本发明专利技术提供一种磁头元件检查方法及其装置，能够不受外部环境影响地测定形成在磁头的卸料器上的各个磁头元件所形成的磁场的二维分布。在对形成了多个磁头的卸料器的各磁头的写入磁道的有效磁道宽度进行检查的磁头元件检查装置中，构成为将托盘部、载物台部、样品交接部、磁场测量部和有效磁道宽度测量部搭载在对来自外部的振动进行隔断的除振台部上，并用隔音部遮蔽托盘部、载物台部、样品交接部、磁场测量部、有效磁道宽度测量部和除振台部，来隔断外部的噪音。
【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及对磁头元件进行检查的方法及其装置，特别涉及在磁头元件制造工序的过程中，在形成在基板上的多个磁头元件分别分离之前的卸料器(rover)状态下对写入磁道的有效磁道宽度进行测定时适用的磁头元件检查方法及其装置。
技术介绍
作为非破坏性地检查磁头的装置，有使用光学显微镜的方法、使用扫描型电子显微镜(Scanning Electron Microscope :SEM)的方法、使用原子间力显微镜(Atomic ForceMicroscope :AFM)的方法、使用磁力显微镜(Magnetic Force Microscope :MFM)的方法等。上述方法分别有优缺点，但在能够非破坏地对磁头为了对硬盘进行写入而产生的磁场进行检查这一点上，使用磁力显微镜(MFM)的方法比使用其他方式的观察手段的方法更优越。例如，在日本特开2010-175534号公报(专利文件I)中记载了使用该磁力显微镜(MFM)在磁头元件分别分离之前的卸料器状态下对写入磁道的有效磁道宽度进行测定的情况。即，在专利文件I中记载了以下的内容通过对作为样品的卸料器的磁头电路图案施加电流来产生磁场，二维地对悬臂进行扫描，来将安装在悬臂上的磁性探针接近该产生的磁场，检测悬臂的探针的位移量，由此二维地测定样品所产生的磁场。在专利文件I中记载了以下内容通过二维地扫描具有探针的悬臂，来测定形成在磁头的卸料器上的各个磁头元件所形成的磁场的二维分布，但没有涉及用于将样品设置在测量位置，不受周围环境的影响地高精度地进行测定的结构及其方法。专利文件1:日本特开2010-175534号公报
技术实现思路
本专利技术的目的在于解决上述的现有技术的问题，提供一种能够测定形成在磁头的卸料器上的各个磁头元件所形成的磁场的二维分布的磁头元件检查方法及其装置。为了解决上述问题，在本专利技术中，构成了一种磁头元件检查装置，用于对形成了多个磁头的卸料器的各磁头的写入磁道的有效磁道宽度进行检查，其中，包括托盘部，其将检查前的卸料器和检查后的卸料器分离容纳；载物台部，其能够在检查位置与样品交接位置之间移动；样品交接部，其从上述托盘部取出检查前的卸料器，交接到在上述样品交接位置等待的上述载物台部；磁场测量部，其测量在上述样品交接位置取得了上述检查前的卸料器的上述载物台部移动到上述检查位置的状态下通过向形成在上述卸料器上的磁头施加交流电流而产生的磁场；有效磁道宽度测量部，其根据由该磁场测量部测量所得的数据，判断形成在上述磁头上的写入磁道的有效磁道宽度的优劣；除振台部，其搭载了上述托盘部、上述载物台部、上述样品交接部、上述磁场测量部和上述有效磁道宽度测量部，隔断来自外部的振动；以及隔音部，其遮蔽上述托盘部、上述载物台部、上述样品交接部、上述磁场测量部、上述有效磁道宽度测量部和上述除振台部来隔断外部的噪音。