制备适用于光伏电池的吸收薄膜的方法技术

本发明专利技术涉及一种适用于光伏电池的A-B-C2或A2-(Dx，E1_x)-C4吸收薄膜的制备方法，其中0≤x≤1，A是选自族11的一种元素或元素的混合物，B是选自族13的一种元素或元素的混合物，C是选自族16的一种元素或元素的混合物，D是选自族12的一种元素或元素的混合物和E是选自族14的一种元素或元素的混合物，所述方法包括：选自族11、12、13和14的元素氧化物的电化学沉积步骤(S1)，在还原性气氛中的退火步骤(S2)和提供来自族16的一种元素的步骤(S3)。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】
本专利技术涉及光伏电池的制造，尤其涉及适用于将太阳能转换为电能的光伏电池的制造。更特别地说，本专利技术涉及一种以及制造包括根据本专利技术所制备的吸收薄膜的太阳能电池的方法。
技术介绍
光伏电池通常具有包含层叠薄膜的结构，其中所述薄膜中至少一层薄膜具有光电特性。图1示出了光伏电池结构的一个示例。如图1所示，光伏电池通常具有设置于绝缘载体12上的层叠薄膜。一般来说，绝缘载体12是一层玻璃。具有介于O. 5 μ m和I μ m之间厚度的钥薄膜14沉积在绝缘载体12上。钥薄膜14 一般通过真空蒸发或溅射来沉积。吸收薄膜16沉积在钥薄膜14上。吸收薄膜16通常具有大约2微米的厚度并可通过真空蒸发或阴极溅射来沉积。界面薄膜18沉积在吸收薄膜16上。界面薄膜18也称之为缓冲薄膜，可包括在溶解中化学沉积的镉硫化物或锌硫化物。界面薄膜18 —般具有介于IOnm和80nm之间的厚度。轻掺杂的氧化锌薄膜20通过阴极溅射沉积在界面薄膜18上。轻掺杂的氧化锌薄膜20具有 大约50nm至IOOnm的厚度。铝掺杂的氧化锌薄膜22沉积在轻掺杂的氧化锌薄膜20上。按照惯例，铝掺杂的氧化锌薄膜22通过真空溅射来沉积，本文档来自技高网...

【技术保护点】

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】2010.03.11 FR 10517691.一种制备适用于光伏电池的A-B-C2或A2- (Dx, El x) -C4吸收薄膜的方法，其中1，A是选自族11的一种元素或元素的混合物，B是选自族13的一种元素或元素的混合物，C是选自族16的一种元素或元素的混合物，D是选自族12的一种元素或元素的混合物和E是选自族14的一种元素或元素的混合物，所述方法包括如下顺序执行的步骤 氧化物和/或氢氧化物的混合物的薄膜的电沉积，对于A-B-C2薄膜来说，至少包括来自族11的一种元素和来自族13的一种元素，或者对于A2-(DxA1 x)-C4薄膜来说，至少包括来自族11的一种元素、如果X > O则至少包括来自族12的一种元素，以及如果X < I则至少包括来自族14的一种元素， 所述薄膜在还原性气氛中的退火， 提供来自族16的至少一种元素，以便形成A-B-C2或A2-(Dx，El x)-C4薄膜，其中O < X < I02.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述电沉积在至少5°C且不高于95°C的温度下实施。3.根据权利要求1或2所述方法，其特征在于，所述在还原性气氛中的退火在至少300°C且不高于650°C的温度下实施。4.根据上述权利要求任一所述的方法，其特征在于，所述在还原性气氛中的退火持续至少20秒且不超过15分钟。5.根据上述权利要求中任...

【专利技术属性】
技术研发人员：伊丽扎贝思·查萨因，丹尼尔·林科特，
申请(专利权)人：法国电力公司，国家科学研究中心，
类型：
国别省市：