设备控制系统技术方案

本实用新型专利技术提供设备控制系统，所述设备控制系统包括：至少一个工作站，每一工作站中设置有至少一个控制模块；地址配置单元，用于分配并存储地址，所述地址对应了要激活的控制模块；启动配置服务单元，用于基于所述地址激活各个工作站中相应的控制模块。本实用新型专利技术使得各个控制模块能够灵活的设置在各个工作站中，提高了设备控制系统及各个控制模块的可携带性，各个控制模块可以合理分配在各个工作站，从而避免一个工作站处理过多的控制模块，加快了设备控制系统的处理速度和可靠性。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及通讯
，特别涉及设备指令控制系统的架构。
技术介绍
随着半导体设备控制的自动化程度的不断提高，用户通过工作站控制半导体设备，进行各种操作。请参考图1所示的现有的设备控制系统的结构示意图。具体地，半导体设备I为MOCVD设备，其包括多个被控制模块，图中示出了第一被控制模块11、第二被控制模块12、第三被控制模块13，根据实际需要，所述第一被控制模块11可以为温控系统，第二被控制模块12可以为设备的压力控制系统，第三被控制模块可以为反应气炉系统等。工作站2的结构可以与工作站I的结构相同或不同，比如所述工作站2可以包括多个控制模块，第一控制模块21、第二控制模块22、第三控制模块23，所述第一控制模块21用于控制第一被控制模块11，所述第二控制模块22用于控制第二被控制模块12，所述第三控制模块23用于控制第三被控制模块13。在实际中，发现各个控制模块只能在同一工作站上执行，造成系统及各个功能模块的可携带性(portablity)有待提高，随着半导体设备的腔室增多，被控制模块增多，工作站中集成的控制模块也增多，影响整个设备控制系统的处理速度和可靠性。
技术实现思路
本技术实施例解决的问题是提供了一种设备控制系统，其中的各个功能模块能够在灵活配置在各个工作站上，提高了系统及各个功能模块的可靠性，也提高了设备控制系统的处理速度、可靠性。为了解决上述问题，本技术提供一种设备控制系统，包括:至少两个工作站，每一工作站中设置有至少一个控制模块；地址配置单元，用于分配并存储地址，所述地址对应了要激活的控制模块；启动配置服务单元，用于基于所述地址激活各个工作站中相应的控制模块，所述地址可通过软件编程的方式更新。可选地，还包括:优先级存放单元，用于存放各个控制模块激活的优先级，所述启动配置服务单元依照优先级的次序激活各个控制模块。可选地，所述启动配置服务单元并行激活全部要激活的控制模块。可选地，每一工作站具有通讯单元，用于在所述工作站中的控制模块激活之后将控制模块对应的指针地址发送至所述启动配置服务单元，所述启动配置服务单元还用于存储所述指针地址，所述指针地址用于指向与其对应的控制模块。可选地，所述地址为所述工作站的通讯单元的物理地址。可选地，还包括:常用地址指针存放单元，用于标记常用控制模块，在所述常用控制模块激活后，所述常用地址指针存放单元还用于从所述启动配置服务单元获得所述常用控制模块的地址指针。可选地，所述常用地址指针存放单元设置于启动配置服务单元或通讯单元中。可选地，所述设备控制模块应用于半导体设备的控制。可选地，所述半导体设备为MOCVD设备。与现有技术相比，本技术具有以下优点:本技术提供的设备控制系统中设置的地址配置单元能够对控制模块分配地址，所述启动被指服务单元能够基于所述地址激活控制模块，当需要在各工作站新增控制模块或交换控制模块时，只需要在地址配置单中对要激活的控制模块的物理地址进行更新即可，从而各个控制模块能够灵活的设置在各个工作站中，提高了设备控制系统及各个控制模块的可携带性，各个控制模块可以合理分配在各个工作站，从而避免一个工作站处理过多的控制模块，加快了设备控制系统的处理速度、可靠性；进一步优化地，通过所述控制模块的通讯单元标记常用控制模块，在激活所述常用控制模块后，从所述启动配置服务单元获得所述常用控制模块的地址指针，从而进一步加快处理速度。附图说明图1是现有的设备控制系统的结构示意图；图2是本技术一个实施例的设备控制系统的结构示意图。