另外，为了解决上述问题，在本专利技术中，提供一种磁头元件检查方法，用于对形成了多个磁头的卸料器的各磁头的写入有效磁道宽度进行检查，其中，在用隔断外部的噪音的隔音壁遮蔽的环境中执行以下步骤从供给用托盘取出检查前的卸料器，交接到在样品交接位置等待的载物台；使取得了该检查前的卸料器的上述载物台移动到检查位置；在该载物台移动到检查位置的状态下，通过上述载物台使上述卸料器上升，使得上述卸料器与安装在磁力显微镜的悬臂的前端部附近的探针之间的间隙成为预定量；在使该卸料器上升后的状态下，向形成在该卸料器上的多个磁头元件中的一个磁头元件施加交流电流，通过该一个磁头元件产生磁场，用上述磁力显微镜测量该产生的磁场的状态；根据该测量出的磁场的状态，判断形成在上述一个磁头元件上的写入磁道的有效磁道宽度的优劣；通过上述载物台使该写入磁道的有效磁道宽度的优劣的判断结束了的上述卸料器下降；通过上述载物台将该下降后的卸料器从上述检查位置搬运到上述样品交接位置；根据上述写入磁道的有效磁道宽度的优劣的判断结果，将被搬运到该样品交接位置的上述卸料器容纳在用于容纳合格品的托盘或用于容纳不合格品的托盘的某一方中。根据本专利技术，能够在隔断了周围的噪音和振动的环境中在卸料器的状态下对磁头元件的磁特性进行检查，将不合格品从合格品分离并回收，因此能够提高磁头的产品合格 率。 通过以下的根据附图对本专利技术的优选实施例的详细说明，能够了解本专利技术的这些特征和优点。附图说明图1是表示本专利技术的实施例中的磁头元件检查装置的全体结构的框图。图2是表示本专利技术的实施例中的磁头元件检查装置的结构的平面图。图3是表示本专利技术的实施例中的磁头元件检查装置的测定部的概要结构的图2的A-A截面向视图。图4A是本专利技术中作为检查对象的卸料器的立体图。图4B是表示本专利技术的实施例中的使探头的前端部分与形成在卸料器上的磁头元件的电极接触的状态的磁头元件的平面图。图5是表示本专利技术的实施例中的磁头元件检查位置的搬运部的概要结构的图2的B-B截面向视图。图6是表示本专利技术的实施例中的磁头元件检查装置的测定部的控制系统的概要结构的框图。图7是表示本专利技术的实施例中的检查磁头元件的处理的流程的流程图。符号说明1:卸料器；100 :测定部；110 :XYZ粗动载物台单元；120 :ΧΥΖ微动载物台单元；130 :探针单元；140 :探头单元；150 :观察单元；310 :搬运机器人；330 :托盘承载部；400 信号处理控制部；500 :除振台；600 :隔音箱。具体实施方式以下，使用附图说明本专利技术的实施方式。图1是表示本专利技术的实施例中的磁头元件检查装置的全体结构的框图。磁头元件检查装置具备测定部100、监视器部200、搬运部300以及信号处理/控制部400。测定部100、监视器部200、搬运部300成为被隔音箱600遮蔽，为使来自外部的声音不对测量产生影响而隔音的结构。图2是表示本专利技术的实施例中的磁头元件检查装置的结构的平面图。磁头元件检查装置构成为将测定部100和搬运部300配置在被隔音箱600遮蔽的除振台500上。搬运部300具备搬运机器人310和对搬运机器人310的X方向的移动进行引导的导轨320 ;承载供给用托盘33广333的托盘承载部330，该供给用托盘33广333搭载检查前和检查后的卸料器。H是样品交接站，M是样品测量站。 图3是图2的A-A截面向视图，表示测定部100的详细结构。测定部100具备XYZ粗动载物台单元110、XYZ微动载物台单元120、探针单元130、探头单元140、观察单元150、X轴导轨160。XYZ粗动载物台单元110具备X粗动载物台111、Υ粗动载物台112、Ζ粗动载物台113。X粗动载物台111被线性电动机161驱动，能够沿着X轴导轨160在X轴方向移动，在样品交接站H与样品测量站M之间移动。XYZ微动载物台单元120具备X微动载物台121、Y微动载物台122、Z微动载物台123，分别被未图示的具有nm (纳米)级的分辨率的驱动源(例如压电元件)驱动。探针单元130具备悬臂131、探针132、励振器133、位置检测器134、励振器基座135，由位置检测器134检测由于被励振器133施加了振动的安装在悬臂131的前端部附近的探针132的振动所造成的悬臂131的振动。位置检测器134将光束照射到悬臂131上并检测其反射光，根据检测出该反射光的位置求出悬臂的倾角，求本文档来自技高网...
