【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种微机电可调氮化物谐振光栅,其特征在于,在高阻硅衬底氮化物晶片的氮化物层上,设置有第一极性区域(1)、第二极性区域(2)、隔离所述第一极性区域(1)和第二极性区域(2)的隔离槽(3),所述第一极性区域(1)上设置有固定梳齿(11),所述第二极性区域(2)上设置有依次连接的谐振光栅结构(21)、弹簧结构(22)和可移动梳齿(23),所述可移动梳齿(23)与固定梳齿(11)相对错开设置。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:王永进,施政,高绪敏,贺树敏,李欣,于庆龙,
申请(专利权)人:南京邮电大学,
类型:发明
国别省市:
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