可变环境下微纳传感器的自动加载平台制造技术

本发明专利技术属于微纳器件标定测试的技术领域，具体是一种可变环境下微纳传感器的自动加载平台，解决了目前由于微纳器件，如压力传感器、加速度传感器等的特殊性，大多数的测试设备要求进行特定的环境测试、电气测、电气测试及机械测试。其包括传感器测试柜、自动加装子系统、控制子系统、数据网栅接口、高精度多通道数据采集板；所述控制子系统包括温度调整装置以及湿度调整装置、温度传感器和湿度传感器、轴上倾角传感器。本发明专利技术与现有的技术相比有如下优点：满足传感器多种参数的同时或分别测试需求，解决了以往只能实现环境单一变量测试的问题，适用于复杂环境测试场合；量实现标定、测试的高精度需求。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术属于微纳器件标定测试的
，具体是一种可变环境下微纳传感器的自动加载平台。
技术介绍
随着微电子技术、集成电路技术和加工工艺的发展，微纳器件凭借体积小、重量轻、功耗低、可靠性高、灵敏度高、易于集成以及耐恶劣工作环境等优势，正逐步占据传感器市场，如加速度传感器是一种十分重要的测量加速力的电子活动检测器，它的工作原理是经典力学中的牛顿定律，其功能是测量运动物体(如飞机、导弹、人造卫星)的质心运动和姿态运动，进而可以对物体实现控制和导航。自面世后一直作为最重要的惯性仪表之一，用在惯性导航和惯性制导系统中，与海陆空运载体的自动驾驶及高技术武器的高精度制导联系在一起受到重视。在环境因素对设备运行影响较大的工业现场，为评价设备所处的环境质量，需要对设备舱室的振动、温度、湿度参数进行长时间的远程监测。因此，对环境温湿度及振动的监测也尤为重要。由于微纳器件的特殊性，大多数的测试设备需要进行特定的环境测试、电气测试及机械测试，缺乏通用性，而且测试系统中的机械和电气元件的成本是非常昂贵的，占据了器件制造成本的60%-80%。目前国际上普遍的微纳器件测试设备以定制或委托测试为主，价格昂贵。本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种可变环境下微纳传感器的自动加载平台，其特征在于包括传感器测试柜、自动加装子系统、控制子系统、数据网栅接口、高精度多通道数据采集板；所述的传感器测试柜底部设置振动台，振动台上安装基板，基板上安装可相对基板升降、且可相对基板锁定的翻转台，翻转台的转动中心设置与其一体的转动轴连接转动电机，翻转台上固定若干传感器固定架；所述自动加装子系统包括可变环境加载及系统控制单元PLC、控制自动加载平台倾角的轴上步进电机、控制自动加载平台振动频率的仓壁振动电机，PLC连接PLC控制卡板，PLC控制卡板连接轴上步进电机和仓壁振动电机；所述控制子系统包括作用于传感器测试柜内部并通过PLC控制的温度调整装置以及湿度...

【技术特征摘要】
1.一种可变环境下微纳传感器的自动加载平台，其特征在于包括传感器测试柜、自动加装子系统、控制子系统、数据网栅接口、高精度多通道数据采集板；所述的传感器测试柜底部设置振动台，振动台上安装基板，基板上安装可相对基板升降、且可相对基板锁定的翻转台，翻转台的转动中心设置与其一体的转动轴连接转动电机， 翻转台上固定若干传感器固定架；所述自动加装子系统包括可变环境加载及系统控制单元PLC、控制自动加载平台倾角的轴上步进电机、控制自动加载平台振动频率的仓壁振动...

【专利技术属性】
技术研发人员：谭秋林，刘文怡，丁利琼，熊继军，朱思敏，薛晨阳，张文栋，刘俊，石云波，
申请(专利权)人：中北大学，
类型：发明
国别省市：