一种二维透射式快速反射镜制造技术

本发明专利技术涉及一种二维透射式快速反射镜，包括：支撑基座、镜体支撑板、合束镜、镜体压块、4个驱动器组件以及4个柔性铰链。本发明专利技术的二维透射式快速反射镜，通过椭圆形弹性外框实现了压电陶瓷驱动器驱动方向的垂直转变，较压电陶瓷直接驱动的连接方式，大幅度增大了驱动器的抗剪切性能，并且将驱动器的行程放大2～4倍；4点分散式柔性支撑实现了快速反射镜的中心通透，从结构原理上保证了快速反射镜可用于不同波段激光的精确合束与对准；采用电阻式应变片对合束镜的偏转角度进行间接测量，结构简单、实现方便，并且有利于二维透射式快速反射镜的小型化。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及一种快速反射镜，特别是一种采用压电陶瓷驱动，可用于不同波段激光精确合束、对准的，二维透射式快速反射镜。
技术介绍
中国专利技术专利“专利号为ZL 200910078258. 2”公开了一种音圈电机驱动、中心采用柔性弹片进行挠性支撑的快速反射镜。该装置的有效负载为平面反射镜，主要通过反射来校正光束的传播方向。由于快速反射镜的核心支撑位于装置中心处，即装置中心存在大面积遮挡，因此，无法驱动合束镜实现不同波段激光的精确合束与对准。
技术实现思路
为了克服现有反射式快速反射镜中心存在遮挡的不足，实现快速反射镜在不同波段激光精确合束、对准等领域的应用，本专利技术提供了一种压电陶瓷驱动、4点分散式柔性支撑、中心通透的二维透射式快速反射镜。为了解决上述技术问题，本专利技术的技术方案具体如下一种二维透射式快速反射镜，包括支撑基座、镜体支撑板、合束镜、镜体压块、4个驱动器组件以及4个柔性铰链；其中，驱动器组件由椭圆形弹性外框、压电陶瓷和电阻应变片三部分组成；压电陶瓷通过预紧力内嵌于椭圆形弹性外框中，电阻应变片粘接于压电陶瓷外侧，用于间接测量压电陶瓷的伸缩长度；椭圆形弹性外框上分布有静支孔和本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种二维透射式快速反射镜，其特征在于，包括：支撑基座（1）、镜体支撑板（2）、合束镜（3）、镜体压块（4）、4个驱动器组件（5）以及4个柔性铰链（6）；其中，驱动器组件（5）由椭圆形弹性外框（51）、压电陶瓷（52）和电阻应变片（53）三部分组成；压电陶瓷（52）通过预紧力内嵌于椭圆形弹性外框（51）中，电阻应变片（53）粘接于压电陶瓷（52）外侧，用于间接测量压电陶瓷（52）的伸缩长度；椭圆形弹性外框（51）上分布有静支孔（511）和动支孔（512），当压电陶瓷（52）在进行伸缩运动时，椭圆形弹性外框（51）上的动支孔（512）将在压电陶瓷（52）的推力及椭圆形弹性外框（51）的弹力作用下相...

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员：徐新行，时魁，陈宁，王兵，
申请(专利权)人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所，
类型：发明
国别省市：