大气压介质阻挡长射流冷等离子体发生装置制造方法及图纸

技术编号:8442918 阅读:156 留言:0更新日期:2013-03-18 19:04
本实用新型专利技术公开了一种大气压介质阻挡长射流冷等离子体发生装置,包括有筒形外壳,筒形外壳一端为出气口,一端封闭,筒形外壳的两侧对称设有两个进气口,位于筒形外壳内设有两个与进气口相对应的挡板,气体通过挡板导入筒形外壳内,一个单电极通过筒形外壳的封闭端伸入到筒形外壳内,单电极表面套装有小石英玻璃管,筒形外壳的出气口处连接有一个长度不小于165厘米的可移动石英玻璃管。本实用新型专利技术能在大气压下稳定工作,产生长射流等离子体,便于深度表面处理,并保持等离子体温度为室温或略高于室温,利于降低成本,可以方便产生富含高活性粒子射流冷等离子体。(*该技术在2022年保护过期,可自由使用*)

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及等离子体的射流装置领域,具体为大气压介质阻挡长射流冷等离子体发生装置
技术介绍
近年来射流等离子体以其特殊的性质受到科学和工程领域越来越多的关注。等离子体,特别是大气压冷等离子体,由于其气体温度低,电子温度高,而且含有具有高活性激发态粒子、原子及带电粒子等,被广泛应用在材料表面改性、灭菌、微生物处理等众多领域。此外,大气压冷等离子体技术无需真空系统,因此大大减少真空设备的制造和维护费用,而且可放宽对被处理工件的集合尺寸,减少其应用范围的限制。因此大气压冷等离子体日益得到国内外研究学者的关注,并在众多领域都将有着非常广阔的应用前景。·大气压下,由于工作气体击穿电压相对较高,放电间隙距离很短,一般为毫米和厘米量级,并且因其属于内处理方式,直接限制了被处理物品的形状、大小和材料,因此在许多应用领域都受到了很大的限制。如果采用等离子体间接处理(比如远程等离子体),由于其中许多活性成分和带电粒子寿命非常短暂,以至于还没达到处理物表面就消失,导致处理效率非常低。为了解决上述问题,人们采取大气压冷等离子体射流装置,大气压冷等离子体射流将等离子体区与电极区分离,其可以直接在外界空间中产本文档来自技高网...

【技术保护点】
大气压介质阻挡长射流冷等离子体发生装置,包括有筒形外壳,所述筒形外壳一端为出气口,一端封闭,其特征在于:所述的筒形外壳的两侧对称设有两个进气口,位于筒形外壳内设有两个与进气口相对应的挡板,气体通过挡板导入筒形外壳内,一个单电极通过筒形外壳的封闭端伸入到筒形外壳内,所述的单电极表面套装有小石英玻璃管,筒形外壳的出气口处连接有一个长度不小于165厘米的可移动石英玻璃管。

【技术特征摘要】

【专利技术属性】
技术研发人员:魏钰舒兴胜方世东沈洁左潇丛杰陈龙威
申请(专利权)人:中国科学院等离子体物理研究所
类型:实用新型
国别省市:

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