曝光装置及固化膜的形成方法制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种曝光装置以及固化膜的形成方法，曝光机(44)具备金属制的支撑辊(41)、光源(52)、光掩膜板(56)及掩膜支撑部(57)。支撑辊(41)从背面通过周面(41A)一边支撑一边输送表面形成有固化性膜(27)的支撑薄膜(13)。光源(52)向被支撑辊(41)支撑的支撑薄膜(13)上的固化性膜(27)放出固化光。光掩膜板(56)遮挡固化光。光掩膜板(56)以与支撑辊(41)靠近的方式配置于光源(52)及支撑辊(41)之间，具有向X方向延伸且沿Y方向排列的狭缝(56S)。掩膜支撑部(57)配置于光掩膜板(56)和支撑辊(41)之间，从支撑辊(41)侧支撑光掩膜板(56)。掩膜支撑部(57)与光掩膜板(56)相比，固化光更容易散射。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及。
技术介绍
已知有向涂布在挠性料片上的含有光固化剂的固化性膜照射固化光以使固化性 膜固化的曝光装置。例如，在日本特开昭63-194779号公报的曝光装置中，为了防止固化引 起的固化性膜的褶皱，将照射固化光的区域设定为被支撑辊支撑的部分。还已知有例如日本特开平10-10745号公报中记载的曝光装置那样，使用配置于 光源和固化性膜之间的光掩膜板仅对固化性膜的局部照射固化光的曝光装置。在日本特开 平10-10745号公报中记载的光掩膜板上,设置有分别在料片的长度方向(输送方向)上延 伸且在料片的宽度方向排列的多个狭缝。根据日本特开平10-10745号公报的曝光装置，能 够在固化性膜中形成因曝光而进行了固化的线状的曝光部分、以及由于未曝光而未进行固 化的线状的未曝光部分交替排列的、所谓的条纹状的曝光图案。这样获得的带固化膜的挠 性料片用于滤色器等的彩色图案(color pattern)或遮光图案等中。可是，在使用日本特开平10-10745号公报中记载的那样的曝光装置进行曝光的 情况下，必须避免设定于未曝光部分的区域也产生曝光(下面称为灰雾故障)的情况。因 此，必须减小光掩膜本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种曝光装置，其特征在于，其具备：金属制的支撑辊，其具有对表面形成有光固化性膜的挠性料片的背面进行支撑的周面，输送所支撑的挠性料片；光源，其向所支撑的所述挠性料片上的所述光固化性膜放出固化光；光掩膜板，其以与所述支撑辊靠近的方式配置于所述光源和所述支撑辊之间，具有向所述挠性料片的输送方向延伸且在所述挠性料片的宽度方向排列的多个狭缝，遮挡所述固化光；以及掩膜支撑板，其配置于所述光掩膜板和所述支撑辊之间，支撑所述光掩膜板，其中，所述掩膜支撑板的所述支撑辊侧的面或/及所述支撑辊的周面与所述光掩膜板的所述支撑辊侧的面相比，所述固化光更容易散射。

【技术特征摘要】
2011.10.04 JP 2011-2198051.一种曝光装置，其特征在于，其具备金属制的支撑辊，其具有对表面形成有光固化性膜的挠性料片的背面进行支撑的周面，输送所支撑的挠性料片；光源，其向所支撑的所述挠性料片上的所述光固化性膜放出固化光；光掩膜板，其以与所述支撑辊靠近的方式配置于所述光源和所述支撑辊之间，具有向所述挠性料片的输送方向延伸且在所述挠性料片的宽度方向排列的多个狭缝，遮挡所述固化光；以及掩膜支撑板，其配置于所述光掩膜板和所述支撑辊之间，支撑所述光掩膜板，其中，所述掩膜支撑板的所述支撑辊侧的面或/及所述支撑辊的周面与所述光掩膜板的所述支撑辊侧的面相比，所述固化光更容易散射。2.如权利要求1所述的曝光装置，其特征在于，所述掩膜支撑板的所述支撑辊侧的面的表面粗糙度Ry(Rmax)为O. 5 μ m以上100 μ m 以下。3.如权利要求1或2所述的曝光装置，其特征在于，所述支撑棍的周面的表面粗糙度Ry(Rmax)为O. 5 μ m以上100 μ m以下。4.一种固化膜的形成方法，其是在挠性料片上形成固化膜，所述固...

【专利技术属性】
技术研发人员：香川英章，佐野贵之，冲和宏，
申请(专利权)人：富士胶片株式会社，
类型：发明
国别省市：