一种膜固化装置制造方法及图纸

本发明专利技术涉及液晶显示制造技术领域，特别涉及一种膜固化装置，用于提高膜固化的效率。本发明专利技术公开了一种膜固化装置，包括：具有炉腔的炉体；设置在所述炉体上的炉门；设置在所述炉腔内的微波加热单元；与所述微波加热单元信号连接，用于控制微波强度和加热时间的控制单元；以及设置在所述炉腔内的进排气单元。采用微波加热的方式，对被加热物料进行固化加热时，可以使被加热物料在较短的时间内达到设定的加热温度；另外，本发明专利技术提供的膜固化装置还可以在加热升温完成后进行冷却，减少了从加热炉周转到冷却炉的周转时间；因此，利用本发明专利技术提供的膜固化装置进行膜固化，可以提高膜固化的效率。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及液晶显示制造
，特别涉及一种膜固化装置。
技术介绍
膜固化是指将涂覆在基板上的光刻胶或取向膜等加热发生化学反应的过程，包括加热和冷却两个阶段，分别在加热炉和冷却炉完成的；具体地，首先将涂覆有光刻胶或取向膜的基板放置在加热炉中加热，使光刻胶或取向膜发生反应，然后再将该基板放置在冷却炉中冷却固化。不过，现有的加热炉采用热传导的方式加热，加热到230°C要需25分钟左右，加热时间较长，而且在加热炉中完成加热后，还要放进冷却炉进行冷却，需要一定的周转时间；因此，利用加热炉和冷却炉进行膜固化的过程耗时长，膜固化的效率低。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种膜固化装置，用于提高膜固化的效率。为了实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案一种膜固化装置，包括具有炉腔的炉体；设置在所述炉体上的炉门；设置在所述炉腔内的微波加热单元；与所述微波加热单元信号连接，用于控制微波强度和加热时间的控制单元；以及设置在所述炉腔内的进排气单元。优选地,所述进排气单元包括固定安装在所述炉腔顶部，用于使气体进入所述炉腔内的进气子单元；以及固定安装在所述炉腔顶部，用于将进入所述炉腔内的气体排出的排本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种膜固化装置，包括：具有炉腔的炉体，设置在所述炉体上的炉门；其特征在于，还包括：设置在所述炉腔内的微波加热单元；与所述微波加热单元信号连接，用于控制微波强度和加热时间的控制单元；以及设置在所述炉腔内的进排气单元。

【技术特征摘要】
1.一种膜固化装置，包括具有炉腔的炉体，设置在所述炉体上的炉门；其特征在于，还包括 设置在所述炉腔内的微波加热单元； 与所述微波加热单元信号连接，用于控制微波强度和加热时间的控制单元； 以及设置在所述炉腔内的进排气单元。2.如权利要求1所述的膜固化装置，其特征在于，所述进排气单元包括 固定安装在所述炉腔顶部，用于使气体进入所述炉腔内的进气子单元； 以及固定安装在所述炉腔顶部，用于将进入所述炉腔内的气体排出的排气子单元。3.如权利要求1所述的膜固化装置，其特征在于，所述控制单元为可编程逻辑控制器。4.如权利要求1-3任一所述的膜固化装置，其特征在于，所述微波...

【专利技术属性】
技术研发人员：任文明，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，合肥京东方光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：