雾化装置及其控制方法制造方法及图纸

一种雾化装置及其控制方法。该雾化装置包括控制单元、相互连接的密闭液体容器和喷头、连接喷头供第一气体进入喷头的第一气体管路、感测第一气体管路内气体压力以产生第一讯号的第一压力传感器、连接密闭液体容器供第二气体进入密闭液体容器的第二气体管路、感测密闭液体容器内背压以产生第二讯号的第二压力传感器及控制第二气体流量的第二流量控制件，其中，流入喷头的液体经第一气体的碰撞而雾化。控制单元接收第一、二讯号并进行运算，以根据运算结果令第二流量控制件调整第二气体进入密闭液体容器的流量，来控制密闭液体容器的背压，进而控制自喷头喷出的经雾化的液体流量。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种，尤指一种可均匀喷雾以产生微奈米薄膜的。
技术介绍
雾化涂布技术是借由碰撞原理使液体转换为雾态，其主要是利用一高速气体撞击液滴，使液滴形成一具向量性击发的微小颗粒水雾分子，以喷发至目标物体上。其目的在于使物体附上一层或多层具有特定功能的材料，以改善表面的光电特性或结构，借此增进可利用性，同时提高产品的使用价值。雾化涂布技术应用的产业极为广泛，如薄膜太阳能电池、OLED与生医奈米喷涂产品开发等。一般雾化装置的基本构件为液体供应槽和喷头，其控制方法为利用一高速气体进入喷头，喷头内由于气体的进入造成流速上升而产生负压区，进而带动供应槽内的液体被吸入至喷头内，再经由此高速气体撞击进而雾化。由于在雾化的过程中，气体流速越快，液体被撞击的程度越高，而且气体速度也决定喷头内的负压，进而影响喷雾的流量。若气体速度太快，喷头内的负压增加，将会迫使过量的液体被吸入至喷头，则易在工件上产生喷雾飞溅与回流的问题；若气体速度太慢，除了雾化程度低之外，喷雾的流量也需要非常精确的控制，才能制造出优良的雾气。目前的喷雾装置皆直接控制进入喷头的气体流量，将液体自供应槽带出至喷头来撞击雾化，使得喷出的流量无法微量精准控制，导致液体雾化所喷出的雾化粒径往往过大。是以，在现今的微奈米薄膜涂布上，传统式的喷枪喷雾方式已无法达成精准且微小粒径均匀分布的喷雾涂布，因而无法供产业有效利用。
技术实现思路
鉴于上述现有技术的种种缺失，本专利技术的主要目的在于提供一种，能精确控制雾化液体的流量及喷出速度。本专利技术提供一种雾化装置，具有喷头和连接该喷头且容置有预定量液体的密闭液体容器，该雾化装置包括:第一气体管路，其连接该喷头，用以供第一气体进入该喷头，以使流至该喷头的液体借由该第一气体而被雾化，并自该喷头喷出，当该密闭液体容器的液体减少时，该密闭液体容器的背压会由大气压力下降至一负压；第一压力传感器，其连接于该第一气体管路，用以感测该第一气体管路内进入该喷头的第一气体的压力，并据以产生第一讯号；第二气体管路，其连接该密闭液体容器，用以供第二气体流至该密闭液体容器，以于该密闭液体容器中调整背压；第二流量控制件，其连接于该第二气体管路，用以控制进入该密闭液体容器的该第二气体的流量；第二压力传感器，其连接于该密闭液体容器，用以感测该密闭液体容器的背压，并据以产生第二讯号；及控制单元，其接收该第一讯号及该第二讯号并进行运算，以根据运算结果发送第二流量控制讯号，令该第二流量控制件借由调整该第二气体管路中该第二气体进入该密闭液体容器的流量，而调整该密闭液体容器的背压，进而控制自该喷头喷出的经雾化的液体流量。所述的雾化装置还包括连接于该密闭液体容器的真空产生器，该控制单元根据该运算结果发出真空控制讯号，以令该真空产生器调整该密闭液体容器的背压，进而控制自该喷头喷出的经雾化的液体流量。