氟容器制造技术

一种长管拖车，包含一种含从35vol％至92.5vol％的分子氟。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】氟容器本专利技术要求于2010年7月5日提交的欧洲专利申请号10168435. 5的权益，出于所有的目的将该申请的全部内容结合在此。本专利技术涉及一种用于供应含氟气体的容器，一种用于供应此种气体的方法以及一种使用该容器的半导体制造设备。除其他之外含分子氟的气体用于半导体行业，例如用于清洗工艺室，例如用于制造平板或制造光伏元件的CVD室。现已发现了一种容器，这种容器特别适合于对如以上所描述的多种应用或设备提供含分子氟的气体。因此本专利技术涉及一种长管拖车(tube trailer),该长管拖车包含从35vol %至92.5Vol%的分子氟。分子氟被包含在一种含其的气体中，术语“气体”与术语“气体混合物”可互换，除非该气体是由100%的？2的组成的`。在一个优选实施方案中，本专利技术涉及一种长管拖车，该长管拖车包括至少一个圆柱形空心体，该空心体容纳了该含从35vol%至92. 5vol%的分子氟的气体，其中根据本专利技术的长管拖车的容纳该含分子氟的气体的空间的内部体积是每空心体至少lm3，并且其中被认为与该气体接触的多个部件是由耐分子氟的材料制成的或涂覆有该耐分子氟的材料。附图简短说明附图说明图1示出了根据本专利技术的一个长管拖车的侧视图。图2不出了根据本专利技术的长管拖车的主视图，该长管拖车具有按矩形安排(4x3)安装在支持框架上的多个管以及安全装置。图3示出了根据本专利技术的按矩形安排(4x2)安装在支持框架上的长管拖车的主视图。图4示出了根据本专利技术的按三角形安排安装在支持框架上的长管拖车的主视图。专利技术的详细说明已经发现了根据本专利技术的长管拖车允许在可接受的安全以及毒性条件下特别有效地将具有高效能的氟气体供应到其所打算的用途中，特别是对于介质要求(例如，5至100吨分子氟/年，基于100%的分子氟)。在根据本专利技术的长管拖车中，该含分子氟的气体的剩余物总体上由或主要由一种惰性气体组成。典型地，惰性气体将基本上不与分子氟在环境温度下发生反应。适当的惰性气体的实例是选自氦气、氖气、気气、氣气、氮气和nf3。优选地,该气体的剩余物主要由一种惰性气体组成，优选地，该惰性气体选自氦气、氖气、氩气、氙气、氮气和nf3。更优选地,该惰性气体选自氩气、氮气、以及它们的混合物。在一个特别优选的实施方案中，该惰性气体是氩气。在另一个特别优选的实施方案中，该惰性气体是氮气。在根据本专利技术的长管拖车中，该气体经常包含一种分子氟，其量值是等于或大于50vol %，优选地等于或大于80vol %并且更优选地等于或大于85vol %。在根据本专利技术的长管拖车中，该气体经常包含一种分子氟，其量值是等于或小于92vol %，优选地等于或小于91Vol%并且更优选地等于或小于约90VOl%。一种优选的长管拖车包含一种含从80vol %至92vol %的氟的气体。一种还更优选的长管拖车包含一种含从85vol %至91vol%的氟的气体。一种尤其优选的长管拖车包含一种含约90vol%的氟的气体。在一个特别优选的实施方案中，其组成是90% vol的氟以及10% vol的氩。在另一个优选的实施方案中，其组成是90% vol的氟以及10% vol的NF3。在一个第三优选的实施方案中，其组成是90% vol的氟以及10% vol的N2。根据本专利技术的长管拖车总体上包括至少一个圆柱形的空心体，该空心体具有至少一个用于充气和排气的阀门。该空心体或多个空心体可以适当地安装到一个支持框架上或容纳在一个第二容器中。根据一个实施方案，该或这些空心体被安装到一个框架上，该框架被安装到一个卡车上，或者该框架被连接到一个车辆上，该车辆包括多个轮子并且被设计为由例如卡车、驾驶台或牵引机进行拉动。通常，这些空心体以及该框架被牢固地连接到这个车辆上。根据另一个实施 方案，本专利技术的长管拖车包括一个空心体或若干个空心体，该空心体或这些空心体被安装到一个框架上，该框架容纳在一个第二容器中。该容器被可拆卸地安装到一个车辆上，该车辆也被设计为由例如卡车、驾驶台或牵引机进行拉动。此种容器的优点是使得它可以经由陆运进行运输(当安装到该车辆上时)，并且当从该车辆上移除时，由火车、经由海运或经由空运进行运输。通常，该容器为“标准集装箱”类型。一种标准集装箱具有标准的长度。有五种常见的标准长度20英尺(6.1m)、40英尺(12. 2m)、45英尺(13. 7m)、48英尺(14. 