【技术实现步骤摘要】
本技术涉及地震勘探用检波器，属有源检波器，具体地说是一种MEMS模拟加速度检波器的机芯。
技术介绍
地质物探地震波信号中含高低频分量。其中低频分量较丰富。信号在地层内传播的过程中，高频分量的能量损失较快，传播愈远，损失比例愈大。高频信号越弱，对勘探地层分辨率愈不利。目前，地质物探技术已发展至高分辨勘探，高分辨勘探的瓶颈主要是对于深层、薄层高频弱信号的采集，采集的源头即是检波器。物探行业使用的检波器主要分为速度型检波器和加速度型检波器两类。速度型检波器对高低频分量的接受能力相同，对衰减严重的高频分量不易接受。加速度型检波器对高低频信号均有良好的接受能力，尤其对衰减严重的高频信号的接受更具优势。加速度型检波器，能提高高分辨率勘探效果，能更快、更准确地反映探测层的地层结构，实现地下深层、浅层、薄层的高分辨率勘测。现有的加速度型检波器主要有下列两类:一类是电磁感应式涡流加速度检波器。如中国专利87105424 ;中国专利95245142.5等。该类加速度检波器是通过磁电涡流的二次感应形成加速度信号输出，结构受弹性元件和质量块尺寸、重量等因素的限制，使自然频率不能太小，工作频率范围受限，无法消除谐波失真，因此，加速度灵敏度难以提高。另一类是采用惯性式加速度传感器响应原理的加速度检波器。该类加速度检波器有米用微机械加速度传感器MEMS (Microelectro-mechanical Systems)的电容式微机械加速度传感器，如美国I/O公司的MEMS的微机械加速度传感器(VectorSeis SVSM ModuleDigital Sensor)和中国专利0321...
【技术保护点】
一种地震勘探用检波器的机芯，包括两组惯性体和电容转换单元，所述电容转换单元由弹性震体和分别固定于弹性震体两面的镀金金属电容上极板及下极板构成，所述上极板和下极板之间还设置有极间电容；其特征在于，所述惯性体设置于镀金金属电容上极板及下极板之间并且三者固定连接为一体。2．根据权利要求1所述的一种地震勘探用检波器的机芯，其特征在于，所述惯性体通过惯性体限位柱固定于镀金金属电容上极板及下极板之间。3．根据权利要求1所述的一种地震勘探用检波器的机芯，其特征在于，所述弹性震体两端被夹于弹性结构固定体之中。4．根据权利要求1所述的一种地震勘探用检波器的机芯，其特征在于，所述电容上极板通过上极板附着体置于上固定体上，所述电容下极板通过下极板附着体置于下固定体上。5．根据权利要求1所述的一种地震勘探用检波器的机芯，其特征在于，所述极间电容是pF级，静态下绝对相等，经过半导体腐蚀工艺制成；电容上、下极板也是通过半导体腐蚀工艺制成。
【技术特征摘要】
1.一种地震勘探用检波器的机芯，包括两组惯性体和电容转换单元，所述电容转换单元由弹性震体和分别固定于弹性震体两面的镀金金属电容上极板及下极板构成，所述上极板和下极板之间还设置有极间电容；其特征在于，所述惯性体设置于镀金金属电容上极板及下极板之间并且三者固定连接为一体。2.根据权利要求1所述的一种地震勘探用检波器的机芯，其特征在于，所述惯性体通过惯性体限位柱固定于镀金金属电容上极板及下极板之间。3.根据权利要求...
【专利技术属性】
技术研发人员：宋明水，刘成斋，谢树林，邹奋勤，王增明，胡立新，吕小伟，宋智勇，吴超，
申请(专利权)人：中国石油化工股份有限公司，中国石化集团胜利石油管理局地球物理勘探开发公司，
类型：实用新型
国别省市：
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