【技术实现步骤摘要】
本专利技术总地涉及用于测量结构(structure)的系统和方法,具体而言涉及用于测量一结构以同时确定该结构的厚度(thickness)和平坦性(flatness)的系统和方法。
技术介绍
通常,结构的厚度测量和平坦性测量是分别独立执行的。许多光学方法被用于确定平坦性,而机械或光学方法可用于确定厚度。然而,没有已知的现有方案具有能够同时组合测量厚度和平坦性的优点。
技术实现思路
根据本专利技术的一个方面,提供了一种用于测量一结构的系统,包括支撑固定装置(support fixture),其包括当所述结构被装载在所述支撑固定装置上时与所述结构的下 表面接触的支撑腿;以及传感器阵列,其包括多个传感器,用于在所述结构不被装载在所述支撑固定装置上的情况下测量所述支撑腿的高度作为基准高度,并且在所述结构被装载在所述支撑固定装置上时测量所述结构上预定位置处的高度。根据本专利技术的另一方面,提供了一种用于测量一结构的方法,包括测量支撑固定装置的支撑腿的高度作为基准高度,将所述结构装载到所述支撑固定装置上,并且测量所述结构上的预定位置处的高度。附图说明通过联系附图阅读以下详细描述可 ...
【技术保护点】
一种用于测量一结构的系统,包括:支撑固定装置,其包括当所述结构被装载在所述支撑固定装置上时与所述结构的下表面接触的支撑腿;以及传感器阵列,其包括多个传感器,用于在所述结构不被装载在所述支撑固定装置上的情况下测量所述支撑腿的高度作为基准高度,并且在所述结构被装载在所述支撑固定装置上时测量所述结构上预定位置处的高度。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:凯西·范斯坦,孙国华,约瑟夫·克莱顿,
申请(专利权)人:苹果公司,
类型:发明
国别省市:
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。