【技术保护点】
一种磁头元件检查装置，对形成了多个磁头的卸料器的各磁头的写入磁道的有效磁道宽度进行检查，其特征在于，包括：托盘部，其将检查前的卸料器和检查后的卸料器分离容纳；载物台部，其能够在检查位置与样品交接位置之间移动；样品交接部，其从上述托盘部取出检查前的卸料器，交接到在上述样品交接位置等待的上述载物台部；磁场测量部，其测量在上述样品交接位置取得了上述检查前的卸料器的上述载物台部移动到上述检查位置的状态下通过向形成在上述卸料器上的磁头施加交流电流而产生的磁场；有效磁道宽度测量部，其根据由该磁场测量部测量所得的数据，判断形成在上述磁头上的写入磁道的有效磁道宽度的优劣；除振台部，其搭载了上述托盘部、上述载物台部、上述样品交接部、上述磁场测量部和上述有效磁道宽度测量部，隔断来自外部的振动；以及隔音部，其遮蔽上述托盘部、上述载物台部、上述样品交接部、上述磁场测量部、上述有效磁道宽度测量部和上述除振台部来隔断外部的噪音。
【技术特征摘要】
2011.09.09 JP 2011-1971451.一种磁头元件检查装置，对形成了多个磁头的卸料器的各磁头的写入磁道的有效磁道宽度进行检查，其特征在于，包括 托盘部，其将检查前的卸料器和检查后的卸料器分离容纳； 载物台部，其能够在检查位置与样品交接位置之间移动； 样品交接部，其从上述托盘部取出检查前的卸料器，交接到在上述样品交接位置等待的上述载物台部； 磁场测量部，其测量在上述样品交接位置取得了上述检查前的卸料器的上述载物台部移动到上述检查位置的状态下通过向形成在上述卸料器上的磁头施加交流电流而产生的磁场； 有效磁道宽度测量部，其根据由该磁场测量部测量所得的数据，判断形成在上述磁头上的写入磁道的有效磁道宽度的优劣； 除振台部，其搭载了上述托盘部、上述载物台部、上述样品交接部、上述磁场测量部和上述有效磁道宽度测量部，隔断来自外部的振动；以及 隔音部，其遮蔽上述托盘部、上述载物台部、上述样品交接部、上述磁场测量部、上述有效磁道宽度测量部和上述除振台部来隔断外部的噪音。2.根据权利要求1所述的磁头元件检查装置，其特征在于， 上述载物台部具备线性电动机，还具备对上述载物台部在检查位置与样品交接位置之间的移动进行引导的导轨部，上述载物台部被上述线性电动机驱动，沿着上述导轨在上述检查位置与样品交接位置之间移动。3.根据权利要求1所述的磁头元件检查装置，其特征在于， 上述样品交接部具有对上述卸料器进行真空吸附的真空吸附头，通过上述真空吸附头对容纳在上述托盘中的检查前的卸料器进行真空吸附来取出上述卸料器，然后交接到在上述样品交接位置等待的上述载物台部。4.根据权利要求1所述的磁头元件检查装置，其特征在于， 上述样品交接部具有对上述卸料器的端部进行钓接的钩部，通过上述钩部对容纳在上述托盘中的检查前的卸料器进行钓接来取出上述卸料器，然后交接到在上述样品交接位置等待的上述载物台部。5.根据权利要求1所述的磁头元件检查装置，其特征在于， 上述磁场测量部具备用于观察放置在上述载物台部上的卸...
【专利技术属性】
技术研发人员：德富照明，佐藤武史，飞田明，斋藤尚也，松下典充，
申请(专利权)人：株式会社日立高新技术，
类型：发明
国别省市：
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