【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种含有乙烯基醚基团的共聚物及其制备方法和应用。
技术介绍
彩色光阻剂主要由颜料液、碱溶性成膜树脂、多官能度单体和光引发剂构成(参见中国专利申请CN101613276A)。甲基丙烯酸类树脂是彩色光阻剂中通常使用的成膜树脂，其具有高度的透明性及分辨率。在甲基丙烯酸类成膜树脂侧链上具有一定比例的双键，所以能够在自由基聚合引发剂的作用下发生高分子链间的聚合，或者与小分子发生交联反应。通常引入的双键为甲基丙烯酸双键，所发生的聚合为自由基聚合，而自由基聚合易受到氧的阻聚作用的干扰，有时导致彩色光阻剂的感度下降，显影性差。
技术实现思路
鉴于上述彩色光阻剂的感度下降，显影性差的问题，本专利技术提供一种含有乙烯基醚基团的共聚物、其制备方法以及利用该共聚物制备得到的彩色光阻剂，具体方案如下。一种含有乙烯基醚基团的共聚物，其由通式1、I1、111所示的结构单元组成，
【技术保护点】
一种含有乙烯基醚基团的共聚物，其特征在于，由通式Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ所示的结构单元组成，其中，R1为O或HN，R2为碳原子数为1?4的烷基、环己基或通式Ⅳ所示的基团，其中，m表示1?3的正整数，n为1?4的正整数，通式Ⅰ、Ⅱ、Ⅲ所示的结构单元的摩尔数分别为x、y、z，并且x：y：z=3－8：1－4：1－5，所述共聚物的重均分子量为5000?20000。FDA00002592661600011.jpg,FDA00002592661600012.jpg
【技术特征摘要】
1.一种含有乙烯基醚基团的共聚物，其特征在于，由通式1、IIJII所示的结构单元组成，2.根据权利要求1所述的共聚物，其特征在于，所述共聚物为无规共聚物或嵌段共聚物。3.根据权利要求1或2所述的共聚物，其特征在于，Xy z=4 一 6:2 — 3:2 — 4,所述共聚物的重均分子量为14000-17000。4.根据权利要求1-3中任一项所述的共聚物，其特征在于，R2为甲基、乙基或丁内酯基，η为2-4的正整数。5.制备权利要求1-4中任一项所述的共聚物的方法，其特征在于，包括以下步骤(1)由甲基丙烯酸、通式VI所示的甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酰氯共聚得到共聚物I;6.根据权利要求5所述的方法，其特征在于，步骤(I)如下进行甲基丙烯酸、通式VI所示的甲基丙烯酸酯、甲基丙烯酰氯在引发剂的作用下，于50...
【专利技术属性】
技术研发人员：刘陆，舒适，齐永莲，徐传祥，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，
类型：发明
国别省市：
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