其次，本专利技术提供一种雾化装置的控制方法，该雾化装置包括控制单元、喷头、连接该喷头且容置有预定量液体的密闭液体容器、连接该喷头的第一气体管路及连接于该第一气体管路的第一压力传感器、连接该密闭液体容器的第二气体管路及第二压力传感器，该控制方法包括以下步骤:1)令该液体自该密闭液体容器流入该喷头；2)令第一气体经该第一气体管路流入该喷头，并令该第一压力传感器感测该第一气体管路内进入该喷头的第一气体的压力，以产生第一讯号且将该第一讯号传输至该控制单元，并令第二气体经该第二气体管路流入该密闭液体容器，以由该第二压力传感器感测该密闭液体容器内的背压，而产生第二讯号且将该第二讯号传输至该控制单元；及3)令该控制单元接收该第一及第二讯号并进行运算，以根据运算结果调整该第二气体管路中该第二气体进入该密闭液体容器的流量，而调整该密闭液体容器的背压，进而控制自该喷头喷出的经雾化的液体流量。相较于先前技术，本专利技术的，可根据密闭液体容器的背压和进入喷头的第一气体的压力之间的压差，来控制进入密闭液体容器的第二气体的气体量，以控制喷出的雾化液体的流速或流量。附图说明图1概略绘示本专利技术的雾化装置的基本构件方块图；图2为本专利技术的雾化装置的一实施例的构件图。主要组件符号说明10喷头iiur 第一压力传感器12第一流量控制件13第一压力调整件20密闭液体容器20a、20b、20c 开关阀21、21’第二压力传感器22、22’第二流量控制件23第二压力调整件30、30’控制单元301控制器302处理器31真空产生器4基板41薄膜 Al第一气体管路A2第二气体管路A3真空管路SI第一讯号S2第二讯号C2第二流量控制讯号C3真空控制讯号L液体。具体实施例方式以下借由特定的实施例说明本专利技术的实施方式，熟悉此技术的人士可由本说明书所揭示的内容轻易地了解本专利技术的其它优点与功效。本专利技术也可借由其它不同的具体实施例加以施行或应用。应了解本说明书所附图式所绘示的结构、比例、大小等，均仅用以配合说明书所揭示的内容，以供熟悉此技艺的人士的了解与阅读，并非用以限定本专利技术可实施的限定条件，故不具技术上的实质意义，任何结构的修饰、比例关系的改变或大小的调整，在不影响本专利技术所能产生的功效及所能达成的目的下，均应仍落在本专利技术所揭示的
技术实现思路
得能涵盖的范围内。同时，本说明书中所引用的如“第一”、及“第二”等用语，也仅为便于叙述的明了，而非用以限定本专利技术可实施的范围，其相对关系的改变或调整，在无实质变更
技术实现思路
下，当也视为本专利技术可实施的范畴。请参阅图1，其为本专利技术的雾化装置的基本构件示意图。如图1所示，雾化装置具有喷头10和容装液体L的密闭液体容器20,主要包括第一气体管路Al、第一压力 传感器11、第二气体管路A2、第二压力传感器21、第二流量控制件22以及控制单元30。第一气体管路Al，连接喷头10，用以供第一气体流入喷头，以使流入喷头10的液体L，借由该第一气体而被雾化。详言的，液体L自开关阀20b流入密闭液体容器20，再经开关阀20a流至喷头10，同时第一气体(例如氮气或空气)经第一气体管路Al进至喷头10，使液体L受到第一气体的撞击而雾化，又，喷头10内由于第一气体的高速进入而于其中产生负压，导致密闭液体容器20中的液体L受该负压的吸引而进入至喷头10内。因此，第一气体进入喷头10的速度，可影响液体L经雾化的粒径大小及自喷头10喷出的流量。 第一压力传感器11，连接于第一气体管路Al，用以感测第一气体管路Al内的压力而产生第一讯号SI。如图1所示，第一压力传感器11连接于邻近第一气体管路Al连接喷头10之处，以感测第一气体管路Al内即将进入喷头10的第一气体的压力，并根据所感测到的压力产生第一讯号SI并将其传输至控制单元30。