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一种提高金属对SiC陶瓷润湿性的方法技术

技术编号:8902554 阅读:287 留言:0更新日期:2013-07-10 23:09
本发明专利技术涉及一种陶瓷表面处理方法,特别是涉及一种提高金属对SiC陶瓷润湿性的方法。本发明专利技术通过在SiC陶瓷表面注入一定剂量的金属离子,降低金属对SiC陶瓷表面的接触角,改善金属与陶瓷的界面结合,提高SiC陶瓷与金属接触界面的热、电性能,能适用于高低温应用场合,从而使得后续制备的陶瓷/金属钎焊接头、陶瓷/金属复合材料或半导体器件具有高可靠性、使用寿命长等优点。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种陶瓷表面处理方法,特别是涉及。
技术介绍
碳化硅(SiC)陶瓷具有高硬度、高热导、耐磨蚀、抗热震、抗蠕变、抗氧化、低热膨胀系数等优良的性能,是一种重要的结构功能一体化陶瓷材料,在航空航天、化工石油、机械加工等领域有广泛的应用;但SiC陶瓷的成型方法主要有模压成型和等静压成型,不易制备复杂形状的制品,并且由于其硬度高和脆性大,成品的后续加工也非常困难,因此,很多情况下都需要和金属钎焊连接后一起使用。SiC陶瓷与金属进行钎焊,需要金属焊料对SiC陶瓷有良好的润湿性,也就是具有较小的接触角,通常应小于30°,这样焊料才能较为容易地通过毛细管力充满焊缝;但一般金属材料对SiC陶瓷对润湿性较差,如银对SiC陶瓷的接触角为110° - 140°,钴对SiC陶瓷的接触角为55° -63°,铜对SiC陶瓷的接触角为30° -165°,镍对SiC陶瓷的接触角为36° -86°。关于SiC陶瓷材料表面的处理方法,目前应用和研究的主要就是在SiC陶瓷表面形成金属或陶瓷膜层,如中国专利ZL200710035759.3 “一种高性能陶瓷表面金属化处理工艺”是通过电镀和烧镍在材料表面形成金属本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种提高金属对SiC陶瓷润湿性的方法,其特征在于,包括下述步骤:(1)SiC陶瓷的磨平、抛光;?(2)SiC陶瓷的清洗;(3)离子注入Mo:将上述清洗后的SiC陶瓷置于离子注入装置,用Ar离子再次清洗试样30?min,然后注入Mo离子。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:乔冠军刘桂武赵三团张相召沈湘黔
申请(专利权)人:江苏大学
类型:发明
国别省市:

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