用于吸收太赫兹辐射的粗糙黑化金属薄膜及其制备方法技术

本发明专利技术公开了一种用于吸收太赫兹辐射的粗糙黑化金属薄膜及其制备方法，该超薄金属膜被所述金属活性刻蚀剂的氟基等离子体轰击处理，氟基等离子体的物理轰击使金属薄膜表面粗糙化。同时，通过调节刻蚀时氟离子能量与浓度，使大量氟离子吸附到金属薄膜粗糙表面并在表面扩散与反应，获得表面富集氟离子的金属薄膜。刻蚀后氟离子在粗糙的金属薄膜表面生成大量结晶缺陷，使金属薄膜表面黑化。粗糙黑化的金属薄膜表面结构具有高表体比、低反射率的特点，有效增强太赫兹辐射的吸收性能和效率，且制备工艺简单，与MEMS工艺兼容，可广泛应用于太赫兹探测与成像领域。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及太赫兹探测与成像
，具体涉及一种。
技术介绍
太赫兹(Terahertz, THz)波指频率介于O.1 IOTHz (波长3mnT30 m)的电磁福射，其电磁波谱位于微波和红外波段之间，因此，太赫兹系统兼顾电子学和光学系统的优势。长期以来，由于缺乏有效的THz辐射产生和检测方法，人们对于该波段电磁辐射性质的了解非常有限，以至于该波段被称为电磁波谱中的THz空隙。该波段也是电磁波谱中有待进行全面研究的最后一个频率窗口。近年来由于自由电子激光器和超快激光技术的发展， 为THz脉冲的产生提供了稳定、可靠的激发光源，使THz辐射的产生机理、检测技术和应用技术的研究得到蓬勃发展。与其它波段的电磁波相比，THz电磁波具有如下独特特点①THz波的波长处于微波及红外光之间，因此在应用方面相对于其它波段的电磁波，如微波和X射线等，具有非常强的互补特征THz波的典型脉宽在亚皮秒量级，不但可以进行亚皮秒、飞秒时间分辨的瞬态光谱研究，而且通过取样测量技术，能够有效地防止背景辐射噪音的干扰THz波具有很高的时间和空间相干性，这一特点在研究材料的瞬态相干动力学问题时具有极大的优势；④TH本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于吸收太赫兹辐射的粗糙黑化金属薄膜，其特征在于：①所述金属薄膜表面被粗糙黑化；②所述金属薄膜的黑化表面为晶体缺陷；③所述金属薄膜为位于太赫兹探测器敏感单元顶层的太赫兹吸收层。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：王军，苟君，杨明，闫淼，蒋亚东，黎威志，
申请(专利权)人：电子科技大学，
类型：发明
国别省市：