一种膜固化装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及液晶显示制造技术领域，特别涉及一种膜固化装置，用于提高膜固化的效率。本发明专利技术公开了一种膜固化装置，包括：具有炉腔的炉体；设置在所述炉体上的炉门；设置在所述炉腔内的微波加热单元；与所述微波加热单元信号连接，用于控制微波强度和加热时间的控制单元；以及设置在所述炉腔内的进排气单元。采用微波加热的方式，对被加热物料进行固化加热时，可以使被加热物料在较短的时间内达到设定的加热温度；另外，本发明专利技术提供的膜固化装置还可以在加热升温完成后进行冷却，减少了从加热炉周转到冷却炉的周转时间；因此，利用本发明专利技术提供的膜固化装置进行膜固化，可以提高膜固化的效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液晶显示制造
，特别涉及一种膜固化装置。
技术介绍
膜固化是指将涂覆在基板上的光刻胶或取向膜等加热发生化学反应的过程，包括加热和冷却两个阶段，分别在加热炉和冷却炉完成的；具体地，首先将涂覆有光刻胶或取向膜的基板放置在加热炉中加热，使光刻胶或取向膜发生反应，然后再将该基板放置在冷却炉中冷却固化。不过，现有的加热炉采用热传导的方式加热，加热到230°C要需25分钟左右，加热时间较长，而且在加热炉中完成加热后，还要放进冷却炉进行冷却，需要一定的周转时间；因此，利用加热炉和冷却炉进行膜固化的过程耗时长，膜固化的效率低。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种膜固化装置，用于提高膜固化的效率。为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案一种膜固化装置，包括具有炉腔的炉体；设置在所述炉体上的炉门；设置在所述炉腔内的微波加热单元；与所述微波加热单元信号连接，用于控制微波强度和加热时间的控制单元；以及设置在所述炉腔内的进排气单元。优选地,所述进排气单元包括固定安装在所述炉腔顶部，用于使气体进入所述炉腔内的进气子单元；以及固定安装在所述炉腔顶部，用于将进入所述炉腔内的气体排出的排气子单J Li ο优选地，所述控制单元为可编程逻辑控制器。优选地，所述微波加热单元固定安装在所述炉腔顶部。进一步地，上述膜固化装置还包括固定安装在所述炉腔底部的支撑单元。优选地，所述支撑单元为多个玻璃支撑管或多个陶瓷支撑管。优选地，所述支撑管的高度小于5cm。进一步地，上述膜固化装置还包括设置在所述炉门四周，用于吸收从所述炉门与所述炉体之间的缝隙泄漏的微波的门封条。优选地，所述门封条为硅橡胶门封条。进一步地，上述膜固化装置还包括设置在炉门上的联锁微动开关。本专利技术提供的膜固化装置，采用微波加热的方式进行加热，是利用微波对分子中极性基团的独特作用，即微波透入被加热物料内与被加热物料中的极性分子间相互作用转化为热能，使被加热物料各部分在同一瞬间获得热量而升温，无需任何热传导过程就能使被加热物料内部和外部同时加热、同时升温；与现有的采用热传导加热方式相比，能够在较短的时间内使被加热物料达到设定的温度；另外，本专利技术提供的膜固化装置还可以对被加热物料进行快速冷却，减少了从加热炉周转到冷却炉的周转时间；因此，与现有技术相比，利用本专利技术提供的膜固化装置进行膜固化，减少加热时间和周转时间，从而提高了膜固化的效率。附图说明图1为本专利技术实施例提供的一种膜固化装置的结构示意图；图2为本专利技术实施例提供的微波加热时间和亚酰化度的关系图。具体实施例方式现有的膜固化过程，一般采用热传导的加热方式进行膜固化，加热时间较长，而且，在加热完成后还要在冷却炉中进行冷却，需要一定的周转时间，因此，利用加热炉和冷却炉进行膜固化的过程耗时长，膜固化效率低。有鉴于此，本专利技术提供了一种改进的技术方案，采用微波加热的方式进行膜固化，将缩短加热的时间；并将加热和冷却设置在同一装置内，减少了周转时间，从而提高了膜固化的效率。为了使本领域技术人员更好的理解本专利技术的技术方案，下面结合说明书附图对本专利技术实施例进行详细的描述。首先申明，在液晶显示制造
