含有烷基酰胺混合物的剥除剂制造技术

本发明专利技术涉及一种烷基酰胺剥除剂，其包括：N-甲基甲酰胺(N-methylformamide)；N，N-二甲基乙酰胺(N，N-dimethylacetamide)；以及水，其中N-甲基甲酰胺占总重量百分比的约50～70％、N，N-二甲基乙酰胺占总重量百分比的约30～50％，水则占总重量百分比的剩余量。本发明专利技术的烷基酰胺剥除剂具水互溶性，对于铜或铜合金皆不具腐蚀性，并且对人类和环境基本无毒性。由于烷基酰胺剥除剂的组成成分仅包括两个主要组成成分，因此使用后的剥除剂可以很容易地采用分馏法回收，并重组到原有的配方，在制造过程中再循环应用，以达到降低成本及环境保护的功效。本发明专利技术还提供了使用本发明专利技术的剥除剂去除光阻的方法。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种含有烷基酰胺混合物的剥除剂，特别涉及一种应用于去除光阻或 应用于清洗或去除配向膜的烷基酰胺剥除剂。
技术介绍
科技产业不断发展进步，而其中薄膜晶体管液晶显示器(TFT-LCD)的技术更是不 断地演进，又由于薄膜晶体管液晶显示器具有体积小不占空间、耗电量少、辐射量低、产品 耐用等优势，因此已逐渐取代以阴极射线管(CRT)所制作的显示器。而且随着显示器的需 求不断增加，薄膜晶体管液晶显示器的产量更是逐渐提升，并且跟随着技术世代的演进，五 代、六代、七代、甚至八代厂房也不断地被建造起来，对薄膜晶体管液晶显示器所投入的金 额也越来越大，因此可以预见未来的技术进步与经济规模是非常惊人的。然而随着技术不断演进，薄膜晶体管液晶显示器所使用的玻璃基板也不断放大， 各种化学品的消耗量亦不断增加，除了消耗了大量的金钱与资源以外，在薄膜晶体管液晶 显示器制程中所产生的化学物质也造成了环境相当大的负担，也违背了环境保护的精神， 因此回收制程反应后的化学物质，不但可以降低生产成本，也可提高市场竞争力，对环境保 护而言更是一大贡献。在薄膜晶体管液晶显示器的制程中，剥除剂(Stripper)的本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种烷基酰胺剥除剂，其包括：N?甲基甲酰胺(N?Methylformamide)，其占总重量百分比的50～70％；N，N?二甲基乙酰胺(N，N?Dimethylacetamide)，其占总重量百分比的30～50％；以及水，其占总重量百分比的剩余量。

【技术特征摘要】
1.一种烷基酰胺剥除剂，其包括N-甲基甲酰胺(N-Methylformamide),其占总重量百分比的50 70% ；N, N- 二甲基乙酰胺(N, N-Dimethylacetamide),其占总重量百分比的30 50% ;以及水，其占总重量百分比的剩余量。2.如权利要求1所述的烷基酰胺剥除剂，其不包含三缩四乙二醇。3.如权利要求1所述的烷基酰胺剥除剂，其中该N-甲基甲酰胺相对于N，N-二甲基乙酰胺的重量比例是大于I。4.如权利要求1所述的烷基酰胺剥除剂，其中该N-甲基甲酰胺占总重量百分比的 55 65%，而该N，N-二甲基乙酰胺占总重量百分比的35 45%，并且水占少于总重量百分比的5%。5.如权利要求1所述的烷基酰胺剥除剂，其中该N-甲...

【专利技术属性】
技术研发人员：李豪浚，毛台之，吴富其，张楷键，方旭强，
申请(专利权)人：杜邦公司，
类型：发明
国别省市：