【技术实现步骤摘要】
本技术属于气压控制
，具体涉及一种新型高速脉冲阀装置。
技术介绍
目前，在许多物理实验仪器中需要将样品的载气以很窄的高压气体脉冲(约50-100US)释放到真空腔体内，但现有的电磁阀由于其机械特性不能达到更高的开关速度，影响实验结果的精确性。
技术实现思路
为了克服现有技术存在的缺陷，本技术的目的是提供一种新型高速脉冲阀装置，本技术脉冲阀利用了压电陶瓷高速的电能-机械能转换特性，使阀门的开关速度可达每分钟上百次，(高速电磁阀每分钟一般只能是十几次)，并且阀门打开最小时长大大缩短，由于压电陶瓷质量轻，动作速度快，因此相对于电磁阀中电磁铁的铁芯具有无可比拟的高速性。本技术提供了一种新型高速脉冲阀装置，该装置包括前端盖(I)、阀体(2)、压电陶瓷片(3)、密封垫片(4)、压力陶瓷支架(5)和接线柱(6);阀体(2)为圆柱形空腔，阀体(2)上下各有一个气孔，用于进气和出气；在阀体(2)的上部连有两个压力陶瓷支架(5)和一个接线柱(6)，压力陶瓷支架(5)上固定有I个密封垫片(4)和压电陶瓷片(3)。本技术提供的新型高速脉冲阀装置，其工作原理为:当气体从阀外壳的进气口接入阀体时，由于压电陶瓷片本身的弹性和气体的压力使密封垫片紧压在阀体的出气口上，达到密封的效果；当给压电陶瓷片加上直流的脉冲电压后，压电陶瓷片会向反方向弯曲，使出口打开，气体快速从出口喷出，同时压电陶瓷片背部气压降低同时也会加速出口的打开；当脉冲电压消失后，压电陶瓷片恢复原来的形状，压住出气口，同时背部气压增大，二者合力使出气口快速关闭。本技术提供的新型高速脉冲阀装置，利用压电陶瓷片对高速电压的快速...
【技术保护点】
一种新型高速脉冲阀装置，其特征在于：该装置包括前端盖（1）、阀体（2）、压电陶瓷片（3）、密封垫片（4）、压力陶瓷支架（5）和接线柱（6）；阀体（2）为圆柱形空腔，阀体（2）上下各有一个气孔，用于进气和出气；在阀体（2）的上部连有两个压力陶瓷支架（5）和一个接线柱（6），压力陶瓷支架（5）上固定有1个密封垫片（4）和压电陶瓷片（3）。
【技术特征摘要】
1.一种新型高速脉冲阀装置，其特征在于:该装置包括前端盖(I)、阀体(2)、压电陶瓷片(3)、密封垫片(4)、压力陶瓷支架(5)和接线柱(6);阀体(2)为圆柱形空腔，阀体(2)上下各有一个气孔，用于进气和出气；在阀体(2)的上部连有两个压力陶瓷支架(5)和一个接线柱(6)，压力陶瓷支架(5)上固定有I个密封垫片(4)和压电陶瓷片(3)。2.按照权利要求1所述新型高速脉冲阀装置，其特征在于:当气体从阀外壳的进气口接入阀体时，由于压电陶瓷片本身的...
【专利技术属性】
技术研发人员：唐紫超，任文峰，
申请(专利权)人：中国科学院大连化学物理研究所，
类型：实用新型
国别省市：
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