，膜固化包括光刻胶固化、取向膜固化及封框胶固化等，为了描述方便，下文将以取向膜固化为例进行说明。如图1所示，本专利技术提供的一种膜固化装置，包括具有炉腔的炉体10，设置在炉体10上的炉门11，设置在炉腔内的微波加热单元13 ;与微波加热单元13信号连接，用于控制微波强度和加热时间的控制单元(图中未画出)；以及设置在炉腔内的进排气单元14。具体地，采用微波加热的方式，是利用微波对分子中极性基团的独特作用，即微波透入取向膜内与取向膜的极性分子间相互作用转化为热能，使取向膜各部分都在同一瞬间获得热量而升温完成聚酰胺酸亚酰化反应；如图2所示，在聚酰胺酸亚酰化反应中，微波加热时间7min内亚酰化度能达到91%，而常规加热5小时亚酰化度才能达到57%，可见，采用微波加热的方式进行膜固化，加热速度快，聚酰胺酸亚酰化反应完全，从而显著提高了膜固化的效率。此外，在大尺寸液晶面板生产过程中，对取向膜进行膜固化时，采用微波加热的方式进行膜固化，膜固化装置对取向膜内部和外部同时加热、同时升温，加热均匀，不会出现取向I旲厚度不均一，从而保证液晶面板的画面显不品质。使用本专利技术实施例提供的膜固化装置进行取向膜固化时，将涂覆有取向膜的基板I放置在炉腔内，开启微波加热单元13和进排气单元14，利用微波对分子中极性基团的独特作用，即微波透入取向膜内与取向膜中的极性分子间相互作用并转化为热能，使取向膜各部分在同一瞬间获得热量而升温，无需任何热传导过程就能使取向膜内部和外部同时加热、同时升温。在加热阶段，通过进排气单元14向炉腔内供常温气体，将膜固化过程中挥发的溶剂和异物通过排气口排出炉腔；加热完成后，通过进排气单元14向炉腔内供冷却气体，加快取向膜冷却；因此，与现有技术相比，采用本专利技术实施例提供的膜固化装置，能够在较短的时间内完成膜固化，并减少了从加热炉周转到冷却炉的周转时间，从而提高了膜固化的效率。继续参见图1，优选地，上述进排气单元14包括固定安装在炉腔顶部，用于使气体进入炉腔内的进气子单元141 ;以及固定安装在炉腔顶部，用于将进入炉腔内的气体排出的排气子单元142。其中，进气子单元141分别与供常温气体管路和冷却气体管路连通，用于向炉腔内供常温气体和冷却气体；排气子单元142与排气管路连通，将进入炉腔内吸收了膜固化过程中挥发的溶剂和异物的气体排出炉腔。具体地，当开启微波加热单元13时，同时也开启常温气体管路，通过进气子单元141将常温气体送进炉腔内，进入炉腔内的气体在基板I表面流动，排气子单元142将进入炉腔内的气体，以及在膜固化过程中挥发的溶剂和异物排出炉腔；当加热完成后，关闭微波加热单元13，关闭常温气体管路，开启冷却气体管路，使冷却空气进入炉腔内将取向膜冷却。与现有技术相比，采用本实施例提供的膜固化装置，加热和冷却在同一装置进行，减少了将基板转移到冷却炉的周转时间，从而提高了膜固化的效率。优选地，上述控制单元为可编程逻辑控制器，可以在可编程逻辑控制器内编写控制微波强度及加热时间的程序，以便于控制微波强度及加热时间。通过设定微波强度和加热时间，控制微波加热单元13发出预设强度的微波，并在预设时间内完成加热。较佳地，在具体实施时，在可编程逻辑控制器内设定发出频率固定在915MHZ波长的微波，这个频率的微波与取向液的介电常数对应，可以使微波加热单元发射的微波具有选择性加热的效果，即只针对取向液进行加热，如此可以降低能耗，从而节约成本。在具体实施时，上述微波加热单元13为板状结构，固定安装在炉腔的顶部、底部或侧壁上；优选地，微波加热单元13固定安装在炉腔的顶部。继续参见图1，上述膜固化装置还包括固定安装在炉腔底部的支撑单元12 ;如此设置利于空气流通，加快冷却效率。较佳地，上述支撑单元12为多个玻璃支撑管或多个陶瓷支撑管；如此设置微波可以穿透玻璃或陶瓷，这样微波就可以在炉腔内来回反射，提高微波利用率，同时对待固化取向膜加热更为均一。优选地，上述支撑管的高度小于5cm。进一步地，上述膜固化装置还包括设置在所述炉门11四周，用于吸收从炉门11与炉体10之间的缝隙泄漏的微本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种膜固化装置，包括：具有炉腔的炉体，设置在所述炉体上的炉门；其特征在于，还包括：设置在所述炉腔内的微波加热单元；与所述微波加热单元信号连接，用于控制微波强度和加热时间的控制单元；以及设置在所述炉腔内的进排气单元。

【技术特征摘要】
1.一种膜固化装置，包括具有炉腔的炉体，设置在所述炉体上的炉门；其特征在于，还包括 设置在所述炉腔内的微波加热单元； 与所述微波加热单元信号连接，用于控制微波强度和加热时间的控制单元； 以及设置在所述炉腔内的进排气单元。2.如权利要求1所述的膜固化装置，其特征在于，所述进排气单元包括 固定安装在所述炉腔顶部，用于使气体进入所述炉腔内的进气子单元； 以及固定安装在所述炉腔顶部，用于将进入所述炉腔内的气体排出的排气子单元。3.如权利要求1所述的膜固化装置，其特征在于，所述控制单元为可编程逻辑控制器。4.如权利要求1-3任一所述的膜固化装置，其特征在于，所述微波...

【专利技术属性】
技术研发人员：任文明，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：