一种超薄Ta-W合金箔材的制备方法技术

本发明专利技术提供了一种超薄Ta-W合金箔材的制备方法；属于Ta-W合金加工技术领域。本发明专利技术包括粉末冶金法制备合金坯锭、冷轧开坯、冷轧/真空退火的循环操作以及3~5μm箔材的退火等步骤；所制备的箔材厚度可达到3~5μm，本发明专利技术工艺简单，制备的箔材精度高，与纯Ta箔材以及其他Ta-W合金箔材相比具有强度高、表面质量好等优点。本发明专利技术所制备厚度为3~5μm的Ta-（5.0~7.5wt%）W合金箔材适用于电子电工、航空航天等工业上大功率微波管和行波管等真空器件。本发明专利技术在实现大功率高性能微波管国产化、提高微波管使用性能和使用寿命等方面具有重要意义。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及,属于Ta-W合金加工

技术介绍
随着武器装备和电子器件技术的飞速发展，大功率高效微波管在导航系统、电子对抗干扰系统等装备上起着非常关键的作用，也是武器装备上的关键器件。钽合金超薄箔材是大功率高效微波管的阴极载体或阴极支撑部件所必需的材料。在国外，先进国家已研制出了各种规格的超薄钽合金箔材，并被广泛应用于电子电工、航空航天、国防等工业的科研与生产中。例如英国研制生产的AR-51系统工程中的型号为PT-6049的大功率行波管，美国研制生产的VTR-5662、VTC-5760、MA2829大功率行波管，俄罗斯研制生产的场致发射冷阴极微波管等都采用了这类超薄难熔合金箔材，把其作为阴极发射体的载体材料或阴极支撑部件材料，因此 ，他们所生产的微波管的性能好、可靠性高。国内目前使用的是纯钽箔材，这些箔材在高温下会脆化，振动、冲击后易开裂。为了增加强度，只好增加箔材的厚度，这将使阴极的热容量增大，阴极的预热时间加长，这些导致器件在使用时温度高，器件的寿命降低。本专利技术为了提高Ta的强度，设计了 Ta-W合金。Ta-W合金具有优良的热强度和低温塑性，是制造航天飞行器中高温本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种超薄Ta?W合金箔材的制备方法，其特征在于包括下述步骤：步骤一：Ta?W合金锭的开坯加工将致密度为95~98%的Ta?W合金锭切割成坯条后除去表面杂质和油污，然后将坯条进行真空退火，退火后冷轧，得到合金板坯；所述退火的条件为：绝对真空度＜3×10?3Pa、退火温度1200~1400℃、退火时间40~80min、冷却方式为随炉冷却至室温；所述冷轧包括横向轧制和纵向轧制，先进行总变形量为80~85%的横向冷轧，再进行总变形量为10~30%的纵向冷轧，每道次冷轧的变形量为8~10%；所述Ta?W合金中W的质量百分含量为5.0~7.5%；步骤二：合金板坯的粗加工将步骤一获得的合金板坯清洗干净后放入...

【技术特征摘要】
1.一种超薄Ta-W合金箔材的制备方法，其特征在于包括下述步骤: 步骤一:Ta_W合金锭的开坯加工 将致密度为95、8%的Ta-W合金锭切割成坯条后除去表面杂质和油污，然后将坯条进行真空退火，退火后冷轧，得到合金板坯；所述退火的条件为:绝对真空度< 3X10_3Pa、退火温度120(Tl40(TC、退火时间4(T80min、冷却方式为随炉冷却至室温；所述冷轧包括横向轧制和纵向轧制，先进行总变形量为8(Γ85%的横向冷轧，再进行总变形量为1(Γ30%的纵向冷轧，每道次冷轧的变形量为8 10% ;所述Ta-W合金中W的质量百分含量为5.(Γ7.5% ； 步骤二:合金板坯的粗加工 将步骤一获得的合金板坯清洗干净后放入钥盒中，真空退火后进行总变形量为40飞0%的多道次冷轧，冷轧后真空退火，得到合金板粗坯；所述真空退火的条件为:绝对真空度<3X10_3Pa、退火温度120(Tl400°C、退火时间4(T60min、冷却方式为随炉冷却至室温；每道次冷轧的变形量为8 10% ； 步骤三:合金板坯的精加工 将步骤二获得的合金板粗坯进行多道次冷轧，直至得到0.Γ0.15mm厚的第一合金箔材，当冷轧累积变形量达到5(Γ70%时，进行一次真空退火，所述真空退火的条件为:真空炉为真空钥片炉、绝对真空度< 3Xl(T3Pa、退火温度120(Tl40(TC、退火时间4(T60min、冷却方式为随炉冷却至室温；每道次冷轧的变形量为8 10% ； 步骤四:合金箔材的精加工 将步骤三制备的第一合金箔材真空退火后进行多道次冷轧，直至得到0.02、.025mm厚的第二合金箔材，当冷轧累积变形量达到4(Γ50%时，进行一次真空退火，所述冷轧是在20辊轧机上带张力轧制，每道次冷轧的变形量为5 8% ;所述真空退火的条件为:真空炉为真空钥片炉、绝对真空度< 3X10_4Pa、退火温度为120(Tl40(TC、退火时间为4(T60min、冷却方式为随炉冷却至室温； 步骤五:厚度为3飞μ m的合金箔的制备 将步骤四制备的第二合金箔材真空退火后进行多道次冷轧，直至得到厚度为:Γ5 μ m的合金箔材，将3飞μ m的厚合金箔材真空退火得到成品；当冷轧累积变形量达到4(Γ50%时，进行一次真空退火；所述冷轧是在30辊轧机上带张力轧制，每道次冷轧的变形量为5 8%，；所述真空退火的条件为:绝对真空度< 3X10_4Pa、退火温度为120(Tl400°C、退火时间为40飞Omin、冷却方式为随炉冷却至室温。2.根据权利要求1所述的一种超薄Ta-W合金箔材的制备方法，其特征在于:步骤一中，去除坯条表面的杂质和油污是将坯条置于清洗剂中清洗2(T40s后，用清水漂洗3次，烘干，得到表面干净的坯条，所述清洗剂是由体积百分浓度为25 30%的硝酸与体积百分浓度为5 10%的氢氟酸以及水按体积比为3:3:5组成的。3.根据权利要求2所述的一种超薄Ta-W合金箔材的制备方法，其特征在于:步骤二、三、四、五中，真空退火前，将冷轧后残留在材料表面的油污和杂质...

【专利技术属性】
技术研发人员：汪明朴，陈畅，王珊，谭望，贾延琳，李周，夏福中，张真，
申请(专利权)人：中南大学，
类型：发明
国别省市：