【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及一种研磨机，特别是涉及一种平面研磨机。
技术介绍
现有的平面研磨机主要包括研磨圆盘，研磨时，将工件放在旋转的研磨圆盘的工 作面上,在研磨圆盘和工件的相对运动过程中，利用研磨圆盘及其工作面上的研磨液来实 现研磨。对于直线度、平面度、光洁度要求较高的工件，在平面研磨机上设置一台修面机构， 以修平研磨圆盘的工作面，提高研磨圆盘的精度。修面机构主要包括修面刀具，修面刀具相 对旋转的研磨圆盘作径向进刀，对研磨圆盘的工作面进行修面作业。但是，现有的平面研磨机在修整研磨圆盘的工作面时，由于研磨圆盘的转速和修 面刀具的径向进刀速度都是恒定不变的，因此研磨圆盘的外圈和内圈的线速度不同，修面 刀具的切削力也不同，因而造成研磨圆盘的工作平面凹凸不平，其直线度、平面度较差。
技术实现思路
有鉴于此，本专利技术的目的在于提供一种能提高研磨圆盘平面修面精度的精密平面 研磨机。为了达成上述目的，本专利技术的解决方案是一种精密平面研磨机，包括研磨圆盘、用以旋转该研磨圆盘的主电机，以及用以修平该 研磨圆盘的工作面的修面机构，其中所述修面机构包括副电机、修面刀具以及控制机构， 该修面刀具...
【技术保护点】
一种精密平面研磨机，包括研磨圆盘、用以旋转该研磨圆盘的主电机，以及用以修平该研磨圆盘的工作面的修面机构，其特征在于：所述修面机构包括副电机、修面刀具以及控制机构，该修面刀具以能相对所述研磨圆盘径向移动的方式安装在该副电机的转轴上；该控制机构包括研磨圆盘传感器、修面刀具传感器、比较单元和驱动单元；该研磨圆盘传感器的检测端对应所述研磨圆盘设置，该修面刀具传感器的检测端对应所述修面刀具设置；该研磨圆盘传感器和该修面刀具传感器的输出端分别与该比较单元的相应输入端电连接，该比较单元的输出端与该研磨圆盘驱动单元的输入端电连接，该驱动单元的输出端分别与所述主电机和所述副电机对应电连接。
【技术特征摘要】
1.一种精密平面研磨机，包括研磨圆盘、用以旋转该研磨圆盘的主电机，以及用以修平该研磨圆盘的工作面的修面机构，其特征在于所述修面机构包括副电机、修面刀具以及控制机构，该修面刀具以能相对所述研磨圆盘径向移动的方式安装在该副电机的转轴上；该控制机构包括研磨圆盘传感器、修面刀具传感器、比较单元和驱动单元；该研磨圆盘传感器的检测端对应所述研磨圆盘设置，该修面刀具传感器的检测端对应所述修面刀具设置；该研磨圆盘传感器和该修面刀具传感器的输出端分别与该比较单元的相应输入端电连接，该比较单元的输出端与该研磨圆盘驱动单元的输入端电连接，该驱动单元的输出端分别与所述主电机和所述...
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