具体实施方式现有的设备控制系统的各个控制模块只能在同一工作站上执行，造成系统及各个功能模块的可携带性(portablity)有待提高，各个控制模块中的软件部分只能安装并且运行在同一工作站。随着半导体设备越来越复杂，其中的功能模块和软件部分增多，并且对工作站的硬件要求更好，仅将控制模块设置在同一工作站，会使得工作站的处理速度和可靠性降低。由于受到工作站资源的限制，整个设备控制系统的可扩展性也受到了限制。为了解决上述问题，本技术的专利技术人提出的设备控制系统包括:至少两个工作站，每一工作站中设置有至少一个控制模块；地址配置单元，用于分配并存储地址，所述地址对应了要激活的控制模块；启动配置服务单元，用于基于所述地址激活各个工作站中相应的控制模块。本技术的设备控制系统可用于沉积、刻蚀、光刻、扩散等各种类型的半导体设备。下面结合具体的实施例对本技术的技术方案进行说明。请结合图2所示的本技术一个实施例的设备控制系统的结构示意图。所述设备控制系统应用于MOCVD设备。具体地，所述设备控制系统包括4个工作站，分别是第一工作站10、第二工作站20、第三工作站30和第四工作站40。在其他的实施例中，根据实际的需要，所述工作站的数目也可以为2个、3个或更多个。每一工作站中具有至少一个控制模块。作为一个实施例,所述第一工作站10中具有第一控制模块101、第二控制模块102、第三控制模块103，所述第二工作站20中具有第四控制模块201、第五控制模块202、第六控制模块203，第三工作站30中具有第七控制模块301、第八控制模块302和第九控制模块303，所述第四工作站40中具有第十控制模块401、第十一控制模块402和第十二控制模块403。作为一个实施例，各个控制模块包括软件模块和与软件结合的电气控制模块，比如所述控制模块可以为用于控制气体流量的软件模块以及控制气体流量的工业控制器。作为本技术的又一实施例，所述控制模块也可以为单纯的软件模块。作为一个实施例，本领域技术人员可以将用于控制半导体设备所需全部的软件模块全部安装于每一个工作站中，根据实际情况选择在哪一个工作站中激活所述软件模块，这样可以在工作站中合理配置各个软件模块，避免某一工作站的负担过重，加快工作站的处理速度和可靠性。各个软件模块可以在工作站之间进行灵活的移植，从而提高控制模块的可携带性。在其他的实施例中，各个工作站中的控制模块的数目、具体安装或激活哪个控制模块可以根据需要进行设置。每一工作站具有通讯单元,每一通讯单元具有与之对应的物理地址(即IP地址)。本实施例中，所述第一工作站10具有第一通讯单元104，第二工作站20具有第二通讯单元204，第三工作站30具有第三通讯单元304，第四工作站40具有第四通讯单元404。地址配置单元50用于基于对各个控制模块分配并存储地址。作为本技术的一个实施例，所述地址为要激活的控制模块所在的工作站的通讯单元的物理地址。作为本技术的又一实施例，所述地址为与要激活的控制模块所在的工作站中的通讯单元的物理地址对应的地址代码,每一地址代码与物理地址唯一对应。在实际中，本领域技术人员可以通过软件编程的方式在地址配置单元中写入要激活的控制模块的物理地址，从而对存储物理地址进行更新。启动配置服务单元60用于基于所述地址配置单元50中存储的地址激活各个工作站中相应的控制模块。在将所述启动配置服务单元60启动后，所述启动配置服务单元60从所述地址配置单元50获得要激活的控制模块及其地址，所作为一个实施例，所述地址为要激活的控制模块所在的通讯单元的物理地址，所述启动配置服务单元60基于所述物理地址激活各个工作站中相应的控制模块本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种设备控制系统，其特征在于，包括：至少两个工作站，每一工作站中设置有至少一个控制模块；地址配置单元，用于分配并存储地址，所述地址对应了要激活的控制模块；启动配置服务单元，用于基于所述地址激活各个工作站中相应的控制模块，所述地址可通过软件编程的方式更新。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：宁海涛，张锐，季振勇，任杰，黄颖泉，
申请(专利权)人：光达光电设备科技嘉兴有限公司，
类型：实用新型
国别省市：