阵列基板的检测方法、检测台和检测设备技术

本发明专利技术公开了一种阵列基板的检测方法，包括：由确认部对检测装置进行检测；根据检测结果判断检测装置的状态是否正常，若是，则由该检测装置对待检测的阵列基板进行检测。本发明专利技术还公开了一种检测台和检测设备。在对每一片或每一批阵列基板进行缺陷检测前，使检测装置先通过确认部确认检测装置的状态是否正常，从而可以避免状态异常的检测装置对阵列基板进行检测，进而可以准确地判断阵列基板是否存在缺陷，提高了对阵列基板的检测效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及到液晶面板检测
，特别涉及到一种液晶面板的阵列基板的检测方法、检测台和检测设备。
技术介绍
在对阵列基板进行缺陷检测时，现有的设计通常是通过检测装置来模拟TFT-LCD对组后的状况，在检测时，将检测装置安装在所检测的阵列基板上方，并且移动检测装置来检测阵列基板的缺陷。但是，由于通过检测装置检测阵列基板的缺陷时需要距离阵列基板很近，这样，如检测装置本身或阵列基板上有灰尘时，在检测装置在阵列基板上方移动的过程中，如灰尘附着在检测装置上并随着检测装置移动就极有可能对阵列基板及检测装置造成损伤；并且，由于不能在检测前确定检测装置的状态是否正常，因此，即使在检测中发现异常，也无法判断是检测装置自身的问题还是阵列基板存在缺陷，从而造成阵列基板的检测效率较低。
技术实现思路
本专利技术的主要目的为提供一种阵列基板的检测方法、检测台和检测设备，旨在避免状态异常的检测装置对待检测阵列基板进行检测，提高阵列基板的检测效率。本专利技术提供一种阵列基板的检测方法，包括:由确认部对检测装置进行检测；根据检测结果判断检测装置的状态是否正常，若是，则由该检测装置对待检测的阵列基板进行检测。优选地，在执行所述由确认部对检测装置进行检测之前，还包括:在检测台上设置至少一确认部。优选地，所述确认部为至少一个所述待检测的阵列基板的像素单元结构相同的像素单元。优选地，所述根据检测结果判断检测装置的状态是否正常包括:当对所述确认部的检测结果为未发现异常时，则判定所述检测装置的状态正常；当对所述确认部的检测结果为发现异常时，则判定所述检测装置的状态异常。优选地，在执行所述当对确认部的检测结果为发现异常时，则判定所述检测装置的状态异常之后，还包括:对检测装置进行维修，并且通过确认部检测维修后的检测装置。优选地，在执行所述当对确认部的检测结果为发现异常时，则判定所述检测装置的状态异常之后，还包括:更换检测装置，并且通过确认部检测更换后的检测装置。本专利技术还提供一种检测台，该检测台包括用于置放一待检测的阵列基板的检测区以及至少一确认部。优选地，所述待检测阵列基板具有若干像素单元，所述确认部为至少一与待检测阵列基板的像素单元结构相同的像素单元，且该确认部无缺陷。优选地，所述确认部设置在所述检测区的一侧。本专利技术进一步提供一种检测设备，该检测设备包括用于对待检测阵列基板进行检测的检测装置，还包括检测台，该检测台包括用于置放一待检测的阵列基板的检测区以及至少一确认部；所述确认部用于在检测装置对待检测阵列基板进行检测之前检测所述检测装置的状态是否正常。本专利技术在对待检测的阵列基板进行缺陷检测前，首先由确认部对检测装置进行检测，并根据检测结果判断检测装置的状态是否正常；当正常时，才通过检测装置对待检测的阵列基板进行缺陷检测；如不正常，则可立即停机对检测装置进行进一步的确认及维修，或更换检测装置。在对每一片或每一批阵列基板进行缺陷检测前，使检测装置先通过确认部确认检测装置的状态是否正常，从而可以避免状态异常的检测装置对阵列基板进行检测，进而可以准确地判断阵列基板是否存在缺陷，提高了对阵列基板的检测效率。附图说明图1为本专利技术阵列基板的检测方法第一实施例的流程示意图2为本专利技术阵列基板的检测方法第二实施例的流程示意图3为本专利技术阵列基板的检测方法判断检测装置的状态是否正常的流程示意图4为本专利技术检测台较佳实施例的流程示意图。本专利技术目的的实现、功能特点及优点将结合实施例，参照附图做进一步说明。具体实施方式应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本专利技术，并不用于限定本专利技术。参照图1，图1为本专利技术阵列基板的检测方法第一实施例的流程示意图。本实施例所提供的阵列基板的检测方法，包括:步骤S10，由确认部对检测装置进行检测；步骤S20，根据检测结果判断检测装置的状态是否正常；若是，则执行步骤S21 ；步骤S21，由该检测装置对待检测的阵列基板进行检测。