MEMS振荡器制造技术

一种MEMS振荡器，包括：一MEMS谐振器；一第一阻抗匹配网络，其输入端与MEMS谐振器的输出端连接；一第二阻抗匹配网络，其输出端与MEMS谐振器的输入端连接；一放大器，其输入端与第一阻抗匹配网络的输出端连接；一移相网络，其输入端与放大器的输出端连接，输出端与第二阻抗匹配网络的输入端连接；一输出缓冲器，其输入端与移相网络的输出端连接，以上构成的正反馈型振荡电路。本发明专利技术MEMS振荡器中的MEMS谐振器是带温度补偿的高频高品质因子(Q)的MEMS圆盘谐振器，具有高稳定的频率输出。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术的
涉及振荡器，特别是涉及基于MEMS谐振器的MEMS振荡器。
技术介绍
时钟和振荡器是所有电子系统的心脏，目前绝大多数高性能电子系统的时钟都是由石英振荡器提供，但石英晶体振荡器为片外组元，不易于IC集成，不仅增加了集成成本，而且阻碍了系统的小型化。MEMS谐振器是使机械结构在其固有频率振动。微纳谐振器与IC电路集成，构成MEMS振荡器。MEMS谐振器的频率决定振荡器的频率。基于MEMS谐振器的振荡器不仅具有高频高Q，而且其制造工艺与IC技术兼容，可实现微纳谐振器件与IC电路的同一芯片集成，利于整个系统的小型化。高Q值意味着器件插损小、能耗低、相噪低、谐振电路选择性好，适于制作稳定的振荡器。与传统石英振荡器相比，MEMS振荡器不管从生产工艺还是组件结构设计上，都更符合现代电子产品的标准，也是对传统石英产品的升级换代。近年来，基于MEMS谐振器的振荡器引起人们越来越多的关注，是取代石英晶体振荡器的理想器件。目前MEMS谐振器的插入 损耗普遍较大，不利于制作振荡器。而且MEMS谐振器的谐振频率具有较强的温度依赖性。例如，硅基MEMS谐振器，谐振频率的温度稳定性为-20p本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种MEMS振荡器，包括：一MEMS谐振器；一第一阻抗匹配网络，其输入端与MEMS谐振器的输出端连接；一第二阻抗匹配网络，其输出端与MEMS谐振器的输入端连接；一放大器，其输入端与第一阻抗匹配网络的输出端连接；一移相网络，其输入端与放大器的输出端连接，输出端与第二阻抗匹配网络的输入端连接；一输出缓冲器，其输入端与移相网络的输出端连接，以上构成的正反馈型振荡电路。

【技术特征摘要】
1.一种MEMS振荡器，包括: 一 MEMS谐振器； 一第一阻抗匹配网络，其输入端与MEMS谐振器的输出端连接； 一第二阻抗匹配网络，其输出端与MEMS谐振器的输入端连接； 一放大器，其输入端与第一阻抗匹配网络的输出端连接； 一移相网络，其输入端与放大器的输出端连接，输出端与第二阻抗匹配网络的输入端连接； 一输出缓冲器，其输入端与移相网络的输出端连接，以上构成的正反馈型振荡电路。2.根据权利要求1所述的MEMS振荡器，其中所述MEMS谐振器为带温度补偿的高频高品质因子Q值的MEMS谐振器。3.根据权利要求1所述的MEMS振荡器，其中所述MEMS谐振器包括加热电阻和谐振单元4.根据权利要求1所述的MEMS振荡器，其中所述MEMS谐振器的温度补偿是通过局域温度控制，并结合MEMS谐振器 直流偏压调节实现的。5.根据权利要求1所述的MEMS...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵晖，杨晋玲，骆伟，杨富华，
申请(专利权)人：中国科学院半导体研究所，
类型：发明
国别省市：