【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种冷冻抛光砂轮加工温度的控制方法及装置，尤其是一 种用于加工单晶硅片等硬脆材料的低温抛光垫的温度控制方法及装置，具 体地说是一种冰冻固结磨料抛光温度的控制方法及装置。
技术介绍
利用冰冻固结磨料抛光垫对单晶硅片等硬脆材料进行低温抛光过程 中，因磨具为冰冻抛光垫，抛光区域产生的热量会导致冰冻抛光垫的融化。 一方面冰冻抛光垫表层融化后会使旧的磨料脱落，新的磨料露出，使抛光去除效率提高；另一方面，冰冻抛光垫的融化速度应有效的控制，以避免 磨料的浪费，保证冰冻抛光垫中的固结磨料在抛光加工时间内的有效性。 因此，应适当控制低温加工环境，以确保冰冻固结磨料抛光垫不至于因环 境温度的原因而过早失效，并由此导致抛光垫成本的增加，而影响抛光垫 失效的关键是其内部温度，只有当内部温度维持在一定的范围内，才能保 证抛光垫表面处于理想工作状态，如果内部温度过高，则必须通过冷风发 生器来降低抛光垫工作环境温度，以使磨粒保持一定的粘结强度，如果内 部温度过低，则必须减少冷风发生器的送风量，甚至关闭冷风发生器，以 提高抛光垫的工作环境温度，使磨粒能正常地与垫体分离，保持抛光...
【技术保护点】
一种冰冻固结磨料抛光温度控制方法，其特征是它包括如下步骤： （１）首先，在冰冻固结磨料抛光垫上通过冻结固定安装带有无线电发射模块的温度记录仪； （２）其次，在冰冻固结磨料抛光垫内部至少冻结安装一个测温探头，并通过冻结在冰冻固结磨料抛光垫内部的导线将测温探头所测得的温度送入温度记录仪中，由温度记录仪将所测得的冰冻固结磨料抛光垫内部的温度通过无线电发射模块发送出去； （３）第三，在冷风发生器上安装无线电接收模块，用于接收温度记录仪所采集到的温度信号； （４）无线电接收模块将接收到的温度送入冷风发生器与设定的温度进行比较以控制冷风发生器的送风量，达到控制冰冻固结磨料抛光温度的目的...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：孙玉利，左敦稳，朱永伟，郭魂，周亮，李茂，康静，
申请(专利权)人：南京航空航天大学，
类型：发明
国别省市：84[中国|南京]
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