【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及聚烯烃复合中空纤维膜及其制造方法、以及具备该聚烯烃复合中空纤维膜的中空纤维膜组件。本专利技术基于2010年9月29日在日本提出的专利申请特愿2010-218042号主张优先权，在这里引用其内容。
技术介绍
例如，在液晶显示器、等离子显示器的等制造中，用抗蚀剂液等药液进行处理。药液通过在氮气下被压送至排出喷嘴，并以从该排出喷嘴中排出的方式进行药液供给。但在该药液处理中，当药液中的溶解气体量多时，从排出喷嘴排出药液时，由于施加到药液的压力从由氮气加压的状态恢复至大气压，所以溶解气体变成过饱和状态，产生气泡。当抗蚀剂液等药液中混入气泡时，会产生药液的处理斑、在光刻工序中存在产生图案不良等的问题。作为防止药液的处理斑的方法，有通过旋转涂布进行边脱泡边进行药液供给的方法。但近年来，伴随着液晶显示器和等离子显示器的大画面化，通过旋转涂布进行药液供给的方法变得难以适用。另一方面，为了除去药液等中溶解的气体，采用将中空纤维膜作为脱气膜使用的脱气方法。也就是说，在药液压送工序中，通过进行利用中空纤维膜的膜式脱气，减少药液中的溶解气体量，抑制气泡的产生。作为该膜式脱气...
【技术保护点】
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...
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