【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及光学元件和光学系统的焦距测量领域,特别是一种基于泰伯-莫尔技术的一体化长焦距测量装置。
技术介绍
目前对长焦距光学元件和光学系统焦距的测量主要有传统测量方法和泰伯-莫尔条纹法两种。传统测量方法在测量焦距较小的光学元件时方便而且精度高,但对于长焦距光学元件,这些方法需要复杂的光学系统和严格的测量环境。基于泰伯-莫尔条纹技术测长焦距是一种精确度比较高的测量方法,该方法测量装置中的光源系统、泰伯干涉仪和图像采集系统是通常采用分体式结构,不便于现场测量;有的测量装置把光源系统和泰伯干涉仪整合为一体,但其无对点装置,使得测量过程比较复杂、操作繁琐、不便于携带。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种测量范围广、测量精度高、使用方便、便于携带的基于泰伯-莫尔技术的一体化长焦距测量装置。实现本专利技术目的的技术解决方案为一种基于泰伯-莫尔条纹技术的一体化长焦距测量装置,包括激光器1、非球面准直物镜2、一面增透一面增反透镜3、平面反射镜4、半反半透镜5、第一光栅6、第二光栅7、第一散射板8、成像透镜9、第一 (XD10、会聚透镜11、第二散射板12、第二 (XD13和待测长焦距透镜14 ;激光器I发出的光经过非球面准直物镜2后形成准直激光光束,入射到一面增透一面增反透镜3镀有增透膜的一面并完全透射,透射光经过待测长焦距透镜14,被平面反射镜4反射回来再次经过待测长焦距透镜14,入射到一面增透一面增反透镜3镀有增反膜的一面并被完全反射到半透半反透镜5上,出射光分成透射光束和反射光束两路其中反射光束入射到第一光栅6、第二光栅7,在第一散射板8上形成莫尔条纹,成 ...
【技术保护点】
一种基于泰伯?莫尔条纹技术的一体化长焦距测量装置,其特征在于包括激光器(1)、非球面准直物镜(2)、一面增透一面增反透镜(3)、平面反射镜(4)、半反半透镜(5)、第一光栅(6)、第二光栅(7)、第一散射板(8)、成像透镜(9)、第一CCD(10)、会聚透镜(11)、第二散射板(12)、第二CCD(13)和待测长焦距透镜(14);激光器(1)发出的光经过非球面准直物镜(2)后形成准直激光光束,入射到一面增透一面增反透镜(3)镀有增透膜的一面并完全透射,透射光经过待测长焦距透镜(14),被平面反射镜(4)反射回来再次经过待测长焦距透镜(14),入射到一面增透一面增反透镜(3)镀有增反膜的一面并被完全反射到半透半反透镜(5)上,出射光分成透射光束和反射光束两路:其中反射光束入射到第一光栅(6)、第二光栅(7),在第一散射板(8)上形成莫尔条纹,成像透镜(9)把散射板(8)上的莫尔条纹成像在第一CCD(10);透射光束入射到聚透镜(11),并会聚光斑到散射板(12)上,把散射板(12)上的光斑成像在第二CCD(13)。
【技术特征摘要】
1.一种基于泰伯-莫尔条纹技术的一体化长焦距测量装置,其特征在于包括激光器(I)、非球面准直物镜(2)、一面增透一面增反透镜(3)、平面反射镜(4)、半反半透镜(5)、第一光栅(6)、第二光栅(7)、第一散射板(8)、成像透镜(9)、第一 CCD(IO)、会聚透镜(11)、第二散射板(12)、第二 CCD(13)和待测长焦距透镜(14);激光器(I)发出的光经过非球面准直物镜(2)后形成准直激光光束,入射到一面增透一面增反透镜(3)镀有增透膜的一面并完全透射,透射光经过待测长焦距透镜(14),被平面反射镜(4)反射回来再次经过待测长焦距透镜(14),入射到一面增透一面增反透镜(3)镀有增反膜的一面并被完全反射到半透半反透镜(5)上,出射光分成透射光束和反射光束两路其中反射光束入射到第一光栅(6)、第二光栅(7),在第一散射板(8)上形成莫尔条纹,成像透镜(9)把散射板(8)上的莫尔条纹成像在第一CXD(IO);透射光束入射到聚透镜(11),并会聚光斑到散射板(12)上,把散射板(12)上的光斑成像在第二 CXD (13)。2.根据权利要求1所述的基于泰伯-莫尔条纹技术的一体化长焦距测量装置,其特征在于所述的激光器(I)发出的光波为球面波,非球面准直物镜(2)采用双波长非球面...
【专利技术属性】
技术研发人员:李建欣,何勇,陈好,陆衡,赵琦,樊红英,蒋泽伟,朱日宏,陈磊,高志山,王青,郭仁慧,沈华,马骏,
申请(专利权)人:南京理工大学,西南技术物理研究所,
类型:发明
国别省市:
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