喷嘴保养装置及使用该喷嘴保养装置的涂布处理装置制造方法及图纸

本申请发明专利技术是一种喷嘴保养装置及使用该喷嘴保养装置的涂布处理装置。本发明专利技术的课题在于消除处理液等化学药品的无谓消耗，且缩短工作时间，提高生产性。该喷嘴保养装置包括：擦拭体(11)，形成为圆柱状或圆盘状，在其周面上具有沿着所述喷嘴前端的长度方向平行地形成的多个擦拭部(11a)，利用面朝特定方向的一擦拭部夹持喷嘴前端(3a)，并且所述擦拭体(11)设为沿着所述喷嘴前端的长度方向可移动；擦拭体移动机构(13、14、15)，使所述擦拭体沿着所述喷嘴前端的长度方向移动；以及擦拭体旋转机构(17、18)，使移动到所述喷嘴前端的侧方的所述擦拭体绕轴旋转，使其他擦拭部取代所述一擦拭部成为面朝所述特定方向的状态。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及ー种喷嘴保养装置及使用该喷嘴保养装置的涂布处理装置，本专利技术尤其涉及ー种对在长条状的喷嘴上形成着喷出口，且从所述喷出口喷出的处理液附着的喷嘴前端，实施所述处理液的擦拭处理的喷嘴保养装置及使用该喷嘴保养装置的涂布处理装置。
技术介绍
例如,在FPD (Flat panel display,平板显示器)的制造中，一直进行ー种利用所谓的光微影(photolithography)步骤而形成电路图案(circuit pattern)的操作。在该光微影步骤中，于在玻璃基板等被处理基板上成膜特定的膜之后，涂布作为处理液的光致抗蚀剂(photoresist)(以下,称为光阻剂)而形成光阻膜(resist film)(感光膜)。然后，与电路图案对应地曝光所述光阻膜，使其得到显像处理，而形成图案。在此种光微影步骤中，作为在被处理基板上涂布光阻液而形成光阻膜的方法，有从狭缝状的喷嘴喷出口呈带状地喷出光阻液，并将光阻液涂布在基板上的方法。在使用该方法的以往的光阻剂涂布装置中，例如，如图12所示利用喷嘴移动机构51使喷嘴52相对于载置在工作台50上的基板G相对地移动。此时，从狭缝状的喷出口 本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种喷嘴保养装置，其特征在于：对从形成在沿被处理基板的宽度方向延伸的长条状的喷嘴上的喷出口喷出的处理液所附着的喷嘴前端，实施所述处理液的擦拭处理；且包括：擦拭体，形成为圆柱状或圆盘状，在其周面上具有沿着所述喷嘴前端的长度方向平行地形成的多个擦拭部，利用面朝特定方向的一擦拭部夹持所述喷嘴前端，并且所述擦拭体设为沿着所述喷嘴前端的长度方向可移动；擦拭体移动机构，使所述擦拭体沿着所述喷嘴前端的长度方向移动；以及擦拭体旋转机构，使移动到所述喷嘴前端的侧方的所述擦拭体绕轴旋转，使其他擦拭部取代所述一擦拭部成为面朝所述特定方向的状态。

【技术特征摘要】
2011.10.28 JP 2011-2366491.一种喷嘴保养装置，其特征在于:对从形成在沿被处理基板的宽度方向延伸的长条状的喷嘴上的喷出口喷出的处理液所附着的喷嘴前端，实施所述处理液的擦拭处理；且包括: 擦拭体，形成为圆柱状或圆盘状，在其周面上具有沿着所述喷嘴前端的长度方向平行地形成的多个擦拭部，利用面朝特定方向的一擦拭部夹持所述喷嘴前端，并且所述擦拭体设为沿着所述喷嘴前端的长度方向可移动； 擦拭体移动机构，使所述擦拭体沿着所述喷嘴前端的长度方向移动；以及 擦拭体旋转机构，使移动到所述喷嘴前端的侧方的所述擦拭体绕轴旋转，使其他擦拭部取代所述ー擦拭部成为面朝所述特定方向的状态。2.根据权利要求1所述的喷嘴保养装置，其特征在于: 所述擦拭体形成为在圆柱状体或圆盘状体的周面上沿着所述喷嘴前端的长度方向平行地设置着齿间迹的齿轮状； 所述擦拭部包含形成在 相邻的一对齿之间的沟槽部。3.根据权利要求2所述的喷嘴保养装置，其特征在于: 所述沟槽部的底部相对于所述形成为齿轮状的擦拭体的轴方向而傾斜。4.根据权利要求2所述的喷嘴保养装置，其特征在于: 所述擦拭体是由在同一轴上相连而排列的多个齿轮所构成； 所述多个齿轮的面朝...

【专利技术属性】
技术研发人员：福田喜辉，
申请(专利权)人：东京毅力科创株式会社，
类型：发明
国别省市：