一种传感器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种传感器，传感器结构包括：数模转换器、压电执行器、膜片、衬底。压力测量的步骤如下：数模转换器为压电执行器施加阶梯式增加的电压；压电执行器驱动压力传感器的膜片弯曲；数模转换器为压电执行器施加阶梯式减小的电压；测量膜片上的压力。本实用新型专利技术可以避免膜片位置的不确定性问题，减小机械迟滞误差，改善压力传感器的测量精度。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及一种测量压力的传感器。
技术介绍
压力传感器是工业生活中最常见的一种传感器，其广泛应用于各种领域，涉及自动化生产、机床、管道、电力、交通监控、航空航天、石油石化、军工等众多行业。随着微机电MEMS技术的发展，MEMS压力传感器的技术也得到了显著提高，传感器体积越来越小，测量精度也得到了很大提高。然而对于测量高精度压力时，压力传感器自身的机械误差就不能忽视。施加在传递压力的膜片上的压力从高至低降到压力值F时，和压力从低至高升到压力值F时，虽然最终的压力值相同，但由于机械的迟滞特性，膜片此时在应力作用下的挠度是不同的，即传感器膜片压力载荷的加载线与卸载线不完全重合。对于压力传感器，由于待测量的压力可能不稳定，难以确定测得的电压信号是否对应真实的压力值，这就造成所测量的弹性膜片形变对应的压力与实际的压力有偏差，采集到的压力信号精度不高。
技术实现思路
本技术提出的一种测量压力的传感器，其目的旨在克服现有技术所存在的上述缺陷，降低由于机械迟滞性造成的误差，提高压力的测量精度。本技术的技术解决方案:传感器由数模转换器、压电执行器、膜片、衬底组成，其中衬底上设置有膜片，压电执行器位于膜片本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种传感器，其特征在于由数模转换器、压电执行器、膜片、衬底组成，其中衬底上设置有膜片，压电执行器位于膜片的表面中央，数模转换器通过导线连接到压电执行器上。

【技术特征摘要】
1.一种传感器，其特征在于由数模转换器、压电执行器、膜片、衬底组成，其中衬底上设置有膜片，压电执行器位于膜片的表面中央，数模转换器通过导线连接到压电执行器上。2.如权利要求1所...

【专利技术属性】
技术研发人员：李维平，刘清惓，黄标，周晓，佘德群，
申请(专利权)人：南京高华科技有限公司，
类型：实用新型
国别省市：