利用多面反射镜多重加工物体的方法技术

一种按照本发明专利技术实施例利用多面反射镜多重加工物体的方法，包括：设置有多层结构的物体的各层的加工参数；按照设置的加工参数，利用多面反射镜实施激光加工物体的待区域中各个露出层；确定是否加工了有多层结构的物体的所有各层；和若在确定步骤中确定不是加工了所有各层，则继续实施激光加工。所以，可以提高加工物体的效率，并可以减小在利用多面反射镜的激光加工期间发生在物体中的裂纹。

【技术实现步骤摘要】

0001本专利技术涉及一种利用激光加工物体的方法，尤其是，本专利技术涉及一种，按照待加工物体的 性质和加工目的，本专利技术可以优化加工参数。
技术介绍
当激光加工是在有多层结构的物体上实施时，裂紋可以发 生在待加工的部分并扩展到激活区。在这个实施例中，为了防止裂紋 的扩展，在切割物体之后(步骤S310)，可以修复被切割的部分(步 骤S320)。具体地说，首先，激光加工设备利用多面反射镜切割待加 工的区域。此时，当待加工的物体有多层结构时，最好是，按照各层 的不同加工参数，利用参照图2描述的加工方法加工物体。[0043若在切割期间裂紋发生在待加工的部分，则可以实施修复操作以粘接裂紋部分，从而可以提高加工效率。[004引图6A和6B是参照图5所描述的加工方法加工物体的一个例子。00451参照图6A，可以看出，当有激活区420和430的半导体 基片410经受利用多面反射镜的激光加工时，裂紋B发生在基片410 的待加工部分。00461在这种情况下，若按照图6B所示实施修复操作，则可以 粘接裂紋部分。例如，在硅(Si)基片的情况下，利用修复操作可以 使该基片转变为二氧化硅(Si02)，裂紋部分被粘接。因此，可以防 止裂紋扩展到激活区。0047总之，按照本专利技术的实施例，在加工有多层结构的物体之 前，设置各层的不同加工参数，并顺序地加工各层。所以，可以提高 加工的可靠性和小片的强度。[0048此外，在利用多面反射镜实施多重加工之前，划痕待加工 部分的边缘，因此，可以对付在激光加工期间发生的裂紋。此外，在 发生裂紋时，利用修复操作粘接裂紋部分，因此，可以防止裂紋的扩 展。[0049专业人员容易理解，在不偏离本专利技术范围和精神的条件 下，可以作各种改动和变化。所以，应当明白，以上的实施例不是限 制性的，而是用于说明它的所有特征。本专利技术的范围是由所附的权利 要求书限定，而不是由在此之前的说明书限定，所以，在权利要求书 界限内的所有变化和改动，或与这种界限相当的内容，都应当是在权 利要求书的范围内。00501按照本专利技术的实施例，按照各层的优化加工参数，加工有 不同特征的多层的物体，从而可以提高加工效率。[0051此外，在利用多面反射镜的激光加工期间，可以使物体中 发生的裂紋减至最小，而且，即使发生裂紋，由于实施修复操作，可 以防止裂紋的扩展。因此，可以大大地提高该装置的产量和可靠性。权利要求1.一种，该方法利用多面反射镜实施激光加工有多层结构的物体，该方法包括设置有多层结构的物体的各层的加工参数；按照设置的加工参数，利用多面反射镜实施激光加工物体的待加工区域中各个露出层；确定是否加工了有多层结构的物体中所有各层；和若在确定步骤中确定不是加工了所有各层，则继续实施激光加工。2. 按照权利要求1的方法，其中实施激光加工包括 驱动多面反射镜；转移放置物体的平台；和发射激光束，并使被发射的激光束从多面反射镜的反射面上反射 和通过透镜辐照到物体的待加工区域上。3. 按照权利要求2的方法，其中平台的转移是沿与辐照激光束 方向相反的方向。4. 按照权利要求1的方法，其中加工参数包括激光输出功率， 多面反射镜的旋转速度，放置物体的平台的转移速度，激光束的辐照 频率，和激光束的焦点位置。5. —种，该方法利用多面 反射镜实施激光加工有多层结构的物体，该方法包括划痕有多层结构的物体的待加工区域的两个边缘； 设置有多层结构的物体的各层的加工参数； 按照设置的加工参数，利用多面反射镜实施激光加工物体的待加 工区域中各个露出层；确定是否加工了有多层结构的物体的所有各层；和 若在确定步骤中确定不是加工了所有各层，则继续实施激光加6. 按照权利要求5的方法，其中实施激光加工包括切割露出 的各层。7. 按照权利要求5的方法，其中实施激光加工操作包括 驱动多面反射镜；转移放置物体的平台；和发射激光束，并使被发射的激光束从多面反射镜的反射面上反射 和通过透镜辐照到物体的待加工区域上。8. 按照权利要求5的方法，其中加工参数包括激光输出功率， 多面反射镜的旋转速度，放置物体的平台的转移速度，激光束的辐照 频率，和激光束的焦点位置。9. 按照权利要求5的方法，还包括在加工操作之后，修复待 加工的区域。10. —种，该方法利用多 面反射镜实施激光加工有多层结构的物体，该方法包括设置有多层结构的物体的各层的加工参数；按照设置的加工参数，利用多面反射镜实施激光加工物体的待加 工区域中各个露出层；确定是否加工了有多层结构的物体的所有各层；若在确定步骤中确定不是加工了所有各层，则继续实施激光加 工；和修复物体的待加工区域。11. 按照权利要求10的方法，其中实施激光加工包括切割露出的各层。12. 按照权利要求10的方法，其中实施激光加工包括 驱动多面反射镜；转移放置物体的平台；和发射激光束，并使被发射的激光束从多面反射镜的反射面上反射 和通过透镜辐照到物体的待加工区域上。13. 按照权利要求10的方法，其中加工参数包括激光输出 功率，多面反射镜的旋转速度，放置物体的平台的转移速度，激光束 的辐照频率，和激光束的焦点位置。全文摘要一种按照本专利技术实施例，包括设置有多层结构的物体的各层的加工参数；按照设置的加工参数，利用多面反射镜实施激光加工物体的待区域中各个露出层；确定是否加工了有多层结构的物体的所有各层；和若在确定步骤中确定不是加工了所有各层，则继续实施激光加工。所以，可以提高加工物体的效率，并可以减小在利用多面反射镜的激光加工期间发生在物体中的裂纹。文档编号B23K26/00GK101152685SQ200710161999公开日2008年4月2日 申请日期2007年9月27日 优先权日2006年9月27日专利技术者李学龙, 柳太京, 洪银晶 申请人:Eo技术有限公司本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种利用多面反射镜多重加工物体的方法，该方法利用多面反射镜实施激光加工有多层结构的物体，该方法包括：　　　　设置有多层结构的物体的各层的加工参数；　　　　按照设置的加工参数，利用多面反射镜实施激光加工物体的待加工区域中各个露出层；　　　　确定是否加工了有多层结构的物体中所有各层；和　　　　若在确定步骤中确定不是加工了所有各层，则继续实施激光加工。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：洪银晶，李学龙，柳太京，
申请(专利权)人：EO技术有限公司，
类型：发明
国别省市：KR[韩国]