磁头元件检查方法及其装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种磁头元件检查方法及其装置，能够不受外部环境影响地测定形成在磁头的卸料器上的各个磁头元件所形成的磁场的二维分布。在对形成了多个磁头的卸料器的各磁头的写入磁道的有效磁道宽度进行检查的磁头元件检查装置中，构成为将托盘部、载物台部、样品交接部、磁场测量部和有效磁道宽度测量部搭载在对来自外部的振动进行隔断的除振台部上，并用隔音部遮蔽托盘部、载物台部、样品交接部、磁场测量部、有效磁道宽度测量部和除振台部，来隔断外部的噪音。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及对磁头元件进行检查的方法及其装置，特别涉及在磁头元件制造工序的过程中，在形成在基板上的多个磁头元件分别分离之前的卸料器(rover)状态下对写入磁道的有效磁道宽度进行测定时适用的磁头元件检查方法及其装置。
技术介绍
作为非破坏性地检查磁头的装置，有使用光学显微镜的方法、使用扫描型电子显微镜(Scanning Electron Microscope :SEM)的方法、使用原子间力显微镜(Atomic ForceMicroscope :AFM)的方法、使用磁力显微镜(Magnetic Force Microscope :MFM)的方法等。上述方法分别有优缺点，但在能够非破坏地对磁头为了对硬盘进行写入而产生的磁场进行检查这一点上，使用磁力显微镜(MFM)的方法比使用其他方式的观察手段的方法更优越。例如，在日本特开2010-175534号公报(专利文件I)中记载了使用该磁力显微镜(MFM)在磁头元件分别分离之前的卸料器状态下对写入磁道的有效磁道宽度进行测定的情况。即，在专利文件I中记载了以下的内容通过对作为样品的卸料器的磁头电路图案施加电流来产生磁场，二维地对悬臂进行扫描，来本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种磁头元件检查装置，对形成了多个磁头的卸料器的各磁头的写入磁道的有效磁道宽度进行检查，其特征在于，包括：托盘部，其将检查前的卸料器和检查后的卸料器分离容纳；载物台部，其能够在检查位置与样品交接位置之间移动；样品交接部，其从上述托盘部取出检查前的卸料器，交接到在上述样品交接位置等待的上述载物台部；磁场测量部，其测量在上述样品交接位置取得了上述检查前的卸料器的上述载物台部移动到上述检查位置的状态下通过向形成在上述卸料器上的磁头施加交流电流而产生的磁场；有效磁道宽度测量部，其根据由该磁场测量部测量所得的数据，判断形成在上述磁头上的写入磁道的有效磁道宽度的优劣；除振台部，其搭载了上述托盘部、上述载物...

【技术特征摘要】
2011.09.09 JP 2011-1971451.一种磁头元件检查装置，对形成了多个磁头的卸料器的各磁头的写入磁道的有效磁道宽度进行检查，其特征在于，包括 托盘部，其将检查前的卸料器和检查后的卸料器分离容纳； 载物台部，其能够在检查位置与样品交接位置之间移动； 样品交接部，其从上述托盘部取出检查前的卸料器，交接到在上述样品交接位置等待的上述载物台部； 磁场测量部，其测量在上述样品交接位置取得了上述检查前的卸料器的上述载物台部移动到上述检查位置的状态下通过向形成在上述卸料器上的磁头施加交流电流而产生的磁场； 有效磁道宽度测量部，其根据由该磁场测量部测量所得的数据，判断形成在上述磁头上的写入磁道的有效磁道宽度的优劣； 除振台部，其搭载了上述托盘部、上述载物台部、上述样品交接部、上述磁场测量部和上述有效磁道宽度测量部，隔断来自外部的振动；以及 隔音部，其遮蔽上述托盘部、上述载物台部、上述样品交接部、上述磁场测量部、上述有效磁道宽度测量部和上述除振台部来隔断外部的噪音。2.根据权利要求1所述的磁头元件检查装置，其特征在于， 上述载物台部具备线性电动机，还具备对上述载物台部在检查位置与样品交接位置之间的移动进行引导的导轨部，上述载物台部被上述线性电动机驱动，沿着上述导轨在上述检查位置与样品交接位置之间移动。3.根据权利要求1所述的磁头元件检查装置，其特征在于， 上述样品交接部具有对上述卸料器进行真空吸附的真空吸附头，通过上述真空吸附头对容纳在上述托盘中的检查前的卸料器进行真空吸附来取出上述卸料器，然后交接到在上述样品交接位置等待的上述载物台部。4.根据权利要求1所述的磁头元件检查装置，其特征在于， 上述样品交接部具有对上述卸料器的端部进行钓接的钩部，通过上述钩部对容纳在上述托盘中的检查前的卸料器进行钓接来取出上述卸料器，然后交接到在上述样品交接位置等待的上述载物台部。5.根据权利要求1所述的磁头元件检查装置，其特征在于， 上述磁场测量部具备用于观察放置在上述载物台部上的卸...

【专利技术属性】
技术研发人员：德富照明，佐藤武史，飞田明，斋藤尚也，松下典充，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：发明
国别省市：