由于密闭液体容器20为密闭空间，当液体L自该密闭液体容器20流至喷头10而喷出后，该密闭液体容器20余下的空间将会产生一真空状态，此时该密闭液体容器20的背压略低于一大气压。第二气体管路A2，连接密闭液体容器20，用以供第二气体(例如氮气或空气)流至密闭液体容器20。第二气体通入密闭液体容器20中，可调整密闭液体容器20内的背压，背压的大小可影响液体流入喷头10的流量。第二流量控制件22，连接于第二气体管路A2，用以控制进入密闭液体容器20的第二气体的流量。第二流量控制件22可例如为质流控制器(mass fl本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种雾化装置，具有喷头和连接该喷头且容置有预定量液体的密闭液体容器，该雾化装置包括：第一气体管路，其连接该喷头，用以供第一气体进入该喷头，以使流至该喷头的液体借由该第一气体而被雾化，并自该喷头喷出；第一压力传感器，其连接于该第一气体管路，用以感测该第一气体管路内进入该喷头的第一气体的压力，并据以产生第一讯号；第二气体管路，其连接该密闭液体容器，用以供第二气体流至该密闭液体容器，以调整该密闭液体容器中的背压；第二流量控制件，其连接于该第二气体管路，用以控制进入该密闭液体容器的该第二气体的流量；第二压力传感器，其连接于该密闭液体容器，用以感测该密闭液体容器的背压，并据以产生第二讯号；及控制单元，其接收该第一讯号及该第二讯号并进行运算，以根据运算结果发送一第二流量控制讯号，以令该第二流量控制件借由调整该第二气体管路中该第二气体进入该密闭液体容器的流量，而控制该密闭液体容器的背压，进而控制自该喷头喷出的经雾化的液体流量。

【技术特征摘要】
2011.12.16 TW 1001467411.一种雾化装置，具有喷头和连接该喷头且容置有预定量液体的密闭液体容器，该雾化装置包括: 第一气体管路，其连接该喷头，用以供第一气体进入该喷头，以使流至该喷头的液体借由该第一气体而被雾化，并自该喷头喷出； 第一压力传感器，其连接于该第一气体管路，用以感测该第一气体管路内进入该喷头的第一气体的压力，并据以产生第一讯号； 第二气体管路，其连接该密闭液体容器，用以供第二气体流至该密闭液体容器，以调整该密闭液体容器中的背压； 第二流量控制件，其连接于该第二气体管路，用以控制进入该密闭液体容器的该第二气体的流量； 第二压力传感器，其连接于该密闭液体容器，用以感测该密闭液体容器的背压，并据以产生第二讯号；及 控制单元，其接收该第一讯号及该第二讯号并进行运算，以根据运算结果发送一第二流量控制讯号，以令该第二流量控制件借由调整该第二气体管路中该第二气体进入该密闭液体容器的流量，而控制该密闭液体容器的背压，进而控制自该喷头喷出的经雾化的液体流量。2.根据权利要求1所述的雾化装置，其特征在于，该雾化装置还包括连接于该密闭液体容器的真空产生器，其特征在于，该控制单元根据该运算结果发出真空控制讯号，以令该真空产生器使该密闭液体容器内产生真空状态，以控制该密闭液体容器的背压，进而控制自该喷头喷出的经雾化的液体流量。3.根据权利要求1或2所述的雾化装置，其特征在于，该雾化装置还包括连接于该第二气体管路的第二压力调整件，其特征在于，该第二压力调整件用以调整该第二气体管路中该第二气体的压力。4.根据权利要求3所述的雾化装置，其特征在于，该第二气体管路内的第二气体的压力于该液体的雾化过程中实质上为固定值。5.根据权利要求1或2所述的雾化装置，其特征在于，该雾化装置还包括连接于该第一气体管路的第一流量控制件及第一压力调整件，其中，该第一压力传感器设置于该喷头和该第一...

【专利技术属性】
技术研发人员：董福庆，陈家铭，吴佩珊，何荣振，沈添沐，
申请(专利权)人：财团法人工业技术研究院，
类型：发明
国别省市：