【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种基于迈克尔逊光纤干涉仪垂直振动位移传感器，其特征在于：包括激光器、与激光器连接的耦合器、与耦合器连接的迈克尔逊干涉臂光纤，所述迈克尔逊干涉臂光纤包括参考臂和信号臂，所述参考臂末端设置有反光镜，所述信号臂末端设置有对迈克尔逊干涉臂光纤的输出光进行准直的准直镜，还包括弹簧、质量块，所述弹簧将质量块支撑在封装壳上，所述质量块上端面上镀膜形成反光镜，所述信号臂的光进入准直镜在反光镜上产生反射，反射光耦合到信号臂并进入耦合器，与参考臂信号发生干涉，还设有探测器检测输出干涉信号，当平台T在垂直方向产生位移，迈克尔逊光纤干涉仪整体发生位移，由于质量块的惯性，在迈克尔逊干涉仪整体移动时，质量块保持相对静止，使得反光镜与扩束镜发生相对位移，从而将平台的位移经弹簧传递给质量块，使反光镜与扩束镜在垂直方向产生与平台位移等量的相对位移，信号臂以参考臂光程差发生变化，探测器对信号进行检测，得到平台垂直方向的振动位移量。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：岳慧敏，胡泽雄，吴雨祥，李剑锋，欧中华，刘永，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：
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