脉冲气体激光器风机振动的测量系统技术方案

本发明专利技术公开了一种脉冲气体激光器风机振动的测量系统，该系统包括探测光源，第一反射镜面，第二反射镜面，光电探测器，信号处理电路，数据采集器，处理器和显示器；该系统通过固定支架与脉冲气体激光器刚性连接，风机转动过程产生的振动通过固定支架使反射镜面发生位移。风机工作之前，探测光束通过固定支架中的两面反射镜反射后反向射出，探测光束光斑位于二象限光电探测器光敏面的中心，保证两个象限输出信号相同。风机工作产生离心振动带动固定支架上产生上下移动，探测光束在反射镜上的位置发生变化，出射光束的位置和投射在光电探测器光敏面上的光斑位置发生相应变化；本发明专利技术具有测量系统简单、精度高、操作方便的特点，具有很强的实用性。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于激光
，涉及的是风机振动的测量系统，该系统特别适用于对脉冲气体激光器风机工作时产生的离心振动测量。
技术介绍
采用脉冲放电泵浦的脉冲气体激光器由于具有重复率高、能量大及成本低的特点在工业上获得了广泛的应用，如集成电路光刻，激光医疗和工业加工等。脉冲气体激光器工作时的转换效率一般都较低，剩余的能量以热的形式沉积下来，造成工作介质的均匀性受到影响，即流场的不均匀性增加；激光腔内流场的不均匀性会严重影响光束质量、输出平均功率，甚至抑制激光振荡的产生，因此需要循环流动系统来使工作气体不断更新。脉冲气体激光器中的风机按工作方式不同可以分为横流风机、轴流风机和离心风机等多种形式。风机在工作时，旋转机械的转子由于受到材料质量和加工精度等方面的影响，转子的质量分布相对于旋转中心不可能绝对的对称，因此任何一个转子不可能做到“绝对平衡”，转子质量中心和旋转中心线之间总是有一定的偏心矩存在，这就使得转子旋转时形成周期性的离心力，在轴承上产生动载荷，使机器发生振动。转子在失衡条件下，会导致整套装置振动，破坏脉冲气体激光器的工作稳定性。因此风机在出厂之前需要进行动平衡测试，采取相应的措施本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种脉冲气体激光器风机振动的测量系统，其特征在于，该系统包括探测光源，二象限光电探测器，信号处理电路，数据采集器，处理器和显示器；工作时，探测光源出射的光束，在附加风机振动信号后投射在二象限光电探测器的光敏面上，二象限光电探测器、信号处理电路、数据采集器、处理器和显示器依次电信号连接，信号处理电路对光电探测器5的信号进行放大、整形后交由数据采集器进行A/D转换变成数字信号，处理器对数字信号进行滤波和快速傅里叶变换处理，得到光斑上下移动的频率和幅值，确定风机工作时的振动频率和幅值，并在显示器上显示。

【技术特征摘要】
1.一种脉冲气体激光器风机振动的测量系统，其特征在于，该系统包括探测光源，二象限光电探测器，信号处理电路，数据采集器，处理器和显示器； 工作时，探测光源出射的光束，在附加风机振动信号后投射在二象限光电探测器的光敏面上，二象限光电探测器、信号处理电路、数据采集器、处理器和显示器依次电信号连接，信号处理电路对光电探测器5的信号进行放大、整形后交由数据采集器进行A/D转换变成数字信号，处理器对数字信号进行滤波和快速傅里叶变换处理，得到光斑上下移动的频率和幅值，确定风机工作时的振动频率和幅值，并...

【专利技术属性】
技术研发人员：徐勇跃，杨晨光，左都罗，王新兵，卢宏，陆培祥，何崇文，胡攀攀，
申请(专利权)人：华中科技大学，
类型：发明
国别省市：