微机械功能装置、尤其扬声器装置、以及相应的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供了一种微机械功能装置、尤其扬声器装置和一种相应的制造方法。该功能装置、尤其扬声器装置包含有一个具有上侧（O）和下侧（U）的衬底（5；5`）、至少一个安置在该第一孔穴（K`）中底侧（U）上的电路芯片（30）、安置在第二孔穴（K）中在上侧（O）上的具有多个微机械扬声器（9a,9b,9c）的微机械功能结构、尤其扬声器结构（10）、以及设置在该微机械功能结构、尤其扬声器结构（10）上侧（O）的覆盖装置（20）。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种微机械功能装置，尤其扬声器装置，其具有：衬底（5；5`），其具有上侧（O）和底侧（U）；安置在该底侧（U）上第一孔穴（K`）中的至少一个电路芯片（30）；微机械功能结构、尤其扬声器结构（10），其具有多个微机械扬声器（9a,9b,9c），所述扬声器结构安置在该上侧（O）第二孔穴（K）中；以及设置在该上侧（O）上在该微机械功能结构、尤其扬声器结构（10）之上的覆盖装置（20）。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：R埃伦普福特，M布吕恩德尔，A格拉希，C莱嫩巴赫，S克尼斯，A法伊，U肖尔茨，
申请(专利权)人：罗伯特·博世有限公司，
类型：发明
国别省市：