使用单个磁阻传感器确定磁场的面内磁场分量的装置和方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及使用单个磁阻传感器确定磁场的面内磁场分量的装置和方法。提供了一种用于测量在平面内的所施加的磁场的方法。该方法包括同时分别施加第一和第二交变驱动电流到覆盖磁阻传感器的第一和第二带，以使磁阻传感器经受在磁阻传感器的平面内旋转的周期性旋转磁驱动场。当所施加的待测磁场被叠加于在平面内旋转的周期性旋转磁驱动场上时，该方法包括提取从磁阻传感器输出的输出电压的二次谐波分量。待测磁场在平面内的幅度与所提取的输出电压的二次谐波分量的幅值成比例。待测磁场在平面内的方向与所提取的输出电压的二次谐波分量的相位角有关。

【技术实现步骤摘要】
用单个磁阻传感器确定磁场的面内磁场分量的装置和方法
技术介绍
所期望的是，使用在相同衬底上成批制造的设备在不需要锯割和封装的情况下就能够感测平面场的两个分量。当前可用的技术是通过在相邻的隧道结上使正交的铁磁钉扎（pinned）层/参考层（PL/RL）磁化方向退火（annealing-in）来解决这个问题的。磁性隧道结具有大约百分之百（100’sof%）的高磁阻率（即，（Rmax-Rmin）/Rmin=ΔR/R），而且当前被用于测量中到高水平的磁场。磁性隧道结还具有高1/f噪声。低频的高噪声密度阻碍了将磁性隧道结用于测量在低于kHz级别的频率处的低水平磁场。
技术实现思路
本申请涉及用于测量在平面内的所施加的磁场的方法。本方法包括施加第一交变驱动电流到第一带。第一带的至少一部分覆盖磁阻传感器。第一带具有在第一方向延伸的尺寸。本方法还包括同时施加第二交变驱动电流到第二带。第二带的至少一部分覆盖第一带的至少一部分。第二带具有在第二方向延伸的尺寸。第二方向不平行于第一方向，并且第二交变驱动电流相对于第一交变驱动电流异相，这样磁阻传感器经受在磁阻传感器的平面内旋转的周期性地旋转的磁驱动场。当所施加的待测本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于测量平面(X?Y)内的所施加的磁场(450)的方法，该方法包括：施加第一交变驱动电流(431)到第一带(71)，其中第一带的至少一部分(65)覆盖磁阻传感器(10)，第一带具有在第一方向(X)延伸的尺寸；同时施加第二交变驱动电流(432)到第二带(72)，其中第二带的至少一部分(66)覆盖第一带的至少一部分，第二带具有在第二方向(Y)延伸的尺寸，第二方向不平行于第一方向，且第二交变驱动电流相对于第一交变驱动电流是异相的，其中磁阻传感器经受在磁阻传感器中的平面内旋转的周期性旋转磁驱动场(440)；以及当所施加的待测磁场被叠加于在平面内旋转的周期性旋转磁驱动场时，提取从磁阻传感器输出的输出...

【技术特征摘要】
2011.11.04 US 13/289,8041.一种用于测量平面（X-Y）内的所施加的磁场（450）的方法，该方法包括：施加第一交变驱动电流（431）到第一驱动带（71），其中第一驱动带的至少一部分（65）覆盖磁阻传感器（10），第一驱动带具有在第一方向（X）延伸的尺寸；同时施加第二交变驱动电流（432）到第二驱动带（72），其中第二驱动带的至少一部分（66）覆盖第一驱动带的至少一部分，第二驱动带具有在第二方向（Y）延伸的尺寸，第二方向不平行于第一方向，且第二交变驱动电流相对于第一交变驱动电流是异相的，其中磁阻传感器经受在磁阻传感器中的平面内旋转的周期性旋转磁驱动场（440）；以及当所施加的待测磁场被叠加于在平面内旋转的周期性旋转磁驱动场时，提取从磁阻传感器输出的输出电压（Vout）的二次谐波分量，其中所施加的待测磁场在平面内的幅度与所提取的输出电压的二次谐波分量的幅值（|Happlied|）成比例，且其中所施加的待测磁场在平面内的方向（φ）与所提取的输出电压的二次谐波分量的相位角有关。2.如权利要求1的方法，进一步包括...

【专利技术属性】
技术研发人员：B·B·潘特，L·维塔纳瓦萨姆，
申请(专利权)人：霍尼韦尔国际公司，
类型：发明
国别省市：