【技术实现步骤摘要】
本技术属于重离子试验设备的研究，具体涉及一种重离子单粒子效应双轴自动限束光阑。
技术介绍
在重离子单粒子试验中，为了使离子束斑既可以覆盖被测芯片的整个灵敏区又不影响周围器件，需要依据试验样品板的结构布局合理选择束斑尺寸。目前限定离子束斑尺寸的手段为在样品辐照靶室入口处手动安装特定尺寸的单片限束光阑，然而由于光阑安装过程是在试验前完成，如果试验过程中需要改变束斑尺寸，则需破坏靶室真空环境，降低试验效率。因此，针对单粒子试验中的束斑尺寸调节问题，需要开展重离子单粒子效应试验中束斑尺寸的自动化控制设计研究，实现束斑尺寸快速连续调节。
技术实现思路
本实用 新型的目的是为了实现重离子单粒子效应试验中束斑尺寸的快速连续调节，提供一种重离子单粒子效应双轴自动限束光阑，以提高试验效率、增加试验方案灵活性。本技术的技术方案如下一种重离子单粒子效应双轴自动限束光阑，包括设置在滑动导轨上的两块水平活动挡板和两块垂直活动挡板，每块活动挡板分别与挡板控制臂连接，两块水平活动挡板的挡板控制臂分别通过螺母与水平双向丝杠连接，两块垂直活动挡板的挡板控制臂分别通过螺母与垂直双向丝杠连接，水平双向丝...
【技术保护点】
一种重离子单粒子效应双轴自动限束光阑，其特征在于：包括设置在滑动导轨（5）上的两块水平活动挡板（1、2）和两块垂直活动挡板（3、4），每块活动挡板分别与挡板控制臂连接，两块水平活动挡板（1、2）的挡板控制臂（7、8）分别通过螺母与水平双向丝杠（11）连接，两块垂直活动挡板（3、4）的挡板控制臂（9、10）分别通过螺母与垂直双向丝杠（12）连接，水平双向丝杠（11）和垂直双向丝杠（12）的端部通过垂直变向齿轮（15）相连接，垂直双向丝杠（12）或水平双向丝杠（11）通过联轴器（13）与步进电机（14）连接，两块水平活动挡板（1、2）和两块垂直活动挡板（3、4）分别在步进电机（...
【技术特征摘要】
1.一种重离子单粒子效应双轴自动限束光阑，其特征在于包括设置在滑动导轨(5)上的两块水平活动挡板(1、2)和两块垂直活动挡板(3、4)，每块活动挡板分别与挡板控制臂连接，两块水平活动挡板(1、2)的挡板控制臂(7、8)分别通过螺母与水平双向丝杠(11)连接，两块垂直活动挡板(3、4)的挡板控制臂(9、10)分别通过螺母与垂直双向丝杠(12)连接，水平双向丝杠(11)和垂直双向丝杠(12 )的端部通过垂直变向齿轮(15 )相连接，垂直双向丝杠(12)或水平双向丝杠(11)通过联轴器(13)与步进电机(14)连接，两块水平活动挡板(1、2)和两块垂直活动挡板(3、4)分别在步进电机(14)的带动下同步对向运动。2.如权利要求1所述的重离子单粒子效应双轴自动限束光阑，其特征在于所述的活动挡板为招材质，厚度为3 5mm。3.如权利要求1或2所述的重离...
【专利技术属性】
技术研发人员：范辉，沈东军，郭刚，史淑廷，刘建成，庞郁静，
申请(专利权)人：中国原子能科学研究院，
类型：实用新型
国别省市：
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