【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种利用激光光束，为了加工各种材料的方法及其装置。
技术介绍
随着各种产品的缩小化(小型化、高精细化)的进步，高精细、且高精度的加工技术的必要性在增加。并且，随着对产品的市场需要的推移，制造工艺的内容也在多样化，所使用的原料种类也在扩大。对这样的多样化的要求，只用以往的机械加工或光刻等技术就很难处理。因此，作为实现有关要求的有力的方法，期待着激光加工技术，在广泛的产业领域，其用途在扩大。在激光加工中，利用能量强度分布为高斯分布的激光光束的情况下，由于光束的中心附近和周围(外侧)的能量强度的不均匀，在原料加工状态，容易产生差异，而均匀加工变为难。为了避免这样的不合理的现象，激光光束的照射条件等的工艺规程界限变窄，稳定生产变难，或成为加工对象的原料选择范围显著受到限制。与此相反，已经知道采用能量强度分布作为几乎平坦分布(顶帽分布)的激光光束的方法，可以提高加工质量的技术(例如，参照专利文献1)。特开平8-33993号公报在上述的以往技术的激光加工中，利用振幅屏蔽，使激光光束的最大强度附近部分地通过的方法，将激光光束的能量强度分布整形为顶帽(topha...
【技术保护点】
一种激光加工方法，其特征在于，包括：第一过程，其产生能量强度分布为高斯分布的激光光束；第二过程，其对所述激光光束的波面，以光束径向位置作为变量，具有负的倾斜度的线形函数所表现的相位分布来施加相位调制的方法，整形相应激光光束， 以便越是中心其相位相对提前，越是离开中心，其相位相对延迟；第三过程，其对经过所述第二过程已经整形的所述激光光束波面，以光束径向方向的位置作为变量，具有正的倾斜度的ｎ次函数（ｎ是２以上的自然数）所表现的相位分布来施加相位调制的方法，整 形相应激光光束，以便越是中心其相位相对延迟，越是离开中心，其相位相对提前；和...
【技术特征摘要】
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