【技术实现步骤摘要】
本专利技术属于微光学器件领域，具体涉及一种利用溶胶凝胶稀土掺杂方法制备的氧化娃微球激光器。
技术介绍
微型激光器是一种非常重要的光学电子元器件，在光信息处理，光学集成电路，以及化学、生物传感等方面都有着比较广泛的应用前景。随着光纤制备工艺的改进，低损耗的微纳光纤已经被制备出来，同时利用微纳光纤的倏逝波 与光子学器件的耦合已经被证明是最有效的。现今集成工艺已经非常成熟，氧化硅的微盘谐振腔、微环芯谐振腔已经能很好的制备。因此运用微纳光纤与微盘及微环芯的耦合制备激光器成为很热门的研究科目。同时，利用微光纤直接熔融制备的微球激光器也已经被制备出来，且具有较低的阈值，但无法实现芯片集成。故，需要一种新的微球激光器以解决上述问题。
技术实现思路
专利技术目的本专利技术的目的是针对现有技术微型激光器的缺陷，提供一种利用溶胶凝胶稀土掺杂方法制备的芯片集成的氧化硅微球激光器。技术方案为实现上述专利技术目的，本专利技术的氧化硅微球激光器可采用如下技术方一种芯片集成的氧化娃微球激光器，包括稀土掺杂的氧化娃微球和微光纤，所述微光纤位于所述氧化硅微球的一侧，所述氧化硅微球通过以下方法制备得到...
【技术保护点】
一种芯片集成的氧化硅微球激光器，包括稀土掺杂的氧化硅微球和微光纤，所述微光纤位于所述氧化硅微球的一侧，其特征在于：所述氧化硅微球通过以下方法制备得到：（1）通过溶胶凝胶法在硅片表面制备掺稀土杂质的氧化硅薄膜；（2）在所述氧化硅薄膜表面上用光刻、HF刻蚀和XeF2刻蚀工艺制备出氧化硅微盘；（3）利用二氧化碳激光器对所述氧化硅微盘进行加热回流，将氧化硅微盘熔融成微球。
【技术特征摘要】
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