在线焦斑能量分布检测方法技术

一种在线焦斑能量分布检测方法，引入一个分光装置将测量仪器损伤阈值以下能量的激光分离出来，利用缩束装置与哈特曼传感器来检测焦斑的能量分布，既可以避免实验光路引入的其他光学元件对实验的影响，又可以利用哈特曼传感器的可编程性来消除采样激光的固有误差来达到在线检测的目的。本发明专利技术可广泛应用于激光系统，特别是高功率激光装置的焦斑测试。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及焦斑能量分布检测，特别是一种，该方法 可广泛应用于激光实验系统的光焦斑测量，特别是对于高功率激光装置，能量高、口径大、 实时反馈焦斑分布，此方法就能满足实时精确测量，并且不影响激光实验光路的调试和实 验。
技术介绍
激光实验系统中对激光焦斑测量是一项关键技术，常规的CCD加衰减片方式只能 应用于低功率、小口径的光束焦斑测量，并且衰减片产生的像差对实际焦斑分布影响很大。 由于以上原因，对于高能量激光系统，如聚变点火相关研究的激光装置，路数多、能量高、口 径大，常规的测试方法必然不能采用，而必须寻求新的、可用的方法。
技术实现思路
本专利技术的目的是提出一种，该方法引入一个分光装置 将测量仪器损伤阈值以下能量的激光分离出来，利用缩束装置与哈特曼传感器来检测焦斑 的能量分布，既可以避免实验光路引入的其他光学元件对实验的影响，又可以利用哈特曼 传感器的可编程性来消除采样激光的固有误差来达到在线检测的目的。为解决上述技术问题，本专利技术的技术方案如下一种，其特点在于该方法通过主光路中取样分光镜透 过取样测试激光，利用缩束系统将取样测试激光注入哈特曼传感器中，进行波前分布测试 焦斑拟本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种在线焦斑能量分布检测方法，其特征在于该方法通过主光路中取样分光镜透过取样测试激光，利用缩束系统将取样测试激光注入哈特曼传感器中，进行波前分布测试焦斑拟合，具体检测步骤如下：①以待测高功率激光器（1）发出的主激光为基准，确定主光轴，在待测高功率激光器（1）发出的主激光方向依次设置取样分光镜（4）、分光镜（7）、反射镜（8），调整取样分光镜（4）的角度，使主激光反射光垂直正入射到离轴抛物面镜（9）的中心，主激光透过所述的取样分光镜（4）的透射光透过所述的分光镜（7）后被所述的反射镜（8）反射；调整所述的反射镜（8）的角度，使该反射镜（8）的反射光束正入射到哈特曼传感器（12）探头的中心；②离轴...

【技术特征摘要】
1.一种在线焦斑能量分布检测方法，其特征在于该方法通过主光路中取样分光镜透过取样测试激光，利用缩束系统将取样测试激光注入哈特曼传感器中，进行波前分布测试焦斑拟合，具体检测步骤如下 ①以待测高功率激光器(I)发出的主激光为基准，确定主光轴，在待测高功率激光器(I)发出的主激光方向依次设置取样分光镜(4)、分光镜(7)、反射镜(8),调整取样分光镜(4)的角度，使主激光反射光垂直正入射到离轴抛物面镜(9)的中心，主激光透过所述的取样分光镜(4)的透射光透过所述的分光镜(7)后被所述的反射镜(8)反射；调整所述的反射镜(8)的角度，使该反射镜(8)的反射光束正入射到哈特曼传感器(12)探头的中心； ②离轴抛物面镜的调试调整轴抛物面镜(9)，确保入射光经离轴抛物面镜(9)反射后，反射光成水平方向； ③模拟光源的调试将光纤激光器(10)作为点光源放置在所述的离轴抛物面镜(7)的焦点处，光纤激光器(10)输出的光束经离轴抛物面镜(9)反射后入射到所述的抽样分光镜(4)上，设置半导体激光器(11)，调整所述的分光镜(7)的角度，将所述的半导体激光器(II)发射的激光导入到所述的主光轴上； ④扩束系统与缩束系统的调试将扩束系统(2)置于所述的待测高功率激光器(I)和整取样分光镜(4)之间，将缩束系统(5)置入所述的整取样分光镜(4)和所述的分光镜(7)之间，经调试保证系统的主光轴不变，出射光仍为平行光束； ⑤插入反射镜(3)的调试将小孔光阑(6)加入在所述的缩束系统(5)和分光镜(7)之间的主光轴，在所述的扩束系统(2)和取样分光镜(4)之间设置插入反射镜(3)，调整小孔光阑(6)使所述的半导体激光器(11)发出的激光束穿过所述的小孔光阑(13)沿所述的主光轴逆向前进，调整所述的插入反射镜(3)的角度，使反射光同样穿过所述的小孔光阑(6)； ⑥模拟光固有误差的测量关闭所述的光纤激光器(10)，开启所述的半导体激光器(11),该半导体激光器(11)输出的激光经分光镜(7)、缩束系统(5)和取样分光镜(...

【专利技术属性】
技术研发人员：金博，赵东峰，邵平，鄔融，夏兰，
申请(专利权)人：中国科学院上海光学精密机械研究所，
类型：发明
国别省市：