用于将射频功率耦合到等离子体腔室的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术揭示了一种用于将射频功率耦合到等离子体腔室的装置。一种射频阻抗匹配网络(33)的电接地(36)，电接地(36)连接到等离子体腔室的接地腔室罩(18)上的连接区域(50)。连接区域从腔室罩的中心向工件通道(20)偏移。或者，射频电源(30)具有电接地输出(32)，电接地输出(32)连接到腔室罩上具有这种偏移的连接区域(52)。或者，射频传输线路(37)具有连接于射频电源的接地输出与腔室罩上具有这种偏移的连接区域(52)之间的电接地导线(39)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】...

【专利技术属性】
技术研发人员：白宗薰，朴范洙，S·H·金，
申请(专利权)人：应用材料公司，
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