【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种氢化物气相外延装置，包括一气相外延反应腔，其特征在于反应腔上部设有进气装置，进气装置下方设有一石英舟，反应腔下部设有载片盘，载片盘下方和上方设有加热装置，载片盘下方的加热装置与反应区由载片盘支撑隔开，反应腔底部设有排气口。
【技术特征摘要】
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