【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及在制造光纤用玻璃母材时所使用的石英制燃烧器、以及光纤用玻璃母材的制造方法。
技术介绍
作为传统的光纤用玻璃母材的制造方法,有通过OVD法或VAD法等在反应容器中使用玻璃微粉末生成用燃烧器、使玻璃微粒沉积在起始玻璃棒上从而制成玻璃微粒沉积体的沉积工序(例如,参照专利文献1),也有使通过该沉积工序制得的玻璃微粒沉积体脱水·烧结从而透明玻璃化的透明化工序(例如,参照专利文献2)。专利文献I中记载了生成玻璃微粉末的玻璃微粉末生成用燃烧器是由高纯度的石英玻璃(SiO2)构成的。另外,专利文献2的制造方法中记载了使用这样的炉芯管从透明化工序中的烧结炉的炉芯管表层开始直至ΙΟμπι深的区域内的铁(Fe)的平均质量浓度为2ppm以下。另外,如专利文献3所述,已知在从通过所述透明化工序制得的玻璃母材中拉丝光纤的拉丝工序之前,使用石英制燃烧器来进行去除玻璃微粒沉积体表面的杂质或者研磨其表面的火焰抛光工序。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特开昭59-227735号公报专利文献2 :日本特开2003-212559号公报专利文献3 日本特开平7-232929号公报专利技 ...
【技术保护点】
一种石英制燃烧器,其由石英材料形成并用于制造光纤用玻璃母材,其特征在于,在所述石英材料所含的杂质中,铁(Fe)的平均质量浓度为0.3ppm以下。
【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员:幅崎利已,久保祐介,
申请(专利权)人:住友电气工业株式会社,
类型:发明
国别省市:
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