在检测装置对放置在检测台上待检测的阵列基板进行缺陷检测前，首先在该检测台上所设置的至少一个确认部，对检测装置的状态进行检测，从而判断检测装置的状态是否正常。本实施例中，该确认部为至少一个与待检测的阵列基板的像素单元结构相同的像素单元，确保其状态为合格，即无任何缺陷。在检测装置对待检测的阵列基板进行缺陷检测前，首先将检测装置对准在确认部，并通过检测装置对其进行检测。在对确认部进行检测之后，由于该确认部无任何缺陷，因此，可以根据对确认部的检测结果判断出检测装置的状态是否正常。如检测装置的状态正常，则由该检测装置对待检测的阵列基板进行缺陷检测。请一并参照图3，图3为本专利技术阵列基板的检测方法中判断检测装置的状态是否正常的流程示意图。在本实施例中，步骤S20具体包括:步骤S201，当对确认部的检测结果为未发现异常时，则判定检测装置的状态正常；执行步骤S21 ；步骤S202，当对确认部的检测结果为发现异常时，则判定检测装置的状态异常。在对确认部进行检测时，由于确认部无任何缺陷，如检测结果为未发现异常时，则判定检测装置的状态正常，此时可进一步通过检测装置对待检测的阵列基板进行缺陷检测，即将检测装置移动至待检测的阵列基板上方，并且使检测装置在阵列基板上方移动，对阵列基板进行缺陷检测，这样，如检测过程中发现异常，由于检测装置状态正常，则可判断出是阵列基板存在缺陷，并记录该缺陷的位置；而如检测结果为发现异常时，由于确认部无任何缺陷，则可以判定检测装置的状态为非正常，此时便可立即停机，对检测装置进行进一步的确认及维修，而不继续进行对待检测的阵列基板进行缺陷检测的流程，或者更换检测装置，然后对维修后或更换后的检测装置执行上述步骤SlO至步骤S21。本专利技术实施例，在对待检测的阵列基板进行缺陷检测前，首先由确认部对检测装置进行检测，并根据检测结果判断检测装置的状态是否正常；当正常时，才通过检测装置对待检测的阵列基板进行缺陷检测；如不正常，则可立即停机对检测装置进行进一步的确认及维修，或更换检测装置。在对每一片或每一批阵列基板进行缺陷检测前，使检测装置先通过确认部确认检测装置的状态是否正常，从而可以避免状态异常的检测装置对阵列基板进行检测，进而可以准确地判断阵列基板是否存在缺陷，提高了对阵列基板的检测效率。参照图2，图2为本专利技术阵列基板的检测方法第二实施例的流程示意图。基于上述实施例，在执行步骤SlO之前，本专利技术阵列基板的检测方法还包括:步骤S30，在检测台上设置至少一确认部。在检测台上设置无缺陷的确认部，该确认部为至少一个与待检测的阵列基板的像素单元结构相同的像素单元，确保其状态为合格，即无任何缺陷。本实施例中，该确认部设置在检测台上用于置放待检测的阵列基板的检测区的一侧，检测装置在对待检测的阵列基板进行检测之前首先经过该确认部，对检测装置的状态进行确认；并且，确认部数量设置为至少一个，也可以设置为与检测装置的检测头的数量相同。在检测台上的检测区的一侧，设置至少一无缺陷的确认部，使检测装置在对待检测的阵列基板进行检测之前首先经过该确认部，对其状态进行确认，从而可以避免状态异常的检测装置对待检测阵列基板进行检测，进而可以准确地判断阵列基板是否存在缺陷，提闻了对阵列基板的检测效率。本专利技术还提供一种检测设备，该检测设备包括检测装置和检测台，该检测装置用本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种阵列基板的检测方法，其特征在于，包括：由确认部对检测装置进行检测；根据检测结果判断检测装置的状态是否正常，若是，则由该检测装置对待检测的阵列基板进行检测。

【技术特征摘要】
1.一种阵列基板的检测方法，其特征在于，包括: 由确认部对检测装置进行检测； 根据检测结果判断检测装置的状态是否正常，若是，则由该检测装置对待检测的阵列基板进行检测。2.根据权利要求1所述的阵列基板的检测方法，其特征在于，在执行所述由确认部对检测装置进行检测之前，还包括: 在检测台上设置至少一确认部。3.根据权利要求2所述的阵列基板的检测方法，其特征在于，所述确认部为至少一个所述待检测的阵列基板的像素单元结构相同的像素单元。4.根据权利要求1至3中任一项所述的阵列基板的检测方法，其特征在于，所述根据检测结果判断检测装置的状态是否正常包括: 当对所述确认部的检测结果为未发现异常时，则判定所述检测装置的状态正常； 当对所述确认部的检测结果为发现异常时，则判定所述检测装置的状态异常。5.根据权利要求4所述的阵列基板的检测方法，其特征在于，在执行所述当对确认部的检测结果为发现异常时，则判定所述检测装置的状态异...

【专利技术属性】
技术研发人员：蔡金龙，
申请(专利权)人：深圳市华星光电技术有限公司，
类型：发明
国别省市：