一种基于柔性衬底的带磁芯的折叠螺旋电感的制备方法技术

本发明专利技术涉及微纳加工领域，特别涉及一种基于柔性衬底的带磁芯的折叠螺旋电感的制备方法。通过平面电感的制备方法和折叠相结合得到的折叠螺旋电感，和折叠之前相比，性能有明显提升；和传统工艺制备的三维立体电感相比，具有工艺步骤简单，成本低的优点。利用本方法制备的电感具有性能好，体积小，柔性（可弯曲可折叠），生物兼容性好，制备方法简单等特点，并可广泛应用于各种生物和非生物微系统中，特别是用于植入式的无线能量传输系统。

【技术实现步骤摘要】

【技术保护点】
一种基于柔性衬底的带磁芯的折叠结构螺旋电感的制备方法，按顺序包括如下步骤：（A）衬底上生长柔性薄膜；任选的（A1）在薄膜上溅射种子层；（B）电镀线圈；（C）电镀磁芯；任选的步骤（C1）去除光刻胶和去除种子层；（D）衬底上沉积柔性薄膜；任选的步骤（D1）反应离子刻蚀薄膜；（E）剥离电感；（F）折叠电感并用导电粘合剂将通孔连接起来，干燥；（G）高温熔融实现聚合物键合，得到多层的折叠结构螺旋电感。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：张海霞，郑阳，孙旭明，李忠亮，
申请(专利权)人：北京大学，
类型：发明
国别省市：