【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及利用多脉冲激光束进行光束加工的方法和设备，尤其涉及使一个激光脉冲束变换成双波长多脉冲激光束的方法和装置，以及利用双波长多脉冲激光束进行激光束加工方法和设备。在1987年6月16日日本专利JP-A-62-123788(NEC)中已经披露了一种常规的多脉溃激光束产生器，即一种延迟的脉冲激光束产生器，延迟激光束脉冲产生器包括具有类似特性的用于把输入的圆偏振光束经过透射或反射把它分成P-偏振光和S-偏振光的第一和第二偏振器;一个放置在这些偏振器之间的用于由第一偏振器的反射把P-偏振或S-偏振的偏振激光束的偏振而旋转90度的偏振旋转装置;一个供激光束形成光路的全反射镜;以及把圆偏振激光束变换成具有二个轴线互相垂直，并有一定延迟时间的线偏振激光束的变换器，由此提供一个延迟的脉冲激光束。在这种情况下，输出到装置外的脉冲束限于两种光束。现有技术的装置不采用一种半透半反镜来阻止激光束能量的损失。激光束加工是适宜于对一种其中包含有类似于导线层的金属薄层的多层板的加工，通常，用于对由金属薄层和树脂层迭层构成的印刷线路板进行钻孔。一种打孔的钻孔方法已经得到广泛的实施其...
【技术保护点】
一种多脉冲激光束加工系统，其特征是，一个多脉冲激光束发生器包括：一个用于振荡脉冲激光束的脉冲激光束振荡器（１）；一个用于把由所述的脉冲激光振荡器振荡产生的脉冲激光束分开成在第一和第二方向上二束激光束，并把所述第一方向上的激光束加到发生器的输出端的偏振光分束器；用于对来自所述偏振光分束器的所述第二方向的激光束进行非线性偏振，和以一定的量延迟所述的非线性偏振的激光束，使经过延迟的激光束再次射到所述的偏振光束分束器上，并由所述的输出端取出在所述的第一方向上分出的经延迟的脉冲激光束的非线性偏振和延迟装置（４－６）；用于改变由所述多脉冲激光束发生器的所述输出端给出的多脉冲激光束的部分...
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：矢野真，桑原皓二，
申请(专利权)人：株式会社日立制作所，
类型：发明
国别省市：JP[日本]
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