【技术实现步骤摘要】
本技术属于洁净
，具体涉及一种悬浮粒子检测装置，特别涉及一种应用于气体环境下的悬浮粒子检测装置。
技术介绍
在半导体、液晶显示器、太阳能转换装置等精密器件的生产过程中，由于其加工对象往往是微米级甚至是纳米级的精密器件，因此用于制造这些精密器件的工艺设备的洁净程度，特别是工艺设备机台工作面上的悬浮粒子浓度会直接影响这些精密器件的加工品质。现有技术中一般采用手持式或在线式的激光型粒子计数器实时检测工艺设备所处的工作环境中的悬浮粒子浓度，所述激光型粒子计数器采用空间定点恒速气流采样的工作方式，即将采样空气导入激光计数器中以粒子计数的方式进行悬浮粒子浓度测试，但由于实际生产过程中加工件(精密器件)会频繁取放，使得工艺设备所处的工作环境中的气流变化剧烈，造成气流扰动，当工作环境中的气流发生扰动时，导入激光计数器中的气流变得极不稳定，会导致激光型粒子计数器工作异常、数据失真，因而激光型粒子计数器在气流扰动的状态下无法正常工作；而且现有的激光型粒子计数器受工艺设备结构及设置位置的制约，无法对工艺设备机台内部，特别是机台工作面上的悬浮粒子浓度进行有效检测。
技术实现思路
本技术...
【技术保护点】
一种悬浮粒子检测装置，其特征在于，包括：光源、摄像单元以及检测结果输出单元；所述光源用于向悬浮粒子待测区域发射光线；所述摄像单元用于实时获取待测区域内悬浮粒子的图像，并将所述图像发送给所述检测结果输出单元；所述检测结果输出单元用于根据所述摄像单元发送的图像实时输出悬浮粒子检测结果。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：徐涛，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，北京京东方显示技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：
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