The utility model discloses a foreign body detection device, device comprises a scanning area and confirmed that the foreign body foreign body, foreign body in the scanning area and identify the foreign body foreign body height detection area is provided between the foreign body area; scanning area, coordinate and area used by foreign body scanning detection on the substrate; the object height detection area, whether for detection of detection of the foreign body out of the scanning area height exceeds the preset specifications; the foreign bodies confirmed area, for the detection of the foreign body area and height for confirmation, and store the corresponding foreign body area and height information. The utility model realizes the measurement of the height and the height of the foreign body, and avoids the phenomenon that the data line disconnection (DO) and the data line short circuit (DGS) phenomenon are high.
【技术实现步骤摘要】
本技术涉及异物检测
,尤其涉及一种异物检测装置。
技术介绍
现有技术中,薄膜晶体管液晶显示器(TFT-1XD)用异物检测装置,如图1所示,主要包括:异物扫描区101和异物确认区102。此外,图1中的107表示基板;103表示扫描区2D镜头,用于扫描检测异物面积;104表示滚轮,用于为基板107的传动提供动力;105表示固定夹子,用于固定基板107 ;106表示确认区2D镜头,用于确认基板107上的缺陷面积(即异物面积)的大小。然而,现有技术中的异物检测装置通常采用对基板表面异物进行拍照、像素比对,计算出异物的面积,并未对异物进行高度测量,这样通常会忽视一些面积小、高度高的异物;而正是这样的异物竖直嵌入基板表面,经过多道加热固化后,在修补阶段又未得到处理,从而会造成后续对盒工艺中的数据线断开(DO,Data Open)和数据线栅线短路(DGS,Date Gate Short)现象高发。
技术实现思路
有鉴于此,本技术的主要目的在于提供一种异物检测装置,以实现对异物的面积和高度测量,避免对盒工艺中的DO和DGS现象高发。为达到上述目的,本技术的技术方案是这样实现的:一种异物检测装置,包括异物扫描区和异物确认区,在所述异物扫描区和所述异物确认区之间设有异物高度检测区,所述异物扫描区,用于通过扫描检测基板上的异物的坐标和面积;所述异物高度检测区,用于检测所述异物扫描区检测出来的异物的高度是否超过预设规格;所述异物确认区,用于对所述检测出来的异物的面积和高度进行确认,并存储相应异物的面积和高度的信息。进一步地,所述异物高度检测区内设有检测仪基台,在所述检测仪基台的一 ...
【技术保护点】
一种异物检测装置,包括异物扫描区和异物确认区,其特征在于,在所述异物扫描区和所述异物确认区之间设有异物高度检测区,所述异物扫描区,用于通过扫描检测基板上的异物的坐标和面积;所述异物高度检测区,用于检测所述异物扫描区检测出来的异物的高度是否超过预设规格;所述异物确认区,用于对所述检测出来的异物的面积和高度进行确认,并存储相应异物的面积和高度的信息。
【技术特征摘要】
1.一种异物检测装置,包括异物扫描区和异物确认区,其特征在于,在所述异物扫描区和所述异物确认区之间设有异物高度检测区, 所述异物扫描区,用于通过扫描检测基板上的异物的坐标和面积; 所述异物高度检测区,用于检测所述异物扫描区检测出来的异物的高度是否超过预设规格; 所述异物确认区,用于对所述检测出来的异物的面积和高度进行确认,并存储相应异物的面积和高度的信息。2.根据权利要求1所述的异物检测装置,其特征在于,所述异物高度检测区内设有检测仪基台,在所述检测仪基台的一侧设有固定检出系统,所述固定检出系统包括激光发射器和激光接收器,在所述检测仪基台的另一侧设有反...
【专利技术属性】
技术研发人员:张继凯,万冀豫,黎敏,姜晶晶,
申请(专利权)人:京东方科技集团股份有限公司,北京京东方显示技术有限公司,
类型:实用新型
国别省市:
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