用于制备有机发光显示面板的装置和使用其制备有机发光显示面板的方法制造方法及图纸

公开了一种用于制备有机发光显示面板的装置。在一个实施方式中，该装置包括i)第一辊、ii)第二辊、iii）多个腔和iv）闸单元，膜卷绕在第一辊上以被连续地拉拽，第二辊设置为面对第一辊且膜连续地卷绕在第二辊上，多个腔设置在第一和第二辊之间并且膜通过多个腔，在多个腔中，通过在膜上形成转移层，在衬底上进行激光热转印（LITI），闸单元安装在至少一个腔处且设置在所安装的腔的膜入口和膜出口的至少一个处，以在膜通过期间，在腔中保持基本为真空的状态。

【技术实现步骤摘要】

所描述的技术通常涉及。
技术介绍
具有多种优点(例如快速响应速度、低功耗和宽视角)的有机发光显示器已经广泛地用作电影显示设备。此外，可以在低温环境中制备有机发光显示器，因为其基于现有的半导体工艺技术，所以简化了其制备过程。因此，作为下一代平板显示器，有机发光显示器已经引起了广泛的关注。
技术实现思路
专利技术的一个方面是用于制备可以改进处理产率的有机发光显示面板的装置和使用其制备有机发光显示面板的方法。另一方面是用于制备可以减少因气氛中产生的空气而导致的缺陷的有机发光显示面板的装置、以及使用其制备有机发光显示面板的方法。另一方面是用于制备有机发光显示面板的装置，包括第一辊，膜卷绕在所述第一辊上，从而被连续地拉拽；第二辊，设置为面向所述第一辊，并且所述膜连续地卷绕在所述第二辊上；多个腔，设置在所述第一辊和第二辊之间，所述膜通过所述多个腔，并且通过在所述膜上形成的转移层，在所述多个腔中在衬底上进行激光热转印(LITI);以及闸单元，安装在所述多个腔的至少一个中，并且设置在所安装的腔的膜入口和膜出口的至少一个处，以在所述膜通过时，保持内部真空度。多个腔可以包括第一腔，从第一辊释放的膜输入第一腔中，第一腔具有沉积单元，沉积单元用于在膜的一个表面形成转移层和向外部输出其上形成有转移层的膜。沉积单元可以包括多个支撑辊、多个辅助辊和沉积源，多个支撑辊支撑膜的另一表面，多个辅助辊支撑除了膜的一个表面的沉积区域之外的区域，沉积源向膜的一个表面喷射用于转移层的材料。多个腔可以包括第二腔，第二腔设置在第一腔附近，从第一腔输出的膜输入第二腔，第二腔具有组合单元，组合单元使膜和衬底紧密地彼此接触，以使膜的转移层面向衬底，第二腔将彼此紧密地接触的膜和衬底输出到外部。组合单元可以包括衬底输入设备，衬底输入设备使得输入到第二腔中的衬底接触膜和多个上部和下部组合辊，多个上部和下部组合辊的每个从上侧和下侧支撑彼此接触的膜和衬底，其中上部和下部组合辊中的至少一个具有凹进的中央部分。多个腔可以包括第三腔，第三腔设置在第二腔附近，从第二腔输出的彼此接触的膜和衬底输入到第三腔中，第三腔具有转移单元，转移单元通过将激光束照射在膜或衬底上将转移层转移到衬底上，第三腔将彼此紧密接触的膜和衬底输出到外部。转移单元可以包括将激光束照射到膜或衬底上的光束照射器、插入到光束照射器和膜或衬底之间的掩模、和对准掩模和衬底的对准器。多个腔可以包括第四腔，第四腔设置在第三腔附近，从第三腔输出的彼此接触的膜和衬底输入到第四腔中，第四腔具有将衬底与膜分离的分离单元，且将衬底输出到外部。第二辊可以设置在第四腔中。分离单元可以包括分离辊，分离辊在一个方向上卷绕膜，以将膜与衬底分离。 衬底可以设置在膜的上面。闸单元可以包括闸块对、多个垫单元和多个真空抽吸孔，闸块对设置为彼此面对并且被驱动为彼此接近和分开，多个垫单元设置在彼此面向的多个闸块的表面上且支撑多个膜，多个真空抽吸孔安装在多个闸块和多个垫中，以分别与多个垫单元对应。多个垫单元的每个可以还包括抽吸单元，抽吸单元具有在膜附近延伸的边缘，通过膜的压力使边缘弹性形变。另一方面是制备有机发光显示面板的方法，包括制备第一辊，膜卷绕所述第一辊；将所述膜从所述第一辊连续地拉拽，在膜上形成转移层，使所述膜通过多个腔，在所述膜通过多个腔的过程中，进行激光热转印(LITI)，以将所述膜上形成的转移层转移到衬底；当所述膜通过所述多个腔时，通过闸单元保持每个所述腔中的真空度，所述闸单元安装在所述多个腔的至少一个处并且设置在所安装的所述多个腔的每个的膜入口和膜出口的至少一个处；以及在与所述第一辊对应设置的第二辊周围，连续地卷绕通过所述多个腔的所述膜。多个腔可以包括第一腔，从第一辊输出的膜输入到第一腔中，在第一腔中，转移层形成在膜的一个表面上。