【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种多用途同步辐射相干X射线衍射显微成像装置，其特征在于：所述装置沿光束前进方向依次共轴排列有：同步辐射X射线光源、波荡器、设置于电控旋转平台上的单色器晶体、X射线快门、第一升降平台和设置于其上的聚焦装置腔、真空管道、第二升降平台和设置于其上的多用途样品室、真空管道、第三升降平台和设置于其上的探测器、以及收集数据和控制电控平移台移动的计算机；其中所述聚焦装置腔在侧面设有一个用于内部设备调整的封闭门，其腔内沿光路前进方向依次共轴排列有：固定于角位移台和二维方向高精度平移台上的水平聚焦KB镜、固定于角位移台和二维方向高精度平移台上的垂直聚焦KB镜，所述多用途样品室顶端面和侧面分别设有一个密封门，室中沿光路前进方向依次共轴排列有：固定于二维方向高精度电动平移台上的针孔、第一直角光阑、第二直角光阑、能三维方向移转的样品台和可移动光电二极管，样品室顶部设有一个真空阀接口，接于真空泵，样品室底部一侧和样品室顶部另一侧各设一个换气接口，分别为进气口和出气口，正对样品台位置设置一个氮气冷却喷头，喷头的另一端连接于样品室顶部的液氮进口，所述第三升降平台上沿光路前进方向依次共轴排列有：X射线衰减器，固定于...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：江怀东，范家东，刘宏，张剑，姚圣坤，
申请(专利权)人：山东大学，
类型：发明
国别省市：
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