6m)、和53英尺(16. 2m)。其宽度通常是8英尺(2. 44m)。如果该长管拖车包括多个空心体，则它优选地包括从4至64个空心体，更优选地从8至16个空心体。在这种情况下，这些空心体优选具有实质上完全相同的形状以及尺寸。总体上，根据本专利技术的长管拖车的容纳该含分子氟的气体的空间的总内部体积是每空心体至少lm3。优选地，它是每空心体从I至5m3，优选地从1. 5至3m3。总体上，该空心体内的气体(或另外表达为气体混合物)总压力可以是高达测试压力，这取决于所应用的空心体的类型。通常，此种空心体的测试压力是在300巴的范围内。优选地，该空心体内的实际压力允许一个安全限度并且更优选地是不大于该测试压力的70%。经常地，在根据本专利技术的长管拖车的容纳空间内该含分子氟的气体中分子氟的分压是从5至30巴，优选地从10至28巴。根据本专利技术的长管拖车，具体地它的多个部件(这些部件被认为与气体相接触，例如，如果适当的话，多个空心体、多个阀门以及多根用于充气和/或放气的管线)是适当地用耐分子氟的材料制成的或者涂覆有这种材料。此类材料的实例包括蒙乃尔合金、不锈钢、铜，并且优选是，镍。阀门可以例如由蒙乃尔合金、不锈钢、铜(并且优选镍)制成。阀门还可以由铝/硅/青铜合金，由黄铜或由不锈钢制成。根据本专利技术的长管拖车优选地进一步包括一种安全装置，该安全装置可操作地将惰性气体(特别是如以上描述的)注入到该长管拖车的多个容纳气体的部件中。该任选的安全装置适当地包括一个惰性气体(特别是氮气)存储槽。该气体优选地在高压下存储，例如从100至300巴，更特别是从250至270巴。惰性气体在该任选的安全装置中的量值总体上足以将该长管拖车内的氟浓度降低到小于35% vol，更优选地将该长管拖车内的氟浓度降低到从1% vol到小于35% vol,优选地小于30% voL·适当时，该量值是相对于待充入该长管拖车中的含氟气体的预期量值来确定的。尤其优选地，惰性气体在该任选的安全装置中的量值总体上足以将该长管拖车中的氟浓度降低到小于20% voL·例如，如果一个长管拖车容纳了 600kg的呈由F2和N2组成的90 10v/v的气体混合物形式的F2,则在这些管内的F2/N2混合物全部都将必须被稀释的假设下将需要大约2. 6t的N2来将该F2安全地稀释到小于20%的浓度，并且在该长管拖车中不包括如以下描述的另外的安全装置。该任选的安全装置可以连接到例如一个用于充气和排气的阀门上，该阀门被连接到如以上描述的一个空心体上。它还可以被适当地连接到一根用于充气和/或排气的管线上，该管线优选地被连接到如以上描述的一个空心体上。在一个第一具体方面，根据本专利技术的长管拖车可以包括一种安全装置，该安全装置可操作地降低一个空心体中的压力。典型地，此种安全装置可操作地将该空心体的压力相对于其初始压力降低至少50%本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.07.05 EP 10168435.51.一种长管拖车，包含含35vol%至92. 5vol%的分子氟的气体。2.如权利要求1所述的长管拖车,包括至少一个圆柱形空心体,该空心体容纳该含35vol%至92. 5vol%的分子氟的气体，其中根据本发明的长管拖车的容纳该含分子氟的气体的空间的内部体积是每空心体至少lm3，并且其中被认为有待与该气体接触的部件由耐分子氟的材料制成或涂覆有该耐分子氟的材料。3.根据权利要求1或2所述的长管拖车，其中该气体的余量主要由惰性气体组成，该惰性气体优选地选自氦气、氖气、氩气、氙气、氮气和nf3。4.如权利要求1、2或3所述的长管拖车，其中其部件是由耐氟的材料制成的或涂覆有该耐氟的材料。5.根据权利要求1至4中任一项所述的长管拖车，其中其部件是由蒙乃尔合金、不锈钢、铜、或镍制成的。6.根据权利要求1至5中任一项所述的长管拖车，包括4至64个空心体，这些空心体具有基本上相同的形状和尺寸。7.根据权利要求1至6中任一项所述的长管拖车，还包括安全装置，该安全装置可操作地将惰性气体注入到该长管拖车的容纳气体的部件中。8.根据权利要求7所述的长管拖车，其中该安全装置包含氮气。9.根据权利要求1至8中任一项所述的长管拖车，还包括安全装置，该安全装置可操作地降低空心体中的压力。10.一种半导体制造设备，具有气体供应系统，其中根据权利要求1至9中任一项所述的长管拖车被连接到该半导体制造设备的气体供应系统上。11...

【专利技术属性】
技术研发人员：马尔塞洛·里瓦，斯特凡·姆罗斯，托马斯·施瓦策，
申请(专利权)人：索尔维公司，
类型：
国别省市：