形成转移层的步骤可以包括使用多个支撑辊支撑膜的另一表面，使用多个辅助辊支撑除了膜的一个表面的沉积区域之外的区域，并且使用沉积源向膜的一个表面喷射用于转移层的材料。多个腔可以包括第二腔，第二腔设置在第一腔附近，从第一腔输出的膜输入第二腔，在第二腔中，膜和衬底紧密地接触，以使膜的转移层面向衬底。使膜和衬底紧密地彼此接触的步骤可以包括使用衬底输入设备将输入第二腔的衬底与膜接触，使用多个上部和下部组合辊分别从上侧和下侧支撑彼此接触的膜和衬底，其中上部和下部组合辊中的至少一个具有凹进的中央部分。多个腔可以包括第三腔，第三腔设置在第二腔附近，从第二腔输出的彼此接触的膜和衬底输入到第三腔中，在第三腔中通过将激光束照射在膜或衬底上将转移层转移到衬底上。将转移层转移到衬底上的步骤可以包括对准掩模和衬底，以及将激光束照射到膜或衬底上。多个腔可以包括第四腔，第四腔设置在第三腔附近，从第三腔输出的彼此接触的膜和衬底输入到第四腔，在第四腔中，衬底与膜分开。第二辊可以设置在第四腔中。在将衬底与膜分离时，支撑膜的分离辊可在与衬底分离的方向上卷绕膜。衬底可以设置在膜的上面。闸单元可以包括闸块对、多个垫单元和多个真空抽吸孔，闸块对彼此面对地设置，并且被驱动为彼此接近和分离，多个垫单元设置在闸块彼此面对的表面上且支撑膜，多个真空抽吸孔安装在闸块和垫中，以分别与多个垫单元对应，并且在彼此接近的闸块对将模支撑在多个垫单元之间的状态中，通过多个真空抽吸孔使多个垫单元之间的间隔变成真空。 多个垫单元中的每个可以还包括抽吸单元，抽吸单元具有在多个膜附近延伸的边缘，通过膜的压力使该边缘弹性地变形。附图说明图I是示意地示出了根据实施方式通过用于制备有机发光显示面板的装置及使用其制备有机发光显示面板的方法而制备的有机发光显示面板的结构的截面图。图2是根据实施方式设成辊对辊形式的供体膜的截面图。图3是根据实施方式示意地示出了用于制备有机发光显示面板的装置的结构的视图。图4是示意地示出了图3的加料腔的结构的视图。图5是示意地示出了图3的第一腔的结构的视图。图6是示意地示出了图5的沉积单元的结构的视图。图7是示意地示出了图3的第二腔的结构的视图。图8是示意地示出了图7的上部组合辊和下部组合辊的结构的视图。图9是示意地示出了图3的第三腔的结构的视图。图10是示意地示出了图9的掩模、第一相机单元和第二相机单元的结构的视图。图11是示意地示出了图3的第四腔的结构的视图。图12是示意地示出了闸单元的结构的视图。图13是图12的部分A的放大截面图。具体实施例方式对有机发光层进行构图的方法包括激光热转印(LITI)。LITI是将光源照射出的激光转换成热能且利用该热能将图案形成材料转移到目标衬底的方法，从而形成图案。为了使用该方法，需要在其上形成转移层的供体膜、光源和目标衬底。根据LITI，供体膜覆盖作为受体的整个目标衬底，并且供体膜和目标衬底固定在台上。在供体膜上进行激光转印，以完成构图。但是，LITI的某些过程在接近于真空的情况下进行，另外一些过程在大气压下进行。因此，在供体膜和目标衬底相结合的过程中，因为空气被限制在供体膜和目标衬底之间，所以会产生空洞(void)。因此，产生结合缺陷。此外，当供体膜和目标衬底彼此分开时，由于填充供体膜和目标衬底之间的间隙的空气，所以有机物质附着于供体膜。结果，生产率降低且处理时间延长。在整个说明书中，本文中使用的诸如“第一”和“第二本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种用于制备有机发光显示面板的装置，包括：第一辊，膜卷绕在所述第一辊上，从而被连续地拉拽；第二辊，设置为面向所述第一辊，并且所述膜连续地卷绕在所述第二辊上；多个腔，设置在所述第一辊和第二辊之间，所述膜通过所述多个腔，并且基于在所述膜上形成的转移层，在所述多个腔中在衬底上进行激光热转印；以及闸单元，安装在所述多个腔的至少一个中，并且设置在所安装的腔的膜入口和膜出口的至少一个处，以在所述膜通过时，保持所述腔中的基本真空状态。

【技术特征摘要】
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【专利技术属性】
技术研发人员：李炳哲，朴宰奭，林在夏，朴镇翰，金东述，
申请(专利权)人：三星显示有限公司，
类型：发明
国别省市：