7210的代码D测定的熔体流动速率(MFRD)为1.0g/10分钟以下；所述多孔质膜层含有比率Mw/Mn为8.0 12.0的聚烯烃。所述记载的聚烯烃复合中空纤维膜，所述均质膜层的聚烯烃和所述多孔质膜层的聚烯烃的熔体流动速率均为0.1 1.0g/10分钟，该熔体流动速率按照JISK7210的代码D测定。 所述记载的聚烯烃复合中空纤维膜，所述多孔质膜层的聚烯烃满足下述Ca) (C)的必要条件。(a)按照JISK7210的代码D测定的熔体流动速率(MFRD)为0.1 1.0g/10分钟。(b)按照JISK7210的代码G测定的熔体流动速率(MFRG)为50 100g/10分钟。(c)所述 MFRD 和所述 MFRG 之比 FRR (G/D) (=MFRG/MFRD)为 50 100。所述 中任一项记载的聚烯烃复合中空纤维膜，所述均质膜层的聚烯烃的MFRD与所述多孔质膜层的聚烯烃的MFRD之差为0.3g/10分钟以下。所述 中任一项记载的聚烯烃复合中空纤维膜，所述多孔质膜层的聚烯烃是分子量1000以下的成分量为2.0质量％以下、且分子量100万以上的成分量为1.5 3.0质量％的聚烯烃。所述 中任一项记载的聚烯烃复合中空纤维膜，所述均质膜层的聚烯烃是含有由碳原子数为3 20的α -烯烃所衍生的构成单元的共聚物。所述记载的聚烯烃复合中空纤维膜，相对于由聚合中使用的全部单体所衍生的构成单元100摩尔％，所述由α -烯烃所衍生的构成单元的含量为10 70摩尔％。所述或记载的聚烯烃复合中空纤维膜，所述由α -烯烃所衍生的构成单元的碳原子数为6 8。所述 中任一项记载的聚烯烃复合中空纤维膜，所述α _烯烃为1_辛烯或1-己烯。所述 中任一项记载的聚烯烃复合中空纤维膜，所述多孔质膜层的聚烯烃的耐环境应力开裂性为10 50小时，所述耐环境应力开裂性按照JISK6760测定。所述 中任一项记载的聚烯烃复合中空纤维膜，所述多孔质膜层的聚烯烃的密度为0.960 0.968g/cm3。所述 中任一项记载的聚烯烃复合中空纤维膜，所述均质膜层的聚烯烃的密度为0.850 0.910g/cm3。所述 中任一项记载的聚烯烃复合中空纤维膜，所述均质膜层的聚烯烃的熔点Tm为40 100°C。 一种聚烯烃复合中空纤维膜的制造方法，是所述 中任一项记载的聚烯烃复合中空纤维膜的制造方法，其特征在于，具有将中空纤维膜前驱体在满足下述(i )和(ii)的必要条件的拉伸温度T rc)下进行拉伸、并将所述多孔质膜层前驱体进行多孔质化的拉伸工序；所述中空纤维膜前驱体具有作为均质膜层前驱体的未拉伸的均质膜层前驱体和作为所述多孔质膜层前驱体的未拉伸的多孔质膜层前驱体。(i)拉伸温度T与所述均质膜层的聚烯烃的熔点Tm之间的关系为Tm-20 彡 T 彡 Tm+40。(ii)拉伸温度T为所述多孔质膜层的聚烯烃的维卡软化点(Vicat softeningpoint)以下。 一种中空纤维 膜组件，具备所述 中任一项记载的聚烯烃复合中空纤维膜。另外，在本说明书和权利要求书中，“构成单元”的含义为构成树脂成分(聚合物、共聚物)的单体单兀(monomericunit)。本专利技术的聚烯烃复合中空纤维膜，其耐溶剂性和气体透过性优良。因此，用于药液中的溶解气体的脱气时，能高度抑制药液的泄漏，并能高效降低溶解气体量。另外，根据本专利技术的制造方法，能得到聚烯烃复合中空纤维膜，该聚烯烃复合中空纤维膜的耐溶剂性和气体透过性优良，用于药液中的溶解气体的脱气时，能高度抑制药液的泄漏，并能高效降低溶解气体量。另外，本专利技术的中空纤维膜组件，由于具备所述聚烯烃复合中空纤维膜本文档来自技高网...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
【专利技术属性】
技术研发人员：柴田规孝，
申请(专利权)人：三菱丽阳株式会社，
类型：
国别省市：
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